GB/T 17473.1-2008微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法固體含量測(cè)定

犐犆犛７７．１２０．９９

犎６８

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１７４７３．１—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—１９９８

微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法

固體含量測(cè)定

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱狊狅犳狆狉犲犮犻狅狌狊犿犲狋犪犾狊狆犪狊狋犲狊狌狊犲犱犳狅狉

犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊—犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狊狅犾犻犱狊犮狅狀狋犲狀狋

２００８０３３１發(fā)布２００８０９０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜１７４７３．１—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)ＧＢ／Ｔ１７４７３—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法》（所有部分）的整合修

訂，分為７個(gè)部分：

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法固體含量測(cè)定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．２—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法細(xì)度測(cè)定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．３—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法方阻測(cè)定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．４—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法附著力測(cè)試；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．５—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法粘度測(cè)定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法分辨率測(cè)定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．７—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法可焊性、耐焊性測(cè)定。

本部分為ＧＢ／Ｔ１７４７３—２００８的第１部分。

本部分代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法固體含量測(cè)定》。

本部分與ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—１９９８相比，主要有如下變動(dòng)：

———將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法固體含量測(cè)定；

———?jiǎng)h除了引用文件ＧＢ／Ｔ２４２１—１９８９；

———本部分增加了聚合物低溫固化型漿料的固體含量測(cè)定內(nèi)容；

———對(duì)于聚合物低溫固化漿料，根據(jù)漿料使用溫度的不同來(lái)確定檢測(cè)固體含量的溫度；

———漿料平行取樣由兩份增加為三份；

———?jiǎng)h除了中溫?zé)蓾{料的內(nèi)容，將高溫?zé)蓾{料改為燒結(jié)型漿料；

———試料相互之間測(cè)試值之差不大于平均值的１％測(cè)定結(jié)果有效。

本部分由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。

本部分由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。

本部分由貴研鉑業(yè)股份有限公司負(fù)責(zé)起草。

本部分主要起草人：陳一、張駿、朱武勛。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—１９９８。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜１７４７３．１—２００８

微電子技術(shù)用貴金屬漿料測(cè)試方法

固體含量測(cè)定

１范圍

本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料中固體含量的測(cè)試方法。

本部分適用于各種燒結(jié)型和固化型微電子技術(shù)用貴金屬漿料固體含量的測(cè)定。

２引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本部分的引用而成為本部分的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本部分，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本部分達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本部分。

ＧＢ／Ｔ８１７０數(shù)值修約規(guī)則

３方法原理

貴金屬漿料在一定溫度下加熱一定時(shí)間，根據(jù)加熱前后的質(zhì)量差測(cè)定其固體含量。

４儀器與設(shè)備

４．１天平：感量為０．０００１ｇ。

４．２箱式電阻爐：最高使用溫度１０００℃，控溫精度為±２０℃。

４．３鼓風(fēng)式恒溫烘箱：最高使用溫度３００℃，控溫精度為±５℃。

４．４干燥器：變色硅膠作干燥劑。

５試樣

將樣品攪拌均勻，不得引入雜質(zhì)。

６測(cè)試步驟

實(shí)驗(yàn)環(huán)境：環(huán)境溫度１５℃～３５℃、相對(duì)濕度４５％～７５％、大氣壓強(qiáng)８６ｋＰａ～１０６ｋＰａ。

６．１試料

６．１．１燒結(jié)型漿料：稱取三份１ｇ的試料，準(zhǔn)確到０．０００１ｇ，分別置于已恒重的２ｍＬ瓷坩堝中。

６．１．２固化型漿料：稱取三份０．２ｇ～０．３ｇ的試料，準(zhǔn)確到０．０００１ｇ，分別置于聚酯ＰＥＴ薄膜片上，

適當(dāng)攤開(kāi)。

６．２實(shí)驗(yàn)溫度與操作

６．２．１燒結(jié)型漿料：將裝有試料的坩堝置于箱式電阻爐中，微開(kāi)爐門(mén)，升溫至１５０℃，保溫３０ｍｉｎ。關(guān)

上爐門(mén)，繼續(xù)升溫至８５０℃，保溫３０ｍｉｎ。燒結(jié)完成后關(guān)閉電源，打開(kāi)爐門(mén)冷卻至８０℃～１００℃取出坩

堝，置于干燥器中，冷卻至室溫，稱量。