GB/T 17472-2022微電子技術用貴金屬漿料規(guī)范

ICS7715099

CCSH.68.

中華人民共和國國家標準

GB/T17472—2022

代替GB/T17472—2008

微電子技術用貴金屬漿料規(guī)范

Specificationforpastesofpreciousmetalusedformicroelectronics

2022-10-12發(fā)布2023-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T17472—2022

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替微電子技術用貴金屬漿料規(guī)范與相比除

GB/T17472—2008《》,GB/T17472—2008,

結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性修改外主要技術變化如下

,。

更改了燒結(jié)型漿料的燒結(jié)溫度范圍由更改為見

———?！?00℃~900℃”“400℃~1600℃”(

年版的

3.1,20083.1)。

增加了對固化型漿料固化條件的詳細說明見

———(3.2)。

更改了計算漿料固體含量時的條件由漿料在灼燒后更改為漿料在

———。“400℃~900℃”“

灼燒后由漿料在室溫至加熱后更改為漿料在一定溫度加

750℃”,“250℃”“(25℃~400℃)

熱后或在紫外光波長為的電磁波的照射下或在電子束輻射電子的能量

(100nm~400nm)(

為的照射下至恒重見年版的

30keV~300keV)”(3.3,20083.3、3.4)。

更改了漿料細度的定義由漿料中固體微粒的大小更改為漿料中顆粒物的分散程度見

———?！啊薄啊?

年版的

3.4,20083.5)。

增加了方阻定義中導電膜厚度規(guī)定增加了方阻的折算公式見

———:25.4μm。(3.5)。

增加了導電膜示意圖見

———(3.5)。

刪除了牌號表示方法中非貴金屬漿料的字母標識見年版的

———(20084.1.3)。

更改了牌號表示方法中的含義由燒結(jié)型漿料或固化型漿料更改為工藝類型見

———“b”?！啊薄啊?

年版的

4.3,20084.1.3)。

刪除了牌號表示方法中電極漿料的字母標識見年版的

———(20084.1.3)。

更改了漿料牌號的表示方法由金屬名稱用化學元素符號表示金屬名稱更改為

———?！癲———?！?/p>

金屬相成分用化學元素符號表示金屬名稱元素符號后的數(shù)字表示該金屬占金屬相

“d———。,

的質(zhì)量分數(shù)見年版的

”(4.3,20084.1.3)。

刪除了漿料對使用貴金屬原料的要求年版的

———(20084.2)。

增加了外觀質(zhì)量的試驗方法見

———(6.2)。

增加了檢驗項目和取樣的相關內(nèi)容見

———(7.3)。

增加了外觀質(zhì)量項是否合格的判定規(guī)則見

———(7.5.1)。

增加了除外觀質(zhì)量外的檢驗項目出現(xiàn)不合格時復檢時判定產(chǎn)品是否合格的詳細規(guī)則見

———,(

7.5.2)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本文件由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本文件起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司有色金屬技術經(jīng)濟研究院有限責任公司西安宏星電子

:、、

漿料科技股份有限公司

。

本文件主要起草人李俊鵬李瑋朱武勛孫社稷李世鴻左川李燕華劉繼松馬曉峰王大林

:、、、、、、、、、、

向磊趙瑩

、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為年第一次修訂

———1998GB/T17472—1998,2008;

本次為第二次修訂

———。

Ⅰ

GB/T17472—2022

微電子技術用貴金屬漿料規(guī)范

警示———使用本文件的人員應有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗本文件并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家相關法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本文件規(guī)定了微電子技術用貴金屬漿料的分類技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸

、、、、、、、

貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容

。

本文件適用于燒結(jié)型及固化型微電子技術用貴金屬漿料以下簡稱漿料非貴金屬漿料也可參

(“”)。

照執(zhí)行

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

色漆和清漆鉛筆法測定漆膜硬度

GB/T6739

色漆和清漆漆膜厚度的測定

GB/T13452.2

微電子技術用貴金屬漿料測試方法固體含量測定

GB/T17473.1

微電子技術用貴金屬漿料測試方法細度測定

GB/T17473.2

微電子技術用貴金屬漿料測試方法方阻測定

GB/T17473.3

微電子技術用貴金屬漿料測試方法附著力測定

GB/T17473.4

微電子技術用貴金屬漿料測試方法粘度測定

GB/T17473.5

微電子技術用貴金屬漿料測試方法分辨率測定

GB/T17473.6

微電子技術用貴金屬漿料測試方法第部分可焊性耐焊性測定

GB/T17473.77:、

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

燒結(jié)型漿料sinteringpastesofpreciousmetal

由貴金屬或其化合物的粉末添加物和有機載體組成的一種適用于印刷或涂敷的漿狀物或膏狀物