標準解讀
GB/T 16945-1997 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業(yè)用氣體 氬》。這項標準規(guī)定了電子工業(yè)應用中氬氣的質(zhì)量要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保提供給電子工業(yè)使用的氬氣品質(zhì)符合統(tǒng)一且嚴格的標準,以保障電子產(chǎn)品制造過程中的質(zhì)量與可靠性。
標準內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了該標準適用于以液態(tài)或氣態(tài)形式供應,用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的氬氣。
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規(guī)范性引用文件:列出了實施本標準時所依據(jù)的其他相關標準文獻,這些文獻對于理解和執(zhí)行GB/T 16945-1997的具體要求至關重要。
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術語和定義:對標準中使用的一些關鍵術語給出了明確的定義,幫助讀者準確理解標準內(nèi)容。
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要求:
- 純度:詳細規(guī)定了氬氣的純度要求,通常要求極高純度,以避免雜質(zhì)影響電子元件的性能和壽命。
- 雜質(zhì)含量:限定了氬氣中可能含有的各種雜質(zhì)元素(如氧、氮、氫等)的最大允許含量,這些限制非常嚴格,以滿足電子器件制造的高純凈度需求。
- 水分含量:設定了氬氣中水分的最大容許量,過高的水分會損害電子元器件的性能。
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試驗方法:描述了如何通過科學的檢測手段來測定氬氣的純度、雜質(zhì)含量及水分含量等指標,確保測試結果的準確性和可重復性。
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檢驗規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前應遵循的檢驗程序、取樣方法及合格判定準則,以保證每批產(chǎn)品的質(zhì)量符合標準要求。
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包裝、標志、運輸和儲存:說明了氬氣在不同形態(tài)下的適當包裝方式、標識信息要求,以及在運輸和儲存過程中需遵守的安全措施,以防污染或物理損壞。
實施意義:
該標準的制定與實施,為電子工業(yè)用氬氣的生產(chǎn)、檢驗和應用提供了統(tǒng)一的技術規(guī)范,有助于提升我國電子工業(yè)原材料的質(zhì)量控制水平,促進電子產(chǎn)品的可靠性和國際競爭力。通過遵循這一標準,供應商能夠確保所提供的氬氣滿足電子制造業(yè)的高標準需求,進而支持半導體、液晶顯示、太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。
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文檔簡介
6102中華人民共和國國家標準GB/T16945-1997電子工業(yè)用氣體氬Gasesforelectronicindustry-Argon1997-08-13發(fā)布1998-05-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布
GB/T16945-1997本標準是根據(jù)SEMIC3.46—93《99.9992%質(zhì)量的散裝液氮標準》95年版)制定的,在技術要求上與之等同,試驗方法與之等效。在將SEMIC3.46—93轉化為國家標準時,結合我國實際情況,將適用范圍擴大至瓶裝氬氣和管道輸送的氫氣,刪去SEMIC3.46—93中僅作為參考的說明、物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容,試驗方法中增加抽樣和氣純度兩條,除氫、氮含量的測定采用SEMIC3.46—93的方法外,其余各項雜質(zhì)含量的測定分別采用我國相應的通用試驗方法國家標準,同時對檢測限和標樣要求按SEMIC3.46—93的規(guī)定進行適當?shù)恼{(diào)整。以上變動與SEMIC3.46—93無實質(zhì)性差異,使標準的技術內(nèi)容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業(yè)部提出。本標準由化學工業(yè)部西南化工研究院歸口本標準起草單位:化學工業(yè)部西南化工研究院、上海BOC氣體工業(yè)有限公司、武鋼氧氣廠、洛陽單品硅廠。本標準主要起草人:顏伯舉、王少楠。
中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體GB/T16945-1997Gasesforelectronicindustry-Argon范園本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氬的技術要求、試驗方法和包裝、標志。本標準適用于以深冷法從空氣、合成氮尾氣中提取的液態(tài)氮和氣態(tài)氬電子工業(yè)用氬氣用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓,它還可用于化學氣相淀積、獄射,等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。分子式:Ar相對分子質(zhì)量:39.948(按1991年國際相對原子質(zhì)量)2引用標準下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T4842-1995氮氣GB/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T8984.1一1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3—1997氣體中總烴的測定氣相色譜法GB14193—1993液化氣體氣瓶充裝規(guī)定JB/TQ503—86低溫液體槽車JB/T6897-93低溫液體容器JB/T6898—93低溫液體儲運設備使用安全規(guī)則3要求電子工業(yè)用氬技術要求應符合表1的規(guī)定表1技術要求V/v指氬純度,10-99.9992氫含量,10-敘合量,10-氧含量.10-一氧化碳和二氧化碳含量,10-2s總烴(以甲
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