GB/T 34085-2017電子工業(yè)用氣體三氟甲烷

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34085—2017

電子工業(yè)用氣體三氟甲烷

Gasforelectronicindustry—Trifluoromethane

2017-07-31發(fā)布2017-11-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34085—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心福建廣東華特氣體股份有限公司

:()、、

浙江巨化股份有限公司高麥儀器公司浙江省化工研究院中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司大連大

、、、、

特氣體有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司東莞市聯(lián)臣電子科技有限公司天津長蘆華信化工

、、、

股份有限公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳熔林宇巍傅鑄紅杜漢盛葉紅艷牛艷東史婉君孫福楠曲慶方華

:、、、、、、、、、、

王鴻崔學(xué)文周朋云

、、。

Ⅰ

GB/T34085—2017

電子工業(yè)用氣體三氟甲烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氟甲烷的技術(shù)要求試驗(yàn)方法以及包裝標(biāo)志貯運(yùn)及安全

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以二氟一氯甲烷三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產(chǎn)品它在電子工業(yè)等

、。

離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體

。

分子式

:CHF3。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量

:70.013(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

三氟甲烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

三氟甲烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(CHF3)()/10≥99.999

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

+(O2+Ar)()/10<1

氮含量體積分?jǐn)?shù)-6

(N2)()/10<3

一氧化碳含量體積分?jǐn)?shù)-6

(CO)()/10<