廢水處理工藝簡(jiǎn)介

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BasicallyIntroduction

廢水處理工藝

基本介紹

2/3/20231.概論2.各類(lèi)廢水處理工藝2.1重金屬?gòu)U水處理2.2氨系廢水處理2.3化學(xué)銅廢水處理2.4.顯影、去膜廢水處理2.5鉻系廢水處理2.6含氟硼酸廢水處理2/3/20231.概論

半導(dǎo)體製造過(guò)程中,需使用各種性質(zhì)不同的酸、鹼、有機(jī)溶劑等化學(xué)品,在生產(chǎn)工藝過(guò)程中,將產(chǎn)生大量的廢水,若處理不當(dāng),將對(duì)環(huán)境造成極大污染,同時(shí),隨著社會(huì)不斷進(jìn)步,環(huán)境問(wèn)題日益受到人類(lèi)關(guān)注,其中,工業(yè)廢水污染防治是環(huán)境保護(hù)重點(diǎn)之一,因此,為配合國(guó)家法規(guī),推行清潔生產(chǎn)及污染防治,企業(yè)必須設(shè)置與企業(yè)規(guī)模、生產(chǎn)工藝相匹配之污染防治設(shè)施,作到廢水有效處理,達(dá)標(biāo)排放,降低污染因素對(duì)環(huán)境之衝擊.2/3/20232.各類(lèi)廢水處理工藝2.1重金屬?gòu)U水處理重金屬?gòu)U水主要包含製程連續(xù)排出之一般清洗廢水及各類(lèi)定量納入廢水處理系統(tǒng)之高濃度重金屬?gòu)U液,主要重金屬污染物以銅離子為主,如製程採(cǎi)用氯化鐵蝕刻液,則還會(huì)有鐵離子污染,另含有少量的鉛、鎳、錳等金屬離子.

2/3/20232.1.1重金屬氫氧化物沉澱法1.基本原理重金屬氫氧化物沉澱法主要處理工藝為添加氫氧化鈉或石灰,提升廢水之PH值達(dá)到某一範(fàn)圍,使廢水中的重金屬離子形成溶解性極低的固體氫氧化物而加以沉澱分離去除,反應(yīng)原理如下:Mn++n(OH-)=M(OH)n2/3/20232處理流程及技術(shù)使用化學(xué)混凝沉澱法處理之重金屬?gòu)U水,大致可分為三個(gè)處理過(guò)程,即加藥PH調(diào)整、混凝反應(yīng)、固液分離.處理方式的選擇可依據(jù)水量的大小來(lái)決定,一般來(lái)說(shuō),廢水水量如果每日小於50噸,可採(cǎi)用批式處理較為經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)便,如果每日處理水量超過(guò)50噸,則以連續(xù)處理為佳.2/3/20232.2氨系廢水處理氨系廢水主要來(lái)源有二:其一來(lái)源為制程採(cǎi)用鹼性蝕刻技術(shù),其於蝕刻後清洗過(guò)程因蝕刻帶出液所造成之清洗水的污染,另一主要來(lái)源為在微蝕表面處理過(guò)程中採(cǎi)用過(guò)硫酸氨之微蝕溶液,廢水中含有氨銅廢液,銅離子與氨產(chǎn)生錯(cuò)合鍵接,並以氨銅錯(cuò)離子的型態(tài)存在於廢水中,無(wú)法以傳統(tǒng)的重金屬氫氧化物沉澱法加以去除,同時(shí)因廢水中含過(guò)量之氨成分,其與含銅廢水混合,將與游離銅離子產(chǎn)生錯(cuò)合作用,影響廢水中銅離子去除效果,故氨系廢水必須單獨(dú)收集,避免對(duì)重金屬?gòu)U水處理系統(tǒng)產(chǎn)生干擾.2/3/20232.2.1硫化物沉澱法1.基本原理因硫化物離子之活性高且大多數(shù)金屬硫化物的溶解度比金屬氫氧化物小很多,故硫化物沉澱法比一般氫氧化物沉澱法更能有效去除廢水中之重金屬,且金屬硫化物不但溶解度小,其處理時(shí)PH操作範(fàn)圍亦較寬,當(dāng)廢水中含有錯(cuò)氨或鰲合劑時(shí),一般重金屬氫氧化物沉澱法無(wú)法有效去除,而硫化物沉澱法則可有效處理,處理反應(yīng)如下:Cu(NH3)42++Na2S=CuS+4NH3+2Na+2/3/20232.處理流程及技術(shù)製程產(chǎn)生之氨系廢水由單獨(dú)之排放管線收集於單獨(dú)廢水儲(chǔ)槽中以備進(jìn)行處理,通常採(cǎi)用批式處理方式,反應(yīng)槽採(cǎi)用密閉型式,主要為防止處理過(guò)程中因操作不當(dāng)或其它意外原因造成大量H2S有毒氣體逸散,影響操作安全,處理時(shí)需加入氫氧化鈉將廢水之PH調(diào)整至8以上,再依廢水中銅離子濃度加入相等化學(xué)劑量的硫化鈉,並進(jìn)行均勻攪拌,使其與廢水中的銅離子完全反應(yīng)生成硫化銅不溶性的膠羽顆粒.2/3/20232.2.2折點(diǎn)加氯法1基本原理廢水中之NH3可在適當(dāng)之PH值,利用氯系的氧化劑(如CL2,NaoCL)使之氧化成氨胺後,再氧化分解成N2氣體而達(dá)去除之目的,反應(yīng)原理如下:CL2+H2O=HOCL+HCLNH3+HOCL=NH2CL+H2ONH2CL+HOCL=NHCL2+H2O4NH2CL+3HOCL=N2+N2O+7HCL+2H2O2NHCL2+HOCL=N2+3HCL+H2O2/3/20232.處理流程及技術(shù)此處理方式可採(cǎi)用批式處理方法,製程產(chǎn)生之氨系廢水由單獨(dú)之排放管線收集於單獨(dú)廢水儲(chǔ)槽中,當(dāng)收集槽至高液位時(shí),輸送至反應(yīng)槽加入NaOCL氧化劑,進(jìn)行氧化處理,以去除水中氨成分,在加氯氧化過(guò)程中,PH值宜保持在4左右,NaOCL加藥可採(cǎi)用氧化還原電位計(jì)或余氯指示控制計(jì)進(jìn)行控制,使廢水中之氨完全去除.2/3/2023

