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Y1601樣機產(chǎn)能測試1、Y1601樣機產(chǎn)能測試目 2 3、數(shù)據(jù)記 4、數(shù)據(jù)分 5、結(jié) 11、模擬高產(chǎn)能機臺機器人調(diào)3、測量Y1601樣機實際產(chǎn)能是否與理論計算值（按我方、4、不同計算方法下，機器人速度和實際產(chǎn)能的關(guān)系2我方機器人速度計算單次伸臂并收回時間為根據(jù)右圖機器人完成整個動作所用時間為T1=2TX+2TR

3Sankyo方給出的機器人速度計算T2=2TX+3TR

4原始計算 的4；T3為兩個工藝模塊之間的晶圓傳遞時 ROBOT對準A點取WAFER，然后移動到B點放下根據(jù)右圖機器人完成整個動作所用時間為T3=TX+5測試設(shè)備：Y1601樣6測試工具：秒表 機 代替 7Y1601樣機實測產(chǎn)能記注：1、表中機器人速度值為百分比，例如：70代表最大速度的70%8轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速UP/DN1實測產(chǎn)能 92TX+2TR關(guān)系（我方計算方法TX+2TR間關(guān)系（原始計算方法TX+2TR間關(guān)系（原始計算方法 1、通過機臺機器人測試，Sankyo機器人承諾的速度滿足現(xiàn)構(gòu)架240WPH的產(chǎn)能要求2、按照Sankyo承諾速度，實際產(chǎn)能與2TX+3TR關(guān)系如圖一折線所示，當2TX+3TR=7s時，產(chǎn)247wph，比預(yù)期目標240wph留有3%的余量。當產(chǎn)能為240wph時，2TX+3TR=7.44s，時間上6.29%的余5、比較我方計算

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