TS 與Veeco的反應(yīng)室構(gòu)造與氣流模型

TS與VEECO反應(yīng)室構(gòu)造與氣流模型提綱TS31片機(jī)的介紹VEECOK465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹CCS系統(tǒng)介紹TS反應(yīng)室結(jié)構(gòu)ThermocoupleH.DoubleO-ringsealTungstenheaterI.SusceptorGasinletJ.WatercooledchamberShowerheadK.QuartzlinerReactorlidL.SusceptorsupportOpticalprobeM.ExhaustShowerheadwatercooling內(nèi)部組件Susceptor載片盤石墨E.ClampingringJ-liner鉬F.RetainingscrewsJ-linerspring鉬G.CantedcoilspringSusceptorsupport石英H.Supportring100tubes/inch2tube=0.6mmShowerhead內(nèi)部構(gòu)造1.Opticalpurge2.RunHydride3.RunMO4.Liner/SkirtpurgeMOdistributionring1234CCS系統(tǒng)加熱器介紹ZoneAZoneA+B+CZoneA+B熱偶和eurothermCCS系統(tǒng)是用熱電偶來進(jìn)行控溫，與VEECO方式不同CCS31片加熱區(qū)域分布CCS31片石墨盤介紹CCS系統(tǒng)特點(diǎn)ClosedCoupleShowerhead反應(yīng)室小Showerhead離石墨盤很近轉(zhuǎn)速恒定在60R/MIN氣流不大利用率比較高K465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹

K465/K465I觀看手套箱反應(yīng)室源電源叉子CBAElectrical/CircuitBreakerAssembly(ECA)ELECTRICRACKSDA/SourceDeliveryAssemblyRHA/ReactorHousingAssemblyTHA/TransferHousingAssemblyPEA/ProcessExhaustAssembly尾氣處理電控柜給八個(gè)電流源供電PowerSupplyUnit(8組電源)K465一共有8個(gè)電源箱，分別給Inner、Middle和Outer加熱絲供電:InnerPowerSupply（40/250）（Inner加熱絲較?。㎝iddleMasterPowerSupply(60/250)MiddleSlave1PowerSupply(60/250)MiddleSlave2PowerSupply(60/250)MiddleSlave3PowerSupply(60/250)（Middle加熱絲較大）OuterMasterPowerSupply(60/250)OuterSlave1PowerSupply(60/250)OuterSlave2PowerSupply(60/250)●“60/250”表示電源能提供的最大電壓和電流，即最大功率；●相同功率的電源箱可以互換；InnerMiddleOuter冷阱和MO源源材料：MO源：TMGa、TEGa、TMAl、TMIN、CP2Mg載氣：H2，N2特氣：NH3，SiH4恒溫槽溫度：TMGa：液態(tài)，5°CTEGa：液態(tài)，25°CTMAl:液態(tài)，25°CTMIn:固態(tài)，30°CCp2Mg：固態(tài),30°C恒溫槽ROBOT與叉子K465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹K465反應(yīng)室介紹反應(yīng)室冷卻水管chiller循環(huán)水，灰進(jìn)黃出廠務(wù)循環(huán)水，黑進(jìn)紅出里中外三個(gè)RTshutterMainHydrideAlkylMiddle加熱絲的電極反應(yīng)室立體剖面圖反應(yīng)室基座和加熱絲Outer加熱絲Middle加熱絲鎳支架Inner加熱絲Spindle耐高溫陶瓷反應(yīng)室基座K465反應(yīng)室頂蓋Alkyl/III族Hydride/V族CenterpurgeHydrideAlkyl蓋子內(nèi)部結(jié)構(gòu)K465I反應(yīng)室的改進(jìn)紅線為AKL帶MO源，綠線為HYD不帶MO源，兩者互相交叉K465/K465i系統(tǒng)的特點(diǎn)反應(yīng)室腔體大石墨盤離上蓋距離很大要求氣體量很大，且進(jìn)入反應(yīng)室流速要很快高速旋轉(zhuǎn)（1200轉(zhuǎn)每分鐘）整體的利用率偏低K465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹K465/K465i氣路簡介AKL(帶MO源的氣體)K4655路（innerinn-midmiddlemid-outouter)K465i1路HYD（不帶MO源的氣體）K46510路（5路N2的PUSH,5路H2的PUSH）K465i1路K465i的氣路設(shè)計(jì)優(yōu)于K465，主要是為了改善產(chǎn)品均勻性的問題，但K465i上蓋的內(nèi)部結(jié)構(gòu)更復(fù)雜K465/K465i氣路簡介做NH3的載氣，HYD氣路做SIH4的載氣，進(jìn)AKL氣路吹掃氣體，走HYD氣路走RUN/VENT，走AKL氣路做MO源的載氣，走AKL氣路K465/K465i氣路簡介MFC流量控制器PC壓力控制器氣動(dòng)閥控制氣路的流通和關(guān)閉K465/K465i氣路對比K465前端MFCK465i前端MFCK465/K465i氣路簡介尾端部分的氣路結(jié)構(gòu)兩個(gè)機(jī)臺基本一致。反應(yīng)室——球閥——過濾器——蝶閥——器械泵——尾氣處理

