GB/T 33555-2017潔凈室及相關受控環(huán)境靜電控制技術指南

ICS1304030

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T33555—2017

潔凈室及相關受控環(huán)境

靜電控制技術指南

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments

technicalguidelinesofelectrostaticdischargecontrol

2017-05-12發(fā)布2017-09-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33555—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

靜電控制

4…………………2

培訓與規(guī)范

5………………7

附錄資料性附錄防靜電潔凈工作服主要性能

A()……………………8

參考文獻

………………………9

Ⅰ

GB/T33555—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標準起草單位中電投工程研究檢測評定中心蘇州天華超凈科技股份有限公司中天道成蘇

:、、(

州潔凈技術有限公司中國電子學會潔凈技術分會中國標準化協(xié)會中國電子儀器行業(yè)協(xié)會防靜電裝

)、、、

備分會信息產業(yè)防靜電產品質量監(jiān)督檢驗中心北京世源希達工程技術公司北京希達建設監(jiān)理有限

、、、

責任公司深圳市億天凈化技術有限公司浙江三威防靜電裝備有限公司上海陽森精細化工有限公司

、、、、

深圳市亨達洋靜電技術有限公司

。

本標準主要起草人王堯王大千姜偉康翟傳明裴振華楊子強殷曉冬孫延林趙長明

:、、、、、、、、、

宋競男劉清松陳霖新張利群蘇鋼民劉玥王鴻明王樣孫玉榮夏群艷莊曉榮馬敏生

、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33555—2017

引言

潔凈室及相關受控環(huán)境的污染包括懸浮粒子污染控制潔凈度生物污染控制菌落數(shù)空

()、(CFU)、

氣分子污染控制環(huán)境中億級至萬億級微量氣相酸性堿性有機及摻雜物質靜電污染靜電帶電

(10、、)、(

和靜電放電等

)。

靜電污染是不可忽視的危害靜電荷產生力學效應能吸附塵埃粒子而放電效應和感應效應

,“”,“”“”

嚴重時對電子元器件產品微電子線路分立半導體器件厚膜和薄膜電阻混合器件印刷線路板及晶

(、、、、

體管等造成損壞對潔凈室設施造成破壞如電氣管道接地系統(tǒng)失靈信息產業(yè)如微電子光電子

);(、)。(、

航天航空業(yè)如大飛機航天器的靜電污染控制技術受到高度重視和廣泛應用

……)、(、……)。

Ⅳ

GB/T33555—2017

潔凈室及相關受控環(huán)境

靜電控制技術指南

1范圍

本標準給出了潔凈室及相關受控環(huán)境控制靜電的術語和定義靜電控制培訓與規(guī)范等要求

、、。

本標準適用于潔凈室及相關受控環(huán)境的靜電控制

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

工業(yè)科學和醫(yī)療射頻設備騷擾特性限值和測量方法

GB4824—2013、(ISM)

室內空氣中臭氧衛(wèi)生標準

GB/T18202

潔凈廠房設計規(guī)范

GB50073—2013

電子設備的靜電防護通用要求

IEC61340-5-1(Protectionofelectronicdevicesfrom

electrostaticphenomena—Generalrequirements)

電子設備的靜電防護用戶指南

IEC/TR61340-5-2(Protectionofelectronicdevicesfromelec-

trostaticphenomena—Userguide)

電子設備的靜電防護靜電敏感設備包裝特性和要求分級

IEC61340-5-3(Protectionofelec-

tronicdevicesfromelectrostaticphenomena—Propertiesandrequirementsclassificationforpackaging

intendedforelectrostaticdischargesensitivedevices)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

靜電耗散材料static-dissipativematerials

表面電阻率在512之間或體積電阻率在411之間的材料

10Ω~10Ω,10Ω·cm~10Ω·cm。

32

.

靜電場electrostaticfield