JJG 341-1994光柵線位移測量裝置

中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG341—1994

光柵線位移測量裝置

GratingLinearDisplacement

MeasuringDevice

1994-05-06發(fā)布1994-12-01實(shí)施

國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG341—1994

光柵線位移測量裝置

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檢定規(guī)程??

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VerificationRegulationofGrating??

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LinearDisplacementMeasuring

Device

本檢定規(guī)程經(jīng)國家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)并自

19940506,1994

年月日起施行

1201。

歸口單位:中國測試技術(shù)研究院

起草單位:中國測試技術(shù)研究院

本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG341—1994

本規(guī)程主要起草人:

饒家崇中國測試技術(shù)研究院

()

參加起草人:

郭健蓉中國測試技術(shù)研究院

()

張恒中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJG341—1994

目錄

一概述…………………

(1)

二檢定項(xiàng)目和檢定條件………………

(1)

三技術(shù)要求和檢定方法………………

(2)

四用激光干涉測長儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度………

(4)

五用長光柵比較儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度…………

(8)

六檢定結(jié)果處理和檢定周期…………

(8)

附錄各種溫度的飽和蒸氣壓表………

(9)

JJG341—1994

光柵線位移測量裝置檢定規(guī)程

本規(guī)程適用于新制造使用中和修理后的光柵線位移測量裝置的檢定

、。

一概述

光柵線位移測量裝置以下簡稱光柵裝置是以光柵作為測量元件用光柵線位移

1(),

傳感器以下簡稱光柵傳感器將線位移量通過光柵數(shù)顯表以數(shù)字顯示的線位移測量

(),

裝置

。

光柵裝置主要由光柵傳感器包括專用電纜和光柵數(shù)顯表兩部分配對(duì)組成

2()。

光柵傳感器按結(jié)構(gòu)分為開啟式和封閉式按型式分為帶參考零位和不帶參考零位的

3;

光柵傳感器

。

光柵數(shù)顯表按功能分為普通型和多功能型光柵數(shù)顯表

4。

二檢定項(xiàng)目和檢定條件

光柵裝置的檢定項(xiàng)目和主要檢定工具如表所示

51。

表1

檢定類別

序號(hào)檢定項(xiàng)目主要檢定工具

新制的修理后使用中

外觀

1———+--

機(jī)械性能

2———+++

功能

3———+++

細(xì)分誤差激光干涉測長儀或長光柵

4+++

回程誤差比較儀

5+++

重復(fù)性

6+++

穩(wěn)定度

7+++

準(zhǔn)確度

8+++

注:表中“+”表示應(yīng)檢定,“-”表示可不檢定。

光柵裝置檢定時(shí)的溫度以為標(biāo)準(zhǔn)檢定溫度應(yīng)滿足表的各項(xiàng)要求

620℃。5。

光柵裝置在檢定前要放置