擴(kuò)散操作規(guī)程

擴(kuò)散操作屏作業(yè)磷擴(kuò)散工藝過(guò)程清洗飽和裝片送片回溫?cái)U(kuò)散關(guān)源，退舟方塊電阻測(cè)量卸片清洗初次擴(kuò)散前，擴(kuò)散爐石英管首先連接TCA裝置，當(dāng)爐溫升至設(shè)定溫度，以設(shè)定流量通TCA6h清洗石英管。做TCA前先要確認(rèn)管路的正確.清洗開(kāi)始時(shí)，若在手動(dòng)狀態(tài)下要先開(kāi)O2，再開(kāi)TCA；清洗結(jié)束后，先關(guān)TCA，再關(guān)O2。清洗結(jié)束后，進(jìn)行飽和，待擴(kuò)散。飽和每班生產(chǎn)前或長(zhǎng)時(shí)間不生產(chǎn)時(shí)，須對(duì)石英管進(jìn)行飽和。爐溫升至設(shè)定溫度時(shí)，以設(shè)定流量通小N2（攜源）和O2，使石英管飽和，約60分鐘后，關(guān)閉小N2和O2。初次擴(kuò)散前或停產(chǎn)一段時(shí)間以后恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)，需使石英管在1050℃通TCA2小時(shí)后通源飽和1小時(shí)以上。(2+1)裝片戴好防護(hù)口罩和干凈的乳膠手套，將清洗甩干的硅片從傳遞窗口取出，放在凈化裝片臺(tái)上。用石英吸筆依次將硅片從硅片盒中取出，插入石英舟。每一槽裝2片,若發(fā)現(xiàn)硅片表面臟將干凈的一面做擴(kuò)散面.送片用舟叉將裝滿硅片的石英舟放在碳化硅臂漿上，保證平穩(wěn)，緩緩?fù)迫霐U(kuò)散爐。注意不要把擴(kuò)散和鈍化的石英制品混用.回溫打開(kāi)適當(dāng)?shù)墓に囂?hào)進(jìn)行擴(kuò)散，石英漿暴露在空氣中的時(shí)間盡量短。擴(kuò)散注意監(jiān)視屏幕上的氣體流量圖,發(fā)現(xiàn)異常第一時(shí)間通知相關(guān)人員處理.關(guān)源，退舟擴(kuò)散結(jié)束后，計(jì)算機(jī)自動(dòng)關(guān)閉小N2和O2，將石英舟緩緩?fù)酥翣t口，降溫以后，用舟叉從臂槳上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，進(jìn)行下一輪擴(kuò)散。如沒(méi)有待擴(kuò)散的硅片，將臂漿推入擴(kuò)散爐，盡量縮短臂槳暴露在暴露在空氣中的時(shí)間。卸片等待硅片冷卻后，用石英吸筆均勻的取5片進(jìn)行方塊電阻的測(cè)試.將合格的硅片從石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入傳遞窗。將返工的硅片單獨(dú)放置下班后一起交清洗間處理.一.監(jiān)控程序的操作2.1程序啟動(dòng)在擴(kuò)散爐的層電源啟動(dòng)的情況下，啟動(dòng)工業(yè)控制計(jì)算機(jī)電源開(kāi)關(guān)，計(jì)算機(jī)啟動(dòng)進(jìn)入WINDOWS2000操作系統(tǒng)，驅(qū)動(dòng)觸摸屏。在系統(tǒng)未完全啟動(dòng)完畢的情況下，請(qǐng)勿觸摸屏幕，以避免觸摸屏驅(qū)動(dòng)程序報(bào)錯(cuò)。系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)執(zhí)行文件，自動(dòng)裝載所需數(shù)據(jù)文件及驅(qū)動(dòng)文件，并顯示登錄界面。2.2登錄在登錄界面中，有0-9及A-Z字符鍵允許作為密碼字符，箭頭為退格鍵，ENTER為回車鍵。本監(jiān)控程序的初始密碼為“AAAAA”。