2.3化學(xué)銅廢水處理在鍍通孔製程中大都採(cǎi)用化學(xué)鍍銅方式在孔壁鍍銅,以連接各板面之線路,故有化學(xué)銅廢液產(chǎn)生,由於化學(xué)銅廢水中含有螯合劑成分,廢水中的重金屬銅離子與螯合劑產(chǎn)生螯合作用,無(wú)法直接以重金屬氫氧化物沉澱法去除,故需單獨(dú)收集進(jìn)行處理2/3/20232.3.1硫酸亞鐵處理法1基本原理利用亞鐵離子與螯合劑EDTA的螯合能力比銅離子強(qiáng)的基本原理,在適宜的反應(yīng)條件下,加入硫酸亞鐵進(jìn)行置換反應(yīng),將Cu-EDTA改變成Fe-EDTA,使廢水中的銅離子游離,再運(yùn)用重金屬氫氧化物沉澱法去除銅離子.2/3/2023

2.處理流程及技術(shù)製程產(chǎn)生之化學(xué)銅廢水由單獨(dú)之排放管線收集於單獨(dú)廢水儲(chǔ)槽中,當(dāng)收集槽至高液位時(shí),輸送至反應(yīng)槽,加入硫酸使PH值調(diào)節(jié)至2.7左右,加入硫酸亞鐵,進(jìn)行均勻攪拌,加入氫氧化鈉,調(diào)節(jié)PH值至11左右,使廢水中的銅離子形成沉澱物,加入混凝劑攪拌,使之形成大顆粒膠羽以利沉澱.2/3/20232.3.2鈣鹽處理法1.基本原理鈣鹽處理法是應(yīng)用鈣離子與螯合劑EDTA的螯合鍵結(jié)能力比銅離子強(qiáng)且穩(wěn)定性高的原理來(lái)處理化學(xué)銅廢水的處理方法.在正常操作狀況下,製程排出之化學(xué)銅廢液PH值約在10-13之間,溶液中的銅離子與EDTA成螯合狀態(tài),完全溶解在水中,由於鈣離子與螯合劑EDTA的螯合鍵結(jié)能力比銅離子強(qiáng)且穩(wěn)定性高,因此,加入適量的Ca(OH)2,PH值控制在11.5左右,鈣離子將取代銅離子與EDTA螯合,而使銅離子形成氫氧化銅沉澱去除.2/3/20232.處理流程及技術(shù)製程產(chǎn)生之化學(xué)銅廢水由單獨(dú)之排放管線收集於單獨(dú)廢水儲(chǔ)槽中,當(dāng)收集槽至高液位時(shí),輸送至反應(yīng)槽,加入適量的Ca(OH)2,PH值控制在11.5左右,鈣離子將取代銅離子與EDTA螯合,而使銅離子形成氫氧化銅沉澱去除,加入混凝劑攪拌,使之形成大顆粒膠羽以利沉澱.

