GB/T 30702-2014表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜實(shí)驗(yàn)測(cè)定的相對(duì)靈敏度因子在均勻材料定量分析中的使用指南

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜實(shí)驗(yàn)測(cè)定的相對(duì)靈敏度

因子在均勻材料定量分析中的使用指南

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectron

spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivity

factorsforthequantitativeanalysisofhomogeneousmaterials

(ISO18118:2004,IDT)

2014-06-09發(fā)布2014-12-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

符號(hào)和縮略語(yǔ)

4……………2

概述

5………………………2

測(cè)量條件

6…………………3

概述

6.1…………………3

激發(fā)源

6.2………………3

能量分辨率

6.3…………………………3

能量步長(zhǎng)和掃描速率

6.4………………3

信號(hào)強(qiáng)度

6.5……………3

增益和時(shí)間常數(shù)適用于模擬信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)的儀器

6.6(AES)………3

調(diào)制獲取微分譜

6.7……………………4

數(shù)據(jù)分析步驟

7……………4

強(qiáng)度能量響應(yīng)函數(shù)

8………………………4

用相對(duì)靈敏度因子測(cè)定化學(xué)組成

9………………………4

化學(xué)組成的計(jì)算

9.1……………………4

計(jì)算組成的不確定度

9.2………………5

附錄規(guī)范性附錄相對(duì)靈敏度因子公式

A()……………6

符號(hào)和縮略語(yǔ)

A.1………………………6

原理

A.2…………………7

相對(duì)靈敏度因子

A.3……………………8

附錄資料性附錄分析結(jié)果的不確定度信息

B()………15

符號(hào)和縮略語(yǔ)

B.1………………………15

引言

B.2…………………15

基體效應(yīng)

B.3……………15

樣品組分分布

B.4………………………16

表面形貌

B.5……………16

輻照損傷

B.6……………16

離子濺射影響

B.7………………………16

表面污染

B.8……………16

參考文獻(xiàn)

……………………17

Ⅰ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜

ISO18118:2004《X

實(shí)驗(yàn)測(cè)定的相對(duì)靈敏度因子在均勻材料定量分析中的使用指南

》。

與本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)范性引用的國(guó)際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國(guó)文件如下

:

表面化學(xué)分析詞匯

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT);

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強(qiáng)度標(biāo)線性

———GB/T21006—2007X

(ISO21270:2004,IDT)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位北京師范大學(xué)分析測(cè)試中心

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人吳正龍

:。

Ⅲ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜是對(duì)材料表面組分靈敏的表面分析技術(shù)檢測(cè)深

(AES)X(XPS),

度通常為幾個(gè)納米兩種技術(shù)均給出在分析體積內(nèi)平均的表面加權(quán)信號(hào)大多數(shù)樣品的組分在橫向和

。。

深度方向上都有變化由于難以測(cè)定任一組分變化的大小和發(fā)生變化的距離經(jīng)常采用近似的方法進(jìn)

。,

行定量分析均勻樣品最簡(jiǎn)單雖然這種情況不常見(jiàn)但是為了方便分析通常假設(shè)待測(cè)樣品是均勻的

。,,,。

本標(biāo)準(zhǔn)提供了用實(shí)驗(yàn)測(cè)定的相對(duì)靈敏度因子進(jìn)行和定量分析均勻材料時(shí)的測(cè)量和使用

AESXPS

指南

。

Ⅳ

GB/T30702—2014/ISO181182004

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜實(shí)驗(yàn)測(cè)定的相對(duì)靈敏度

因子在均勻材料定量分析中的使用指南

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在俄歇電子能譜和射線光電子能譜均勻材料定量分析中相對(duì)靈敏度因子的實(shí)驗(yàn)

X

測(cè)量和使用指南

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

ISO18115(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary)

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強(qiáng)度標(biāo)線性

ISO21270X(Surfacechem-

icalanalysis—X-rayphotoelectronandAugerelectronspectrometers—Linearityofintensityscale)

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件中的術(shù)語(yǔ)絕對(duì)元素靈敏度因子和相對(duì)元

ISO18115。ISO18115

素靈敏度因子的定義分別列于和中未來(lái)修訂版中的術(shù)語(yǔ)平均基體相對(duì)靈敏度因

3.13.2。ISO18115

子和純?cè)叵鄬?duì)靈敏度因子的定義分別列于和中

3.33.4。

31

.

絕對(duì)元素靈敏度因子absoluteelementalsensitivityfactor

一種元素的系數(shù)用測(cè)得的該元素強(qiáng)度除以該系數(shù)而求得樣品中該元素的原子濃度或原子分?jǐn)?shù)

。,。

注1應(yīng)明確所選用的原子濃度或原子分?jǐn)?shù)

:。

注2所用靈敏度因子的類型應(yīng)與定量計(jì)算過(guò)程中所用的方程和分析樣品的類型相符例如均勻樣品或偏析層

:,。

注3為了正確使用基體因子或其他參數(shù)應(yīng)給出靈敏度因子的來(lái)源

:,。

注4靈敏度因子與激發(fā)源參數(shù)能量分析器參數(shù)以及樣品在儀器中相對(duì)于這些部件的取向相關(guān)靈敏度因子還與

:、