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文檔簡介

———HIT太陽電池生產技術研發(fā)進展本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產化的改進探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可實現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜

自行設計、國內公司生產

熱絲加工

新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。

a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調整解決

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

僅襯底加熱，220℃較優(yōu)！

襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)！

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

黑色：熱處理前紅色：熱處理后

適當降低基片溫度，鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。

IN、IP兩面連續(xù)鍍（片子不接觸大氣）

不破：IN、IP連續(xù)鍍膜

破：IN鍍膜后退出真空腔體外，停留40min。

連續(xù)鍍明顯優(yōu)

小結

熱絲可以在國內解決；

IN、IP連續(xù)鍍膜不破真空的設計可行；

鍍膜溫度與后處理加熱的工藝協(xié)同調控，鈍化效果更優(yōu)。

本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產化的改進探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可實現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜

自行設計、國內公司生產

熱絲加工

新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。

a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調整解決

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

僅襯底加熱，220℃較優(yōu)！

襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)！

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

黑色：熱處理前紅色：熱處理后

適當降低基片溫度，鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。

IN、IP兩面連續(xù)鍍（片子不接觸大氣）

不破：IN、IP連續(xù)鍍膜

破：IN鍍膜后退出真空腔體外，停留40min。

連續(xù)鍍明顯優(yōu)

小結

熱絲可以在國內解決；

IN

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