GB/T 38867-2020電子工業(yè)用四氯化硅

ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38867—2020

電子工業(yè)用四氯化硅

Silicontetrachlorideforelectronicindustry

2020-07-21發(fā)布2021-02-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)用四氯化硅

GB/T38867—2020

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20207

*

書號(hào)

:155066·1-65089

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T38867—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位湖北晶星科技股份有限公司湖北省標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量研究院洛陽(yáng)中硅高科技有限

:、、

公司唐山三孚電子材料有限公司湖北光谷標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新科技有限公司廣東華特氣體股份有限公司浙江

、、、、

西亞特電子材料有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海市計(jì)量測(cè)試

、、、

技術(shù)研究院聯(lián)雄投資上海有限公司隨州市信息與標(biāo)準(zhǔn)化所達(dá)州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)測(cè)試中心

、()、、、

西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人徐德張國(guó)光黃娣劉暢楊劍趙雄楚東旭王春英戴帥張競(jìng)黃國(guó)菲

:、、、、、、、、、、、

廖恒易陳艷珊楊利于青玉方華曹作斌曲慶陳鷹李春華黃輝譚鵬程鄧遠(yuǎn)方周鵬云徐龍

、、、、、、、、、、、、、、

趙帥德唐霞梅

、。

Ⅰ

GB/T38867—2020

電子工業(yè)用四氯化硅

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用四氯化硅的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸儲(chǔ)存及安全

、、、、、、

的要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)四氯化硅精制提純后的電子工業(yè)用四氯化硅

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T602

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

氬

GB/T4842

鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T5099

紅外光譜分析方法通則

GB/T6040

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

電子級(jí)水

GB/T11446.1—2013

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

不銹鋼焊接氣瓶

GB/T32566

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

GB/T34972

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例年月日中華人民共和國(guó)國(guó)務(wù)院令第號(hào)公布年月

(2002126344,20112

日國(guó)務(wù)院第次常務(wù)會(huì)議修訂通過(guò)

16144)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版中華人民共和國(guó)國(guó)務(wù)院令第號(hào)

(2009,549)

3技術(shù)要求

四氯化硅的技術(shù)要求應(yīng)符合表的規(guī)定光纖用四氯化硅還應(yīng)增加相對(duì)透過(guò)率的要求