ISO10110系列標(biāo)準(zhǔn)課件

ISO10110簡(jiǎn)介1.ISO10110簡(jiǎn)介1.ISO10110系列標(biāo)準(zhǔn)包含內(nèi)容ISO10110-1：概述ISO10110-2：光學(xué)材料缺陷應(yīng)力雙折射ISO10110-3：光學(xué)材料缺陷氣泡與雜質(zhì)ISO10110-4：光學(xué)材料缺陷非均勻性與條紋ISO10110-5：面形偏差I(lǐng)SO10110-6：中心偏差I(lǐng)SO10110-7：表面缺陷偏差I(lǐng)SO10110-8：表面微觀輪廓ISO10110-9：表面處理和鍍膜ISO10110-10：元件技術(shù)要求的格式ISO10110-11：非公差數(shù)據(jù)ISO10110-12：非球面ISO10110-13：激光輻射破壞閾值2.ISO10110系列標(biāo)準(zhǔn)包含內(nèi)容ISO10110-1：概述表面缺陷的標(biāo)注方法：一般表面缺陷用5/N×A表示，編號(hào)“5”是表面缺陷的代碼，允許缺陷程度用N×A。N為允許最大缺陷的數(shù)量，A為最大允許缺陷面積的平方根。鍍膜污點(diǎn)（可以從一般表面缺陷中分出）用CN'×A'表示，C是鍍膜污點(diǎn)的代碼。長(zhǎng)劃痕（與鍍膜污點(diǎn)相似，可以從一般表面缺陷中分出）用LN''×A''表示，L是長(zhǎng)劃痕的代碼。N”是允許長(zhǎng)劃痕的數(shù)量，A”說(shuō)明了劃痕的最大允許寬度。崩邊用EA”’表示，E是邊緣崩邊的代號(hào)，A”’表示元件表面的邊緣延伸的最大崩邊量

注意：鍍膜污點(diǎn)和長(zhǎng)劃痕如果圖紙未專門給出，則所有缺陷都必須計(jì)算到一般缺陷中。ISO10110-7表面缺陷偏差3.表面缺陷的標(biāo)注方法：ISO10110-7表面缺陷偏差3.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×1.6;L2×0.01;E1.0

