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傳感器原理與應(yīng)用第九章第一頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日?qǐng)D9-10熱雙金屬式光纖溫度開關(guān)1遮光板;2雙金屬片接收光源12例9-2遮光式光纖溫度計(jì)當(dāng)溫度升高時(shí),雙金屬片的變形量增大,帶動(dòng)遮光板在垂直方向產(chǎn)生位移從而使輸出光強(qiáng)發(fā)生變化。第二頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日例9-3透射型半導(dǎo)體光纖溫度傳感器半導(dǎo)體的吸收光譜與材料的Eg有關(guān),而Eg卻隨溫度的不同而不同。Eg與溫度t的關(guān)系可表示為:半導(dǎo)體材料的Eg隨溫度的上升而減小,亦即其本征吸收波長(zhǎng)λg隨溫度的上升而增大。第三頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日這個(gè)性質(zhì)反映在半導(dǎo)體的透光性上則表現(xiàn)為:當(dāng)溫度升高時(shí),其透射率曲線將向長(zhǎng)波方向移動(dòng)。若采用發(fā)射光譜與半導(dǎo)體的λg(t)相匹配的發(fā)光二極管作為光源,則透射光強(qiáng)度將隨著溫度的升高而減小,即通過(guò)檢測(cè)透射光的強(qiáng)度或透射率,即可檢測(cè)溫度變化。相對(duì)發(fā)光強(qiáng)度透射率LED發(fā)光光譜半導(dǎo)體透射率T1<T2<T3T3T1T2波長(zhǎng)圖9-12半導(dǎo)體透射測(cè)量原理第四頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日光纖環(huán)氧膠半導(dǎo)體反射膜利用半導(dǎo)體的吸收特性制作的光纖溫度傳感器的單端式探頭結(jié)構(gòu)如圖。光纖中的入射光線經(jīng)探頭頂部的反射膜反射后返回,在光路中放入對(duì)溫度敏感的半導(dǎo)體薄片對(duì)光進(jìn)行吸收,則出射光強(qiáng)將隨溫度的變化而變化。第五頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日例9-4膜片反射式光纖壓力傳感器光源接收Y形光纖束殼體P彈性膜片Y形光纖束的膜片反射型光纖壓力傳感器如圖。在Y形光纖束前端放置一感壓膜片,當(dāng)膜片受壓變形時(shí),使光纖束與膜片間的距離發(fā)生變化,從而使輸出光強(qiáng)受到調(diào)制。第六頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日光纖被夾在一對(duì)鋸齒板中間,當(dāng)光纖不受力時(shí),光線從光纖中穿過(guò),沒有能量損失。當(dāng)鋸齒板受外力作用而產(chǎn)生位移時(shí),光纖則發(fā)生許多微彎,這時(shí)在纖芯中傳輸?shù)墓庠谖澨幱胁糠稚⑸涞桨鼘又?例9-5微彎光纖壓力傳感器微彎光纖壓力傳感器DSFF變形器光纖d第七頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日原來(lái)光束以大于臨界角θC的角度θ1在纖芯內(nèi)傳輸為全反射;但在微彎處θ2<θ1,一部分光將逸出,散射入包層中。當(dāng)受力增加時(shí),光纖微彎的程度也增大,泄漏到包層的散射光隨之增加,纖芯輸出的光強(qiáng)度相應(yīng)減小。因此,通過(guò)檢測(cè)纖芯或包層的光功率,就能測(cè)得引起微彎的壓力、聲壓,或檢測(cè)由壓力引起的位移等物理量。θ1θn0n2n1θ2θ3第八頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日例9-6光彈式光纖壓力傳感器圖9-17光彈性式光纖壓力傳感器1、7起偏器;2、81/4波長(zhǎng)板;3、9光彈性元件;4、10檢偏器;5光纖;6自聚焦透鏡線偏振光光源1234P圓偏振光橢圓偏振光第九頁(yè),共十頁(yè),2022年,8月28日從光源發(fā)出的光經(jīng)起偏器后成為直線偏振光。當(dāng)有與入射光偏振方向呈45o的壓力作用于晶體時(shí),使晶體呈雙折射從而使出射光成為橢圓偏振光,由檢偏器檢測(cè)出與入射光偏振方向相垂直方向上的光強(qiáng),即可測(cè)出壓力的變化。其中1
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