標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 16523-1996 圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范》作為一項(xiàng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，為圓形石英玻璃光掩?；宓纳a(chǎn)、檢驗(yàn)及應(yīng)用提供了詳細(xì)要求和指標(biāo)。然而，您提供的對(duì)比項(xiàng)似乎不完整，沒有明確指出要與哪個(gè)具體的標(biāo)準(zhǔn)或版本進(jìn)行比較。因此，直接列出該標(biāo)準(zhǔn)的具體變更內(nèi)容而不涉及對(duì)比的情況下，可以概述其主要規(guī)定和要求，但無法直接闡述相對(duì)于某一特定標(biāo)準(zhǔn)的差異。

《GB/T 16523-1996》主要涵蓋了以下幾個(gè)方面的內(nèi)容：

  1. 尺寸與外形：規(guī)定了圓形石英玻璃光掩?；宓闹睆?、厚度及其公差范圍，確保了產(chǎn)品的一致性和互換性。
  2. 材料與制造：明確了基板使用的石英玻璃類型及其純度要求，同時(shí)對(duì)制造過程中的平整度、內(nèi)部應(yīng)力等有嚴(yán)格規(guī)定，以減少缺陷和提高光學(xué)性能。
  3. 光學(xué)性能：包括透光率、均勻性等關(guān)鍵指標(biāo)，確保光掩模在半導(dǎo)體制造過程中的精確曝光。
  4. 表面質(zhì)量：詳細(xì)描述了表面粗糙度、潔凈度等要求，避免污染物影響集成電路圖案的轉(zhuǎn)移精度。
  5. 機(jī)械強(qiáng)度與穩(wěn)定性：規(guī)定了基板需承受的機(jī)械應(yīng)力測(cè)試條件及其合格標(biāo)準(zhǔn)，保證其在使用過程中的穩(wěn)定性和耐久性。

若要了解與另一具體標(biāo)準(zhǔn)相比的具體變更，需要提供該對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)信息。例如，如果比較的是新舊兩個(gè)版本的標(biāo)準(zhǔn)，通常變更可能涉及技術(shù)指標(biāo)的更新（如更嚴(yán)格的尺寸公差、更高的光學(xué)性能要求）、新增測(cè)試方法、環(huán)保要求的加入或是生產(chǎn)流程的優(yōu)化指導(dǎo)等。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 1996-09-09 頒布
  • 1997-05-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范_第1頁
GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范_第2頁
GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范_第3頁
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文檔簡(jiǎn)介

ICS31.200L90中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16523一-1996圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范Specificationforroundguartzphotomasksubstrates1996-09-09發(fā)布1997-05-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16523-1996本標(biāo)準(zhǔn)等效采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)的SEMIP4-92《圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范》。本標(biāo)準(zhǔn)第3章要求全部按SEMIP4-92制定，標(biāo)準(zhǔn)格式按GB/T1.1一1993《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)編寫的基本規(guī)定》編制。SEMI標(biāo)準(zhǔn)是半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，具有較高的科學(xué)性和先進(jìn)性，內(nèi)容全面，標(biāo)準(zhǔn)配套。本標(biāo)準(zhǔn)與已經(jīng)轉(zhuǎn)化為我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的SEMIP1-92《硬面光掩?；濉?GB/T15871一1995)、SEMIP2-86《硬面光掩模用鉻薄膜》(GB/T15870－1995)、SEMIP3-90《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范》GB/T16527一1996)、SEMIP6-88《光掩模對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記規(guī)范》GB/T16524一1996)及準(zhǔn)備轉(zhuǎn)化為我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的SEMIP21—92《掩模瞬光系統(tǒng)準(zhǔn)確度表示準(zhǔn)則》SEMIP22—93《光掩模缺陷分類和尺寸定義的指南》、SEMIP19一92《用于集成電路制造技術(shù)的檢測(cè)圖形單元規(guī)范》等項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)形成一個(gè)微型構(gòu)圖標(biāo)淮系列。本標(biāo)準(zhǔn)附錄A是提示的附錄本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：長(zhǎng)沙韶光微電子總公司，電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：談仁良、吳保華、王亦林、韓艷芬，

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范Specificationforroundquartzphotomasksubstrates范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了圓形石英玻璃光掩?；宓募夹g(shù)要求、試驗(yàn)方法等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于圓形石英玻璃光掩模基板、2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性.GB191—90包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB2828—87逐批檢在計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829—87周期檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查)GB7238—87玻璃及鉻版表面平整度的測(cè)試方法GB9622.2-88電子玻璃平均線熱膨脹系數(shù)的測(cè)試方法要求和測(cè)量方法3.1外形尺寸3.1.1圓形石英玻璃光

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