如果要修改密碼，則先輸入原來(lái)的密碼，再在相應(yīng)的輸入框中輸入新的密碼，然后按“確定”按鈕即可。輸入請(qǐng)牢記修改后的密碼，以避免無(wú)法進(jìn)入程序進(jìn)行工作。本窗口為登錄窗。二.溫度設(shè)置在手動(dòng)操作屏的中上部有三個(gè)模擬溫度控制器的圖形。根據(jù)溫度控制器圖形上的“RKC”、“REX-F400”、“RKC”字符，可以知道分別對(duì)應(yīng)本層擴(kuò)散/氧化爐的三個(gè)控制溫度的溫控儀。溫控儀的型號(hào)分別為“CD401”，“F400”。溫度控制器圖形中，三個(gè)綠色的“850”分別表示左、中、右三個(gè)溫區(qū)的控溫?zé)崤嫉臏y(cè)量值。三個(gè)紅色的“850”分別表示左、中、右三個(gè)溫區(qū)的溫度控制器的溫度設(shè)定值。通過(guò)這三個(gè)溫度控制器的復(fù)雜控制，能實(shí)現(xiàn)恒溫區(qū)所要求的控制精度。在手動(dòng)操作屏中，三點(diǎn)的SV值可以單獨(dú)設(shè)置，主要為提供維護(hù)與測(cè)試所用。在下面將提到的自動(dòng)運(yùn)行屏中，SV值由自動(dòng)程序自動(dòng)設(shè)置，不能夠手動(dòng)修改。溫度設(shè)定值可在手動(dòng)操作屏中進(jìn)行手動(dòng)修改。修改方法：點(diǎn)擊溫度控制器圖形上的SET方形按鈕，桔紅色的“850”將變色，通過(guò)“+1”等按鈕進(jìn)行修改數(shù)值，最后再次點(diǎn)擊SET方形按鈕，本端點(diǎn)SV溫度設(shè)定值將得到修改（要求在通訊正常情況下）。本窗口為手動(dòng)操作屏三.手動(dòng)狀態(tài)實(shí)時(shí)溫度曲線和流量曲線顯示在手動(dòng)操作屏的中下部，有一個(gè)記錄并描述溫度的曲線圖。提供記錄的溫度范圍為0～1300℃，曲線走勢(shì)從左往右，記錄的時(shí)間軸能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)整。從圖上可以看到，記錄從11點(diǎn)13分45秒開(kāi)始（這即是啟動(dòng)進(jìn)入程序的時(shí)間），到12點(diǎn)13分45秒，為1個(gè)小時(shí)時(shí)間長(zhǎng)度。當(dāng)記錄到12點(diǎn)13分45秒的時(shí)候，程序自動(dòng)將時(shí)間區(qū)域長(zhǎng)度翻倍，如此類推。實(shí)時(shí)溫度曲線在程序運(yùn)行期間將一直記錄，在兩種情況下將自動(dòng)停止：點(diǎn)擊“恒溫區(qū)”按鈕，程序進(jìn)入恒溫區(qū)調(diào)整屏；進(jìn)入工藝自動(dòng)運(yùn)行屏（此時(shí)將啟動(dòng)自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)下的溫度曲線記錄）。三.手動(dòng)狀態(tài)實(shí)時(shí)溫度曲線和流量曲線顯示溫度曲線是由計(jì)算機(jī)讀回的擴(kuò)散氧化爐的控制熱偶的測(cè)量值進(jìn)行繪制的，左端溫度記錄曲線顯示為白色線條，中點(diǎn)溫度記錄曲線顯示為洋紅色線條，右端溫度記錄曲線顯示為綠色線條。本屏頂部有實(shí)時(shí)時(shí)間顯示。建議隔一個(gè)月左右將所有的計(jì)算機(jī)時(shí)鐘參照一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)時(shí)鐘作一次調(diào)整，因?yàn)橛?jì)算機(jī)的實(shí)時(shí)時(shí)鐘作為長(zhǎng)時(shí)間計(jì)時(shí)是不太準(zhǔn)確的。