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掃描電鏡襯度的形成:主要利用樣品表面微區(qū)特征,如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)或位向等的差異，在電子束作用下產(chǎn)生不同強(qiáng)度的物理信號(hào)，使陰極射線管熒光屏上不同的區(qū)域呈現(xiàn)出不同的亮度，獲得具有一定襯度的圖象。第六節(jié)掃描電鏡襯度像1.二次電子像形貌襯度的形成：二次電子產(chǎn)額強(qiáng)烈依賴于入射束與試樣表面法線間的夾角。如果試樣表面是凸凹不平的話，法線與入射束夾角大的面發(fā)射的二次電子多；反之則少。(a)=0°50?r1(b)=45°50?r250?r3(c)=65°r3＞r2＞r1入射電子在試樣表層下50?深度內(nèi)所經(jīng)路程隨面法線間夾角的變化

B二次電子產(chǎn)額圖象襯度AC形貌襯度形成原理檢測(cè)器B強(qiáng)度ADABCDIAIBICID2.背散射電子像成分襯度

背散射電子像的形成：樣品表面上平均原子序數(shù)Z大的部位產(chǎn)生較強(qiáng)的背散射電子信號(hào)，在熒光屏上形成較亮的區(qū)域；而平均原子序數(shù)較低的部位則產(chǎn)生較少的背散射電子，在熒光屏上形成較暗的區(qū)域，這樣就形成原子序數(shù)襯度（成分襯度）。形貌襯度產(chǎn)額傾斜角背散射電子和二次電子成像對(duì)比二次電子像背散射電子像背散射像的獲得背散射電子探測(cè)器和信號(hào)處理a)成分有差別，(b)形貌有差別，(c)成分形貌都有差別

形貌無(wú)差別

成分無(wú)差別由A和B來(lái)的信號(hào)分離后的信號(hào)鋁合金拋光表面的背反射電子像

采用A+B方式獲得的成分像采用A-B獲得的形貌像鋁合金韌窩斷口形貌斷口形貌分析斷口形貌分析解理臺(tái)階

斷口形貌分析碳纖維增強(qiáng)復(fù)合材料斷口的二次電子像斷裂擴(kuò)展過(guò)程原位觀察斷裂過(guò)程原位觀察Al3Ti/(Al-Ti)復(fù)合材料斷裂過(guò)程原位觀察納米材料形貌觀察螺旋形碳納米管顯微組織分析高鎳高鉻奧氏體鋼的顯微組織第七節(jié)掃描電鏡晶體學(xué)分析1.通道花樣形成原理

入射電子被晶體中原子點(diǎn)陣的散射幾率并不是各向同性的。當(dāng)γ<θB時(shí)，入射電子被背向散射(即散射角大于90°)大于前向散射(即散射角小于90°)的幾率，意味著這些入射方向是不利于進(jìn)入晶體的禁道；而當(dāng)γ>θB時(shí)，入射電子的前向散射幾率大于背向散射幾率，意味著這些入射方向是易于進(jìn)入到晶體中去的通道，這種物理現(xiàn)象稱為電子通道效應(yīng)。〈111〉金剛石晶體所獲得的電子通道花樣3.通道花樣的指標(biāo)化W/MAC/ML2γ2θ

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