JJF 1503-2015電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1503—2015

電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforCapacitanceDiaphragmVacuumGauges

2015-01-30發(fā)布2015-04-30實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1503—2015

電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范??

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CapacitanceDiaphragmVacuumGauges

歸口單位全國(guó)壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

參加起草單位上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

:

上海振太儀表有限公司

浙江省計(jì)量科學(xué)研究院

本規(guī)范委托全國(guó)壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1503—2015

本規(guī)范主要起草人

:

于紅燕中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

王金庫(kù)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

許紅上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

丁基敏上海振太儀表有限公司

()

陳宇航浙江省計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1503—2015

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位

3………………………(1)

術(shù)語(yǔ)

3.1…………………(1)

計(jì)量單位

3.2……………(2)

概述

4……………………(2)

計(jì)量特性

5………………(3)

修正因子

5.1……………(3)

零位變化量

5.2…………(3)

校準(zhǔn)條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備

6.2………………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(4)

校準(zhǔn)項(xiàng)目

7.1……………(4)

校準(zhǔn)方法

7.2……………(4)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(7)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(8)

附錄電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)記錄格式

A………………(9)

附錄校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)頁(yè)格式

B()………(10)

附錄電容薄膜真空計(jì)修正因子測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定方法

C…(11)

附錄熱流逸效應(yīng)下電容薄膜真空計(jì)修正因子的溫度修正

D………(15)

Ⅰ

JJF1503—2015

引言

國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測(cè)量不確定度評(píng)定與表示和真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

》、JJF1059-1《》GB/T3163—2007《》

共同構(gòu)成本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

。

本校準(zhǔn)規(guī)范參照真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比對(duì)的

ISO/TS3567:2011(E)《———

校準(zhǔn)

》(Vacuumgauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)、

真空技術(shù)真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果

ISO/TS27893:2009(E)《——————

的不確定度評(píng)定

》(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncertaintiesof

和真空技術(shù)手冊(cè)

resultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)《》

中第章全壓真空計(jì)

(HandbookofVacuumTechnology)13(TotalPressureVacuum

和第章校準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行制定采用了其中的

Gauge)15(CalibrationsandStandards),

基本原則對(duì)具體方法和技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化補(bǔ)充和修改

,、。

本規(guī)范為首次制定

。

Ⅱ

JJF1503—2015

電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于測(cè)量范圍在的電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)其中包括絕

0.1Pa~133kPa,

壓電容薄膜真空計(jì)和差壓電容薄膜真空計(jì)

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—2011

壓力計(jì)量名詞術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1008—2008

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T3163—2007

真空技術(shù)圖形符號(hào)

GB/T3164—2007

真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比對(duì)的校準(zhǔn)

ISO/TS3567:2011(E)———(Vacuum

gauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技術(shù)真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比對(duì)校準(zhǔn)

ISO/TS27893:2009(E)——————

結(jié)果的不確定度評(píng)定

(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncer-

taintiesofresultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技術(shù)手冊(cè)第章校準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)

《》(HandbookofVacuumTechnology)15(Cali-

brationsandStandards)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位

術(shù)語(yǔ)

3.1

真空計(jì)定義

3.1.1(vacuumgauge)[GB/T3163—20074.1.2]

測(cè)量低于大氣壓力的氣體或蒸汽壓力的一種儀器

。

電容薄膜真空計(jì)

3.1.2(capacitancediaphragmvacuumgauge)

利用膜片受到壓差產(chǎn)生位移造成膜片與固定電極之間的電容量發(fā)生變化