本操作界面還有流量曲線顯示，操作同溫度曲線顯示，通過(guò)手動(dòng)操作屏的“溫度曲線/流量曲線”進(jìn)行溫度曲線顯示和流量曲線顯示的轉(zhuǎn)換。四.氣體流量、閥門及開(kāi)關(guān)量控制在手動(dòng)操作屏右側(cè)，有“氣體流量控制”和“閥門及開(kāi)關(guān)量控制”兩個(gè)區(qū)域，在這兩個(gè)區(qū)域可對(duì)電磁閥狀態(tài)、氣體流量大小以及其它一些開(kāi)關(guān)量狀態(tài)進(jìn)行設(shè)置。設(shè)置鍵為右側(cè)下面的“+1”等按鈕。在設(shè)置各路氣體的流量時(shí)，相應(yīng)氣路的電磁閥或氣動(dòng)閥將自動(dòng)打開(kāi)（后閥除外）。在“氣體流量設(shè)置”區(qū)域的右側(cè)有一個(gè)測(cè)量值區(qū)域，顯示氣路中的實(shí)際流量。流量的設(shè)定值和顯示值的單位均為mL/Min。在手動(dòng)操作屏、自動(dòng)運(yùn)行屏和恒溫區(qū)調(diào)整屏的轉(zhuǎn)換中，氣體流量、閥門及開(kāi)關(guān)量的設(shè)置狀態(tài)將得到保持。五.推舟控制推舟控制”區(qū)域的右側(cè)為推舟控制的測(cè)量值區(qū)域。在測(cè)量值區(qū)域，有舟前進(jìn)、舟后退狀態(tài)顯示，當(dāng)舟前進(jìn)時(shí)，舟前進(jìn)顯示為“TRUE”；當(dāng)舟后退時(shí)，舟后退顯示為“TRUE”。在測(cè)量值區(qū)域，還有前限位、后限位狀態(tài)顯示，當(dāng)舟到達(dá)前限位時(shí)，前限位狀態(tài)顯示位“TRUE”；當(dāng)舟到達(dá)后限位時(shí)，后限位裝態(tài)顯示“TRUE”。在手動(dòng)操作屏中進(jìn)行推舟控制只需設(shè)置舟速度并選擇前進(jìn)或后退即可實(shí)現(xiàn)推舟的自動(dòng)運(yùn)行。操作過(guò)程如下：五.推舟控制點(diǎn)擊設(shè)置值區(qū)域中的“舟速度”按鈕，使其選中為有效，然后通過(guò)軟鍵盤設(shè)置推舟速度。推舟速度設(shè)置范圍為0～500，單位為mm/Min。速度設(shè)置為零時(shí)表示舟為停止?fàn)顟B(tài)，數(shù)值越大速度越快，但高速狀態(tài)不利于舟的運(yùn)行平穩(wěn)，建議將舟速設(shè)置在200到300之間。點(diǎn)擊設(shè)置值區(qū)域中的“舟前進(jìn)”或“舟后退”按鈕，使其選中為有效，此時(shí)已紅色突出顯示。通過(guò)b)的速度設(shè)置，已經(jīng)啟動(dòng)舟的運(yùn)行。在舟的運(yùn)行移動(dòng)中，如果需要手動(dòng)停止推舟的運(yùn)行，可以通過(guò)點(diǎn)擊設(shè)置區(qū)域的“舟停止”按鈕，也可以將舟速設(shè)置為零，推舟將立即停止運(yùn)行。在推舟的運(yùn)行期間,如果計(jì)算機(jī)判斷到推舟的限位檢測(cè)開(kāi)關(guān)被壓住，推舟將立即停止運(yùn)行。六.手動(dòng)操作屏報(bào)警顯示

