GB/T 39157-2020靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義

ICS7715001

H00..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T39157—2020

靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義

Classificationanddefinitionofthetechnologyreadinesslevelsfortargets

2020-11-19發(fā)布2021-10-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T39157—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院寧波江豐電子材料股份有

:、、

限公司貴研鉑業(yè)股份有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人高巖韓知為熊曉東騰海濤趙永善賀昕邊逸軍陳明王傳軍姚力軍

:、、、、、、、、、、

聞明徐國(guó)進(jìn)管麗梅

、、。

Ⅰ

GB/T39157—2020

靶材技術(shù)成熟度等級(jí)劃分及定義

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了靶材技術(shù)成熟度的術(shù)語(yǔ)和定義等級(jí)劃分和判定規(guī)則

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于靶材技術(shù)成熟度評(píng)價(jià)

。

2術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

21

.

靶材target

在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽(yáng)離子撞擊下以分子原子或離子的形

。、

式脫離陰極而在陽(yáng)極表面沉積

。

22

.

技術(shù)成熟度technologyreadiness

技術(shù)滿足預(yù)期靶材應(yīng)用目標(biāo)的程度

。

23

.

技術(shù)成熟度等級(jí)technologyreadinesslevels

用于衡量靶材技術(shù)滿足預(yù)期應(yīng)用目標(biāo)程度的尺度

。

注改寫(xiě)定義

:GB/T37264—2018,2.2。

24

.

技術(shù)參數(shù)technicalparameter

針對(duì)某一事物在規(guī)定的檢測(cè)條件下得出的相對(duì)數(shù)據(jù)

。

注一般是指設(shè)計(jì)或生產(chǎn)時(shí)做出的性能測(cè)試報(bào)告

:。

25

.

靶材樣品targetsamples

在實(shí)驗(yàn)室階段根據(jù)靶材設(shè)計(jì)要求而制備的用于測(cè)試主要性能結(jié)構(gòu)和檢驗(yàn)工藝性能的實(shí)物具備

,、,

了靶材的部分特性

。

注改寫(xiě)定義

:GB/T37264—2018,2.3。

26

.

靶材試制品targetdevelopedproducts

在靶材工程化階段考慮最終形式并在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或使用環(huán)境下對(duì)靶材關(guān)鍵性能和功能進(jìn)行測(cè)

,,,

試通過(guò)小批量或小規(guī)模制備的實(shí)物

,。

注改寫(xiě)定義

:GB/T37264—2018,2.4。

27

.

實(shí)驗(yàn)室環(huán)境laboratoryenvironments

實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)和校準(zhǔn)設(shè)施以及環(huán)境條件用于驗(yàn)證技術(shù)原理和使用功能

,。

28

.

模擬環(huán)境simulationenvironments

模擬真實(shí)使用環(huán)境用以驗(yàn)證靶材的關(guān)鍵