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文檔簡介
TouchPanelSiO2鍍膜
TouchPanel產(chǎn)品介紹SiO2鍍膜前準(zhǔn)備SiO2鍍膜作業(yè)SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷1TouchPanel產(chǎn)品介紹背景:TouchPanel產(chǎn)品是2007年偉光公司開發(fā)的新產(chǎn)品,主要用于高端電子產(chǎn)品顯示屏,目前已經(jīng)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。構(gòu)造:TouchPanel產(chǎn)品為雙面Pattern結(jié)構(gòu),膜面和空氣面均有圖案。
F面SiO2F面ITO層玻璃R面ITOR面金屬層R面ITO層2雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備雙面SiO2鍍膜是TouchPanel產(chǎn)品制程中最重要的工序,與常規(guī)的鍍膜工藝相比具有其一定的特殊性,需要用到兩種特殊用品。鍍膜特殊用品介紹:金屬M(fèi)ask及銅磁背板。
3雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備金屬M(fèi)ask
R面金屬M(fèi)ASKF面金屬M(fèi)ASK5雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備銅磁背板
銅磁背板沒有鏍孔面與玻璃基板接觸6雙面SiO2鍍膜作業(yè)將金屬M(fèi)ASK置于對位臺(tái)上,固定后打開真空吸附開關(guān),將其吸附(注意F/R面MASK不要用錯(cuò))7雙面SiO2鍍膜作業(yè)基板對位標(biāo)金屬M(fèi)ASK對位框OKNG手動(dòng)對位9雙面SiO2鍍膜作業(yè)在監(jiān)視器上確認(rèn)基板與金屬M(fèi)ASK對位是否在規(guī)格內(nèi)(基板上有四個(gè)“田”字型對位標(biāo),與金屬M(fèi)ASK上對位方框?qū)ξ唬?0雙面SiO2鍍膜作業(yè)將銅磁背板置于基板置于基板上,必須避免基板在金屬M(fèi)ASK上的滑動(dòng)11雙面SiO2鍍膜作業(yè)將待鍍品掛上框架(注意金屬M(fèi)ASK不能有翹曲)13雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷主要品質(zhì)缺陷※電子擊傷※金屬層劃傷※SiO2掉膜※SiO2打弧※粉塵、污染14雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷電
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