六.手動(dòng)操作屏報(bào)警顯示上圖中共有兩項(xiàng)報(bào)警，一項(xiàng)是“控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常報(bào)警”，另一項(xiàng)是“擴(kuò)散小N2檢測(cè)值與設(shè)定值偏差大于20%”。圖中這里項(xiàng)前面的燈均為綠色表示未出現(xiàn)報(bào)警狀態(tài)，如果出現(xiàn)相應(yīng)的報(bào)警，則相應(yīng)的項(xiàng)的燈變?yōu)榧t色。如果出現(xiàn)擴(kuò)散小N2檢測(cè)值與設(shè)定值偏差大于20%”的報(bào)警，則系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉擴(kuò)散小N2，且系統(tǒng)自動(dòng)將該報(bào)警顯示出來(lái)。如果出現(xiàn)“控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常報(bào)警”，系統(tǒng)也自動(dòng)顯示報(bào)警窗口，只需單擊“報(bào)警窗口”按鈕就可解除該報(bào)警狀態(tài)。七.工藝編輯七.工藝編輯點(diǎn)擊手動(dòng)操作屏左側(cè)的“數(shù)據(jù)編輯”按鈕，程序進(jìn)入集成工藝編輯屏。據(jù)體操作如下：打開(kāi)工藝：從手動(dòng)操作界面進(jìn)入編輯界面后，若想打開(kāi)其它已經(jīng)編輯的工藝，只需在“打開(kāi)工藝號(hào)”下拉框中選擇所需工藝號(hào)即可。打開(kāi)其它工藝時(shí)，當(dāng)前編輯的工藝不保存。編輯工藝：編輯工藝數(shù)據(jù)時(shí)，先用鼠標(biāo)點(diǎn)擊想要編輯數(shù)據(jù)的位置，此時(shí)該位置的按鈕被按下，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊程序自帶軟鍵盤上相應(yīng)的按鈕，即可編輯數(shù)據(jù)。本程序的工藝最多為30步，每次顯示15步，可以按“下一頁(yè)”和“上一頁(yè)”按鈕進(jìn)行工藝的前15步和后15步的切換。編輯時(shí)最好從第一步開(kāi)始，首先編輯每步的工藝時(shí)間，只有工藝步的時(shí)間不為零，才可編輯該步的其它工藝數(shù)據(jù)。如果工藝步的時(shí)間為零，則該步及以下步均不執(zhí)行。設(shè)置推舟狀態(tài)時(shí)，0表示停止，1表示前進(jìn)，2表示后退。八.工藝保存編輯完工藝以后，用戶應(yīng)仔細(xì)檢查各步工藝的合理性；然后在“編輯工藝號(hào)”下拉框中選擇希望保存的工藝號(hào)，最后點(diǎn)擊“存盤退出”按鈕，則該條工藝編輯完畢。如果不想保存，則點(diǎn)擊“不存盤退出”按鈕，程序回到手動(dòng)操作界面。在編輯工藝的過(guò)程中也可點(diǎn)擊“存盤”按鈕來(lái)保存工藝。在工藝編輯中，可實(shí)現(xiàn)對(duì)恒溫及升降溫斜率的設(shè)置。具體設(shè)置方法如下介紹。一般建議如下例設(shè)置工藝升溫過(guò)程：第一步為初始設(shè)置步，溫度設(shè)置40度，時(shí)間為1分鐘。即設(shè)備在常溫停留1分鐘。第二步升溫，溫度設(shè)置1000度，時(shí)間設(shè)置160分鐘，升溫斜率6度/分鐘。以下各步的工藝參數(shù)根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置。另外，該界面還設(shè)有“插入步”和“刪除步”按鈕，方便工藝編輯。點(diǎn)擊“插入步”按鈕后界面將出現(xiàn)一個(gè)“插入步號(hào)”的下拉框以及“確定”、“取消”按鈕，選擇好要插入的步號(hào)后點(diǎn)擊“確定”按鈕即實(shí)現(xiàn)了插入操作，可連續(xù)插入，點(diǎn)擊“取消”則回到正常編輯狀態(tài)。