擴(kuò)散生產(chǎn)培訓(xùn)

擴(kuò)散生產(chǎn)培訓(xùn)第1頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一目的及意義培訓(xùn)的目的了解擴(kuò)散原理介紹擴(kuò)散車間操作流程熟悉人員、生產(chǎn)、設(shè)備安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防措施培訓(xùn)的意義簡單介紹擴(kuò)散車間的生產(chǎn)流程，強(qiáng)調(diào)生產(chǎn)安全問題第2頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一內(nèi)容提綱擴(kuò)散原理擴(kuò)散車間的基本生產(chǎn)流程人員、生產(chǎn)、設(shè)備的安全培訓(xùn)第3頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一單晶硅太陽能電池第4頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一多晶硅太陽能電池第5頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一擴(kuò)散方式擴(kuò)散原理擴(kuò)散方法1.三氯氧磷（POCl3）液態(tài)源擴(kuò)散2.涂布源擴(kuò)散3.固態(tài)氮化硼源擴(kuò)散目前業(yè)內(nèi)批量生產(chǎn)采用第一種方式第6頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一N2擴(kuò)散裝置示意圖第7頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一可分為三步：POCL3→PCL5+P2O5（800度左右）PCL5+O2→P2O5+CL2P2O5+Si→SiO2+P磷擴(kuò)散原理擴(kuò)散原理第8頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一擴(kuò)散車間操作流程擴(kuò)散原理不合格合格開機(jī)準(zhǔn)備器件清潔物料準(zhǔn)備開機(jī)上料自動(dòng)生產(chǎn)下料關(guān)機(jī)清洗擴(kuò)散后清洗返工流程檢驗(yàn)第9頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一插片：戴好手套，手套的戴法為：內(nèi)層汗布手套外層PVC手套。調(diào)節(jié)插片臺(tái)風(fēng)量，然后用石英吸筆吸取硅片后輕輕插入石英舟的槽中，每槽一片插入石英舟（做單面擴(kuò)散時(shí)每槽插兩片）。主要操作要求第10頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一主要操作要求檢測：等待硅片冷卻后，每爐取出5片檢驗(yàn)，他們的位置應(yīng)該為石英舟的五個(gè)均勻分布點(diǎn)，將測試片按照從爐口到爐尾的順序取下來，按照硅片盒的小面到大面方向放入盒內(nèi)，用作測試方塊電阻。（詳見《方塊電阻測試作業(yè)指導(dǎo)書》）下片：用吸筆或鑷子依次將硅片從石英舟中取出放置在潔凈的傳遞盒中（注意輕拿輕放，避免摩擦碰撞，防止P-N結(jié)損壞），放入傳遞窗，卸片時(shí)注意片子正反面，一律規(guī)定正面朝上并且不得發(fā)生磨擦（規(guī)定擴(kuò)散面為正面）。第11頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一返工片處理方法擴(kuò)散車間不合格片返工流程1.二次擴(kuò)散，生產(chǎn)中方塊電阻偏高的，可以做二次擴(kuò)散工藝。2.反面擴(kuò)散，后清洗傳過來的硅片，在反面做生產(chǎn)工藝。3.重新制絨，對(duì)于外觀不合格和電阻偏低的硅片，需要返回制絨車間重新制絨。

第12頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一擴(kuò)散制結(jié)的衛(wèi)生注意事項(xiàng)由于我們車間是分子級(jí)的擴(kuò)散，所以對(duì)車間潔凈等級(jí)和工具的衛(wèi)生情況要求很高，總結(jié)如下：1.所有操作工具必須永遠(yuǎn)保持干凈的狀態(tài)，包括吸筆、鑷子、石英舟、碳化硅懸臂槳。2.吸筆鑷子應(yīng)放在干凈的玻璃燒杯內(nèi)，不得直接與人體或其它未經(jīng)清洗的表面接觸。3.石英舟應(yīng)放置在石英凳或氮?dú)夤駜?nèi)。4.碳化硅懸臂槳暴露在空氣中的時(shí)間應(yīng)做到越短越好。第13頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一擴(kuò)散車間產(chǎn)品安全生產(chǎn)安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防的措施按照車間要求正確穿戴工作服和勞保用品。操作人員根據(jù)崗位操作要求正確操作。堅(jiān)守自己的崗位，不能隨意串崗。從事危險(xiǎn)工作時(shí)，應(yīng)按照規(guī)定，正確作業(yè)，包括不單獨(dú)作業(yè)、正確穿戴防護(hù)服等等。正確操作設(shè)備。按照設(shè)備維護(hù)要求定期檢查和維護(hù)設(shè)備。所有的工作，除了日常維護(hù)外，都要有負(fù)責(zé)人員執(zhí)行監(jiān)管。保證車間的干凈整潔。保證產(chǎn)出產(chǎn)品的合格檢驗(yàn)。第14頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一產(chǎn)品監(jiān)控1、擴(kuò)散后方塊電阻檢測儀器：方塊電阻測試儀方塊電阻值一般在40-60Ω/sq范圍內(nèi),每片測量五個(gè)點(diǎn)。批次間擴(kuò)散方塊電阻不均勻度≤3Ω/sq，片內(nèi)擴(kuò)散方塊電阻不均勻度≤3.5Ω/sq，不同設(shè)備所生產(chǎn)的硅片均勻性有所差異。2、擴(kuò)散后外觀檢測(目測部分)

1）表面手印和沾污（不能下傳）2）藍(lán)斑片（一般可下傳但效率低點(diǎn)）3）黑斑片（一般可下傳但效率低點(diǎn)）生產(chǎn)安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防的措施第15頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一擴(kuò)散車間設(shè)備安全設(shè)備安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防的措施總體結(jié)構(gòu)分為四大部分控制部分(動(dòng)力柜)推舟凈化部分電阻加熱爐部分氣源部分第16頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一MainPowerCabinet

第17頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一設(shè)備安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防的措施Tempress擴(kuò)散爐操作界面主菜單界面按4，進(jìn)入tubecontrol第18頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一Tempress擴(kuò)散爐操作界面設(shè)備安全的要求和危險(xiǎn)預(yù)防的措施返回tubecontrol界面，按2開始運(yùn)行程序按6，選擇工藝菜單第19頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一Tempress擴(kuò)散爐操作界面?zhèn)渥ⅲ撼松鲜龇椒?，還可以在自動(dòng)裝載系統(tǒng)操作界面上對(duì)擴(kuò)散爐進(jìn)行操作，當(dāng)打開自動(dòng)模式時(shí)，操作人員只需要在裝載臺(tái)上取放石英舟，其他事情全部由電腦自動(dòng)控制。在tubecontrol界面，按3可以終止運(yùn)行的程序第20頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一48所擴(kuò)散爐操作界面主界面第21頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一48所擴(kuò)散爐操作界面點(diǎn)擊主菜單左上角的“工藝運(yùn)行”按鈕，出現(xiàn)下圖界面，選中正確的工藝文件，點(diǎn)擊“運(yùn)行”按鈕，工藝就會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。第22頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一48所擴(kuò)散爐操作界面工藝運(yùn)行后，界面自動(dòng)跳進(jìn)監(jiān)控狀態(tài)，在此界面可以終止程序或者跳步。第23頁，共25頁，2023年，2月20日，星期一安全標(biāo)志熱：熱表面。觸摸此表面會(huì)燒傷皮膚。電擊：指出這里有這樣的危險(xiǎn)，在此物處于帶電情況下你有可能遭受電擊。