2/3/20232.3.3.其它處理方法化學(xué)銅廢水處理方法尚有硼氫化鈉還原法、鋁催化還原法、銅催化還原法等,在此將不一一介紹.2/3/20232.4.顯影、去膜廢水處理製程在顯影、去膜過(guò)程中,將排放出高濃度有機(jī)廢液,如顯影廢液、剝膜廢液,另外,在不良品外層防焊油墨、幹膜剝除過(guò)程中,將產(chǎn)生綠漆清洗廢液,此類(lèi)廢液雖量少,但有機(jī)污染濃度極高,約占整廠廢水COD污染量的60-80%,為有效處理此類(lèi)廢水,必須單獨(dú)收集採(cǎi)用相應(yīng)方法進(jìn)行處理.2/3/20232.4.1酸化混凝沉澱法1.基本原理顯影、去膜廢水中溶解大量的油墨或干膜,其主要成分為含羥基之壓克力樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂等,其可與鹼性的顯影廢液發(fā)生反應(yīng),生成有機(jī)酸鹽溶解在水溶液中,但此類(lèi)含羥基樹(shù)脂不易溶解於酸性溶液中,基於此原理,在處理此類(lèi)廢水時(shí),加入酸進(jìn)行酸化,將廢水由鹼性調(diào)節(jié)至酸性,使有機(jī)酸鹽發(fā)生逆反應(yīng)恢復(fù)成樹(shù)脂狀的膜渣析出,若有效去除此類(lèi)膜渣,可大幅降低廢水之COD污染濃度.2/3/20232.處理流程及技術(shù)因廢水量不大,採(cǎi)用批次處理方法較符合經(jīng)濟(jì)原則,將顯影廢液收集於單獨(dú)儲(chǔ)槽內(nèi),當(dāng)高液位時(shí),輸送至酸化槽進(jìn)行酸化處理,向廢水中加入硫酸將PH值降至6左右,分別加入PAC及PAM,並進(jìn)行變頻攪拌,加強(qiáng)混凝效果,混合均勻後靜止,使沉澱物完全沉澱後將上清液排入接觸氧化池處理,污泥排入濃縮池脫泥.2/3/20232.4.2生物接觸氧化法基本原理接觸氧化法是將耐腐蝕性且比表面積很大的接觸濾材浸於曝氣池內(nèi),並進(jìn)行充分曝氣,使流入池內(nèi)的廢水均勻攪拌循環(huán)流動(dòng),而與接觸濾材相接觸,經(jīng)一段時(shí)間後,接觸濾材表面開(kāi)始生長(zhǎng)生物膜,利用生物膜在好氧狀態(tài)下吸附、氧化水中的污染物質(zhì)而達(dá)到淨(jìng)化水質(zhì)的一種處理方法.2/3/20232.處理流程及技術(shù)說(shuō)明顯影廢水經(jīng)酸化處理後,上清液收集儲(chǔ)存,定量輸送至接觸氧化池進(jìn)行生物處理,因酸化後廢水酸性偏低,有機(jī)濃度過(guò)高,且缺乏氮、磷等營(yíng)養(yǎng)成分,因此需先添加適量的氮、磷鹽類(lèi),使水中具有足夠的營(yíng)養(yǎng)成分,然後加入酸鹼等藥劑調(diào)整廢水中的PH值至中性,使廢水符合生物處理之進(jìn)流水資條件後輸送至生物接觸氧化池進(jìn)行處理.2/3/20232.5鉻系廢水處理部分製程採(cǎi)用重鉻酸法,在鍍通孔前的除膠渣製程中使用高濃度的六價(jià)鉻溶液將孔壁表面的膠渣去除,使孔壁平整,故在處理過(guò)程中將產(chǎn)生鉻系廢水,此類(lèi)廢水需單獨(dú)收集,進(jìn)行還原處理,在排入綜合廢水進(jìn)行重金屬氫氧化物沉澱法加以處理.2/3/20232.5.1亞硫酸鹽還原處理法1.