點(diǎn)擊“刪除步”按鈕后界面將出現(xiàn)一個(gè)“刪除步號(hào)”的下拉框以及“確定”、“取消”按鈕，選擇好要?jiǎng)h除的步號(hào)后點(diǎn)擊“確定”按鈕即實(shí)現(xiàn)了刪除操作，可連續(xù)刪除，點(diǎn)擊“取消”則回到正常編輯狀態(tài)。八.工藝曲線歷史記錄九.工藝曲線歷史記錄在打開(kāi)歷史記錄屏中，不可自行選擇盤符及目錄，系統(tǒng)默認(rèn)當(dāng)前執(zhí)行文件的盤符及目錄。歷史記錄文件的命名方式為“年月日-工藝號(hào).本日第n次運(yùn)行此工藝號(hào)”則為工藝自動(dòng)運(yùn)行時(shí)的歷史記錄文件。歷史記錄文件的命名方式為“年月日-HD.順序號(hào)”則為手動(dòng)運(yùn)行時(shí)的歷史記錄文件在該界面的下方有相應(yīng)的文件信息，可供查看。點(diǎn)擊“刪除”按鈕，將刪除選中的文件。使用時(shí)間越長(zhǎng)，文件越多，建議定期刪除不需要的工藝記錄文件。點(diǎn)擊“返回”按鈕，退出本窗口。十.工藝曲線歷史記錄點(diǎn)擊“歷史數(shù)據(jù)”按鈕，將打開(kāi)以下工藝運(yùn)行歷史記錄屏，但如果文件比較大，則打開(kāi)時(shí)間會(huì)比較長(zhǎng)，請(qǐng)稍作等待。在工藝運(yùn)行歷史記錄屏中，可以對(duì)應(yīng)查看歷史時(shí)間點(diǎn)的溫度及氣體流量、時(shí)間信息。記錄一般以10秒鐘為一個(gè)間隔。在此屏中可直接進(jìn)入工藝運(yùn)行歷史溫度曲線屏。點(diǎn)擊“溫度曲線”，將打開(kāi)以下工藝運(yùn)行歷史溫度曲線屏，如果文件比較大，則打開(kāi)時(shí)間會(huì)比較長(zhǎng)，請(qǐng)稍作等待。在工藝運(yùn)行歷史溫度曲線屏中，圖中顯示的是三點(diǎn)歷史溫度曲線。在此屏中可直接進(jìn)入工藝運(yùn)行歷史記錄屏。十一.歷史數(shù)據(jù)屏十一.歷史數(shù)據(jù)屏在歷史曲線記錄屏中縱軸為溫度軸，橫軸為時(shí)間軸。溫度的最大允許顯示1300℃，時(shí)間區(qū)域根據(jù)記錄的情況自動(dòng)調(diào)整。可以通過(guò)屏幕選擇區(qū)域來(lái)放大曲線，在放大之前，選擇左端溫度、中部溫度、右端溫度，可以分別查看溫度曲線。放大后需要回到原始曲線，請(qǐng)點(diǎn)擊“曲線還原”按鈕。如果需要打印溫度曲線走勢(shì)圖，請(qǐng)點(diǎn)擊“打印曲線”按鈕。另外在打開(kāi)歷史記錄屏中還有“轉(zhuǎn)換文件”按鈕，點(diǎn)擊該按鈕將把選定的歷史記錄文件轉(zhuǎn)換成同名的Excel文件。注意在未安裝Office2000及以上版本的計(jì)算機(jī)中不可使用該功能。十一.歷史曲線記錄屏十二.工藝運(yùn)行點(diǎn)擊手動(dòng)操作屏的“工藝運(yùn)行”按鈕，進(jìn)入操作人員運(yùn)行登錄屏：系統(tǒng)默認(rèn)啟動(dòng)步為第一步，跳步執(zhí)行工藝時(shí)請(qǐng)選擇啟動(dòng)步號(hào)。十三.自動(dòng)運(yùn)行屏所有信息項(xiàng)正確無(wú)誤填寫完畢后，點(diǎn)擊“確定”按鈕，可進(jìn)入以下工藝運(yùn)行窗口；點(diǎn)擊“取消”按鈕，回到手動(dòng)操作屏。如果工藝曲線沒(méi)有可運(yùn)行參數(shù)，程序?qū)⒆詣?dòng)回到手動(dòng)操作屏。程序進(jìn)入工藝運(yùn)行后，將在每步開(kāi)始時(shí)刷新溫度設(shè)置、閥門動(dòng)作、氣體流量、舟動(dòng)作。a)