球閥K465I簡單氣路圖K465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹K465/K465i控制部分介紹電路控制部分分為220V和24V兩路緊急制動(dòng)開關(guān)EMOEmergencyPowerOFF拉下會(huì)導(dǎo)致220V掉電K465/K465i控制部分介紹整個(gè)控制部分由控制電腦——PLC模塊——DeviceNet——各控制單元（輸出）系統(tǒng)共配置三臺電腦，主控電腦（底層通訊的連接，編寫程序，實(shí)時(shí)界面控制）、RT電腦（在位監(jiān)控系統(tǒng)）、數(shù)據(jù)存儲電腦。DeviceNet——數(shù)字化的網(wǎng)絡(luò)，可以將所有的MFC/PC的信號整合起來。K465/K465i控制部分介紹K465的主操作程序?yàn)椤皀exus”，平時(shí)處于常開狀態(tài)，關(guān)閉會(huì)導(dǎo)致機(jī)臺的停機(jī)，切不可隨意關(guān)閉。

點(diǎn)擊“ProcessModule1”進(jìn)入監(jiān)控生長界面，可以記錄下生長時(shí)的各項(xiàng)參數(shù)，在作業(yè)生長時(shí)請保持在該界面上。點(diǎn)擊“TranspotModule”進(jìn)入傳盤的控制界面，可以用機(jī)械手筆進(jìn)行傳盤。K465/K465iROBOT的介紹K465機(jī)臺是用叉子來實(shí)現(xiàn)

反應(yīng)室-手套箱手套箱-loadlock（HUB)Loadlock-反應(yīng)室之間的傳輸K465機(jī)械手臂由4個(gè)相互聯(lián)系的軸組成。三個(gè)不同軸以z為旋轉(zhuǎn)中心的動(dòng)作軸，被稱為T軸。做水平運(yùn)動(dòng)，且能伸縮的軸，被稱為的R-軸，R軸上的一個(gè)2級軸為END軸（END軸和R軸由通過齒輪的鋼絲繩連接）。做垂直方向運(yùn)動(dòng)的軸，被稱為Z軸，它是一個(gè)單獨(dú)服務(wù)控制軸，可以獨(dú)立完成一個(gè)動(dòng)作，比如，上升，下降。一個(gè)完整動(dòng)作由四個(gè)軸完成，T軸帶動(dòng)R軸推進(jìn)END軸，最后Z軸決定到那里。K465/K465iROBOT的介紹K465/K465i手動(dòng)傳盤操作界面K465叉子操作規(guī)程點(diǎn)擊Transfer,給出指令系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)送入指定位置比如：手套箱-反應(yīng)室，（盤一定要是紅色）點(diǎn)擊Transfer,在彈出的對話框中單擊GloveBox然后再在彈出的對話框中點(diǎn)擊ProcessChamber給出指令系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)送入指定位置注意：

1.在傳盤到指定位置時(shí)都要先確定指定位置是否有盤，有盤是不可以傳盤的。

2.在RUN之前確認(rèn)盤已經(jīng)送入反應(yīng)室中，顯示顏色為紅色。

3.剛長完的盤要先傳到HUB(原則上是從反應(yīng)室拿出來的盤傳到2號位(下面的位置),反之從GloveBox送進(jìn)來的盤則傳到1號位(上面的位置)

4.操作過程中如果出現(xiàn)異常情況,就停止再做動(dòng)作,請示工程師再做決定.

5.操作的過程中，在上一步動(dòng)作未完成前不能做下一步動(dòng)作緊急停止按鈕K465/K465i系統(tǒng)介紹主體結(jié)構(gòu)介紹反應(yīng)室介紹和對比氣路部分介紹和對比控制部分介紹加熱部分介紹RT加熱絲電腦PLC溫控器加熱電源閉環(huán)控制VEECO加熱系統(tǒng)介紹

當(dāng)溫度低于450度時(shí)使用溫控器對電源控制一定的電流使其達(dá)到所需溫度；

當(dāng)溫度高于450度時(shí)使用RT/PYRO進(jìn)行監(jiān)控和溫度控制；RT探測到的溫度為片表面的溫度，而PYRO探測到的為盤表面的溫度。PYLO襯底石墨盤VEECO加熱系統(tǒng)——Pyro/RT的原理發(fā)出一束950nm的激光打到石墨盤/襯底，根據(jù)其反射回來的光強(qiáng)和熱輻射來測量石墨盤當(dāng)前的溫度。VEECO加熱系統(tǒng)——控溫的方式CurrentControl電流控制，三圈加熱絲按照給定的電流進(jìn)行加熱——最初升降溫階段PyroControl以探測到的Pyro溫度與設(shè)定溫度進(jìn)行調(diào)整控制——U/N各層的生長RTControl以探測到的RT溫度與設(shè)定溫度進(jìn)行調(diào)整控制——MQW的生長VEECO加