GB/T 16601.1-2017激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測試方法第1部分：定義和總則

ICS31260

L51.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T166011—2017

部分代替.

GB/T16601—1996

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值

測試方法第1部分定義和總則

:

Lasersandlaser-relatedequipment—Testmethodsforlaser-induced

damaethreshold—Part1Definitionsandeneralrinciles

g:gpp

(ISO21254-1:2011,MOD)

2017-12-29發(fā)布2018-07-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T166011—2017

.

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

測量數(shù)據(jù)的符號(hào)和單位

4…………………3

測試樣品

5…………………4

測試方法

6…………………4

原理

6.1…………………4

測試裝置

6.2……………5

激光器

6.2.1…………………………5

可變衰減器和光束傳輸系統(tǒng)

6.2.2…………………5

會(huì)聚系統(tǒng)

6.2.3………………………5

試樣架

6.2.4…………………………5

損傷探測

6.2.5………………………6

光束診斷

6.2.6………………………6

測試樣品的準(zhǔn)備

6.3……………………8

測試過程

6.4……………9

準(zhǔn)確度

7……………………9

測試報(bào)告

8…………………10

附錄資料性附錄激光損傷閾值的單位和推算

A()……………………11

參考文獻(xiàn)

……………………12

Ⅰ

GB/T166011—2017

.

前言

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測試方法分為以下部分

GB/T16601《》:

第部分定義和總則

———1:;

第部分閾值確定

———2:;

第部分激光功率能量承受能力確信

———3:();

第部分檢查探測和測量

———4:、。

本部分為的第部分

GB/T166011。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分代替光學(xué)表面激光損傷閾值測試方法第部分對(duì)測試與

GB/T16601—1996《1:11》,

相比主要技術(shù)變化如下

GB/T16601—1996,:

增加了表面損傷體損傷對(duì)測試相關(guān)的術(shù)語和定義見第章

———、、S1(3);

增加了對(duì)有毒物質(zhì)的損傷測試可能引起的健康危害并舉例說明見附錄

———(A);

修改了靶平面上的光束直徑由改為見

———,0.4mm0.8mm(6.2.3)。

本部分使用重新起草法修改采用激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測試

ISO21254-1:2011《

方法第部分定義和總則

1:》。

本部分與的技術(shù)性差異及其原因如下

ISO21254-1:2011:

關(guān)于規(guī)范性引用文件本部分做了具有技術(shù)性差異的調(diào)整以適應(yīng)我國的技術(shù)條件調(diào)整的情

———,,,

況集中反映在第章規(guī)范性引用文件中具體調(diào)整如下

2“”,:

用非等效采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T1185ISO10110-7;

用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T15313—2008ISO11145;

用等同采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T26599.1ISO11146-1;

用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T16601.2—2017ISO21254-2;

用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T16601.3—2017ISO21254-3;

用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T16601.4—2017ISO21254-4;

添加圖中分光鏡的編號(hào)并在圖的說明中增加分光鏡

———1,18———;

刪除了部分參考文獻(xiàn)

———。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本部分由中國兵器工業(yè)集團(tuán)公司提出

。

本部分由全國光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC103)。

本部分起草單位國營第五三〇八廠中國兵器工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所南京理工大學(xué)

:、、。

本部分主要起草人李欣榮顧日華孟凡萍羅濤李開華陳建華趙翀倪曉武

:、、、、、、、。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T16601—1996。

Ⅲ

GB/T166011—2017

.

引言

光學(xué)元件在足夠高的激光能量或者功率輻射下可能發(fā)生損傷在特定的激光輻射水平和激光光源

,

的模式下光學(xué)元件表面激光損傷的概率通常要高于內(nèi)部因此光學(xué)元件承受激光輻射的極限值通常

,。,

由其表面的損傷閾值決定這些表面可能鍍有改變光學(xué)性能的膜層假如元件內(nèi)部電場強(qiáng)度因自聚焦

,。、

干涉散射或者其他原因而加強(qiáng)則可能在元件內(nèi)部出現(xiàn)損傷此外內(nèi)部雜質(zhì)錯(cuò)位色心不均勻性等

、,。,、、、

缺陷也會(huì)降低光學(xué)元件內(nèi)部激光功率承受能力單個(gè)激光脈沖導(dǎo)致的損傷通常是由于缺陷膜層應(yīng)力

。、、

表面污染物或者光吸收導(dǎo)致表面大量發(fā)熱引起而對(duì)于多脈沖情況不僅可以觀察到由于熱量和變形

。,

導(dǎo)致的可逆的損傷還可以觀察到由于老化微損傷潮氣損傷缺陷的產(chǎn)生或擴(kuò)展等導(dǎo)致的不可逆的損

,、、、

傷的各部分涉及光學(xué)元件的表面和內(nèi)部在不同激光光束輻射下的不可逆損傷閾值的測

。GB/T16601

定在一定環(huán)境條件下?lián)p傷閾值與材料性能和激光參數(shù)特別是激光波長光斑尺寸和輻照時(shí)間等

。,,、

有關(guān)

。

本部分給出了激光損傷閾值測試方法的基本原理和總的原則在本部分以及第部分第部分

。2、3

描述測試裝置和測量方法的基礎(chǔ)上本部分還概述了在不同條件下的損傷測試程序第部分描述了

,。2

對(duì)和S對(duì)損傷閾值測試方法對(duì)測試是在測試樣品表面每個(gè)測試點(diǎn)只進(jìn)行次激光輻射的

111。111

損傷閾值測試過程與此相對(duì)應(yīng)S對(duì)測試是在測試樣品表面每個(gè)測試點(diǎn)采用相同能量密度進(jìn)行多

。,1

次激光輻射的損傷閾值測試過程這個(gè)測試反映了測試樣品在典型應(yīng)用中的工作條件相對(duì)于對(duì)

。。11

測試S對(duì)所需的測試工作量顯著增多第部分側(cè)重于對(duì)光學(xué)元件表面承受功率或能量密度能力

,1。3

的確信即測試樣品能夠未損傷的通過測試第部分介紹了損傷閾值探測方法和測試表面的檢查是

,。4,

對(duì)本部分進(jìn)行補(bǔ)充的一個(gè)技術(shù)報(bào)告

。

Ⅳ

GB/T166011—2017

.

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值

測試方法第1部分定義和總則

:

警示———對(duì)損傷數(shù)據(jù)進(jìn)行推算可能會(huì)高估激光損傷閾值在測試有毒材料如ZnSeGaAsCdTe

。(,,,

ThF4硫化物BeCrNi的情況下可能導(dǎo)致嚴(yán)重的健康危害詳細(xì)說明參見附錄A

,,,,),,。

1范圍

的本部分規(guī)定了確定激光損傷閾值和確信激光光學(xué)元件承受激光輻射性能的測試方

GB/T16601

法的相關(guān)術(shù)語和總則

。

本部分適用于對(duì)激光損傷閾值和激光光學(xué)元件承受激光輻射性能的測試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

光學(xué)零件表面疵病

GB/T1185(GB/T1185—2006,ISO10110-7:1996,NEQ)

激光術(shù)語

GB/T15313—2008(ISO11145:2006,MOD)

激光和激光相關(guān)設(shè)備激光光束寬度發(fā)散角和光束傳輸比的試驗(yàn)方法第部

GB/T26599.1、1

分無像散和簡單像散光束

:(GB/T26599.1—2011,ISO11146-1:2005,IDT)

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測試方法第部分閾值確定

GB/T16601.2—2017