在運(yùn)行窗口左上側(cè)，是本步工藝信息：“03號(hào)，01步”：表明當(dāng)前運(yùn)行03號(hào)工藝，當(dāng)前運(yùn)行步號(hào)為01步；“本步倒計(jì)時(shí)00：05：15”：表明本步還有0小時(shí)5分15秒將結(jié)束；“總倒計(jì)時(shí)03：42：15”：表明本工藝正常運(yùn)行還有3小時(shí)42分15秒的工藝時(shí)間；十三.自動(dòng)運(yùn)行屏““已運(yùn)行總時(shí)間00：01：45”：表明工藝從啟動(dòng)到今已運(yùn)行0小時(shí)1分45秒；本步設(shè)定時(shí)間00：07：00”：表明本步設(shè)定有0小時(shí)7分鐘0秒的時(shí)間長(zhǎng)度；“結(jié)束步07”：表明本工藝共有7步；“目標(biāo)溫度850/850/850”：表明本步左中右溫區(qū)的目標(biāo)溫度均為850℃。b)

點(diǎn)擊正“運(yùn)行...”按鈕，將切換為保持狀態(tài)，程序運(yùn)行的所有倒計(jì)時(shí)停止，其它一切如常。點(diǎn)擊“已保持…”按鈕可以再次切換至正運(yùn)行狀態(tài)，程序運(yùn)行的倒計(jì)時(shí)重新啟動(dòng)十四.工藝在線編輯屏十四.工藝在線編輯屏c)

點(diǎn)擊“在線編輯”按鈕，將進(jìn)入運(yùn)行工藝編輯屏。在此窗口里，可以對(duì)當(dāng)前運(yùn)行步以后各工藝步的參數(shù)進(jìn)行修改,但是編輯工藝號(hào)下拉框不可用，且插入步操作和刪除步操作只能對(duì)當(dāng)前運(yùn)行步以后的步才有效。其它操作同工藝編輯屏。d)

點(diǎn)擊“報(bào)警窗口”按鈕，與手動(dòng)操作屏的按鈕使用結(jié)果一致。e)

在運(yùn)行過(guò)程中，可以根據(jù)需要調(diào)整設(shè)置區(qū)域內(nèi)的閥門狀態(tài)和流量。f)

在運(yùn)行過(guò)程中，溫度設(shè)置由計(jì)算機(jī)程序自動(dòng)完成，無(wú)法通過(guò)SET鍵設(shè)置溫度。g)

舟動(dòng)作的操作與手動(dòng)操作屏中的操作方法與結(jié)果一致。在自動(dòng)運(yùn)行屏中，如果在工藝參數(shù)中設(shè)置了退舟的工藝步，則開(kāi)始執(zhí)行該工藝步后的15秒內(nèi)有推舟音樂(lè)提示。h)

點(diǎn)擊“返回”按鈕，程序?qū)⑻崾臼欠裢顺?，如果確認(rèn)，將結(jié)束工藝自動(dòng)運(yùn)行而回到手動(dòng)操作屏。閥狀態(tài)將得到保持，三點(diǎn)溫度將保持為現(xiàn)有設(shè)置溫度。運(yùn)行超過(guò)1分鐘以上，程序即會(huì)自動(dòng)生成工藝記錄文件，運(yùn)行完畢后，可以進(jìn)入打開(kāi)歷史記錄屏查看歷史工藝記錄。十五.斷點(diǎn)啟動(dòng)十五.斷點(diǎn)啟動(dòng)屏本監(jiān)控程序在工藝自動(dòng)運(yùn)行時(shí)如果中途退出或者因斷電、死機(jī)等原因而未能正常完成設(shè)定的工藝，將生成斷點(diǎn)信息。在手動(dòng)操作屏中點(diǎn)擊“斷點(diǎn)啟動(dòng)”按鈕即進(jìn)入斷點(diǎn)信息屏，在該屏中可查看發(fā)生斷點(diǎn)時(shí)的各種工藝參數(shù)。文件建立時(shí)間為發(fā)生斷點(diǎn)的那次工藝自動(dòng)運(yùn)行開(kāi)始時(shí)間。點(diǎn)擊啟動(dòng)“啟動(dòng)斷點(diǎn)運(yùn)行”按鈕后將直接進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行屏，繼續(xù)運(yùn)行余下的