基本原理以亞硫酸鹽為還原劑來(lái)處理含六價(jià)鉻是最為安全且被廣泛使用的一種處理方法,主要是在酸性條件下,投加適量的亞硫酸鹽還原劑,使六價(jià)鉻還原為三價(jià)鉻,一般常用的硫酸鹽有亞硫酸氫鈉,亞硫酸鈉等,反應(yīng)式如下:2H2Cr2O7+6NaHSO3+3H2SO4=2Cr2(SO4)3+3Na2SO4+8H2OH2Cr2O7+3Na2SO3+3H2SO4=Cr2(SO4)3+3Na2SO4+4H2O2/3/20232.處理流程及技術(shù)製程產(chǎn)生之鉻系廢水由單獨(dú)之排放管線收集於單獨(dú)廢水儲(chǔ)槽中,當(dāng)收集槽至高液位時(shí),輸送至反應(yīng)槽內(nèi)進(jìn)行還原處理,處理時(shí)先加入硫酸將廢水的PH值調(diào)整至3以下,再加入亞硫酸鹽進(jìn)行還原,使六價(jià)鉻還原為三價(jià)鉻,待反應(yīng)完成後,將廢水排入重金屬?gòu)U水處理系統(tǒng)中,以重金屬氫氧化物沉澱法處理,使Cr3+生成Cr(OH)3沉澱而加以去除.2/3/20232.6含氟硼酸廢水處理在外層線路鍍錫鉛製程中使用氟硼酸系列的電鍍液,在清洗過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生連續(xù)性排放之低濃度清洗廢水,此類(lèi)廢水含濃度高低不一的鉛、錫及氟硼酸離子等污染物,其中主要的有害成分是鉛和氟,鉛離子可採(cǎi)用重金屬氫氧化物沉澱法進(jìn)行處理,對(duì)於氟的去除則較為困難,因廢水中的氟與硼結(jié)合,形成穩(wěn)定的螯合物,因此不能以傳統(tǒng)的氟化物鈣鹽處理,需採(cǎi)用特殊方法進(jìn)行處理2/3/20232.6.1離子交換法1.基本原理此處理方法適用於低濃度含氟硼酸廢水處理,由於清洗廢水水量大且含BF4-濃度低,採(cǎi)用鋁鹽-石灰處理法不經(jīng)濟(jì),可先使用離子交換法將BF4-濃縮,再以鋁鹽-石灰處理法處理濃縮廢液,其廢水中的BF4-及F-可被鹽基性的陰離子交換樹(shù)脂吸附,其反應(yīng)如下:2R-OH+BF4-+F-=R-BF4+R-F+2OH-2/3/20232.處理流程及技術(shù)將氟硼酸廢水輸送至陽(yáng)離子交換柱,先行去除Pb2+、Sn2+等陽(yáng)離子,再流入陰離子交換柱,以去除廢水中的BF4-、F4-等陰離子,在離子交換過(guò)程中,陰離子交換柱中的樹(shù)脂顏色由灰色變成白色,當(dāng)出流水PH值降至3-3.5時(shí),氟濃度接近10mg/l,應(yīng)停止處理,進(jìn)行樹(shù)脂再生.2/3/20232.6.2高溫鋁鹽-石灰處理法1.基本原理處理原理為先破壞安定的BF4-螯合物,再使之形成CaF2沉澱,安定的BF4-可於高溫下以鋁鹽為觸媒進(jìn)行水解,使形成HF,再加入Ca2+以生成CaF2沉澱,反應(yīng)如下:HBF4+H2O=HBF3(OH)+HFHBF3(OH)+H2O=HBF2(OH)2+HFHBF2(OH)2+H2O=HBF(OH)3+HFHBF(OH)3+H2O=H3BO