5/表面缺陷的數(shù)字代碼3缺陷允許的個(gè)數(shù)0.63表面缺陷的尺寸等級(jí)數(shù)C表示鍍膜污點(diǎn)2鍍膜污點(diǎn)的允許數(shù)量1.6鍍膜污點(diǎn)的尺寸等級(jí)數(shù)L表示長(zhǎng)劃痕2長(zhǎng)劃痕的允許數(shù)量0.01長(zhǎng)劃痕的尺寸等級(jí)數(shù)E表示崩邊1.0崩邊深度的等級(jí)數(shù)4.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×對(duì)于劃痕:A為對(duì)于點(diǎn)子:A為R如:要求5/3×0.063缺陷全部為點(diǎn)子時(shí)允許最大尺寸點(diǎn)子為R=0.063/=0.063/1.77=0.036則點(diǎn)子直徑為0.072我們實(shí)際作業(yè)中可以讓=2則點(diǎn)子直徑直接為0.063如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0.04，則允許的長(zhǎng)度為L(zhǎng)=(0.063×0.063)/0.04=0.0992mm如果我們觀察到劃痕長(zhǎng)度為0.5mm,則允許劃痕寬度為(0.063×0.063)/0.5=0.0079mmISO10110-7表面缺陷偏差5.對(duì)于劃痕:A為ISO10110-7表面缺陷偏差5.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級(jí)數(shù)的表面缺陷允許用若干個(gè)較小級(jí)數(shù)的表面缺陷來(lái)代替，其面積之和不超過(guò)原級(jí)數(shù)的表面缺陷面積。（注意換算后結(jié)果應(yīng)化為整數(shù)）表面缺陷級(jí)數(shù)與缺陷個(gè)數(shù)換算系數(shù)表6.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級(jí)數(shù)的表ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.316級(jí)數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.0160.100.0630.0400.0250.160.100.0630.0400.250.160.100.0630.400.250.160.100.630.400.250.161.00.630.400.251.61.00.630.402.51.61.00.634.02.51.61.07.ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.ISO10110-7表面缺陷偏差指標(biāo)要求5/3×0.063。也就是要求級(jí)數(shù)為0.063（缺陷面積的平方根為0.063）的缺陷3個(gè)。全部換算：若用換算系數(shù)1，則3×1=3，允許3個(gè)表面缺陷，它們的級(jí)數(shù)A=0.063。若用換算系數(shù)2.5，則3×2.5=7.5，取整數(shù)為7，允許7個(gè)表面缺陷，從表中可查出相應(yīng)級(jí)數(shù)A=0.04。即可換算為級(jí)數(shù)A=0.04的7個(gè)表面缺陷。部分換算：如將其中一個(gè)表面缺陷進(jìn)行換算，面其余兩個(gè)缺陷保留原級(jí)數(shù)。若用換算系數(shù)6.3，則1×6.3=6.3，取整數(shù)為6，允許6個(gè)表面缺陷，從表中可查出相應(yīng)級(jí)數(shù)A=0.025。即可換算為級(jí)數(shù)A=0.025的6個(gè)表面缺陷和級(jí)數(shù)為A=0.063的2個(gè)表面缺陷。8.ISO10110-7表面缺陷偏差指標(biāo)要求5/3×0.063密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測(cè)試區(qū)域有超過(guò)20%的允許的缺陷存在。如果總的表面缺陷數(shù)是小于10，有2個(gè)或更多的表面缺陷落在5%的分區(qū)內(nèi)，則稱為密集缺陷。ISO10110-7表面缺陷偏差產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園則在任意直徑為1mm的園不允許9.密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測(cè)不計(jì)算:當(dāng)決定允許表面缺陷的數(shù)量時(shí)，不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16A或更小的缺陷.有長(zhǎng)劃痕要求時(shí)，劃痕寬度小于0.3A”的不應(yīng)計(jì)算.ISO10110-7表面缺陷偏差如指標(biāo)要求5/3×0.063則不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16×0.063=0.010或比0.010級(jí)數(shù)更小的缺陷。

缺陷換算系數(shù)12.56.316級(jí)數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.01610.不計(jì)算:當(dāng)決定允許表面缺陷的數(shù)量時(shí)，不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16面形偏差面形精度:光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度面形偏差是光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差.參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測(cè)量裝置。光學(xué)零件的面形精度可以通過(guò)垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來(lái)確定。光學(xué)零件的拋光質(zhì)量包括:光學(xué)表面疵病和表面幾何形狀11.面形偏差面形精度:光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度光學(xué)零件的拋光面形偏差光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理：當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長(zhǎng)為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說(shuō)的一個(gè)干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對(duì)應(yīng)的空氣隙厚度變化為N*λ/2。12.面形偏差光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理：12.面形偏差因?yàn)榍拾霃狡畹姆较虿煌瑯影迮c被檢表面的接觸部位也不同，由此而產(chǎn)生的光圈分為兩在類。低光圈：表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半徑大于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑小于樣板,對(duì)于平面,則表示平面變?yōu)榘记蛎?高光圈:表示樣板與被檢表面在中間部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半徑小于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑大于樣板,對(duì)于平面,則表示平面變?yōu)橥骨蛎?3.面形偏差因?yàn)榍拾霃狡畹姆较虿煌瑯影迮c被檢表面的接觸部面形偏差高低光圈的判斷11.周邊加壓法：低光圈：當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從邊緣向中心移動(dòng)。邊緣先有光圈高光圈：當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從中心向邊緣移動(dòng)。中心先有光圈14.面形偏差高低光圈的判斷114.面形偏差高低光圈的判斷22.色序法當(dāng)光圈數(shù)N>1時(shí)，白光照明。低光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“藍(lán)、紅、黃”高光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“黃、紅、藍(lán)”注意觀察紅條紋前面是藍(lán)還是黃高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷2高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷32.一側(cè)加壓法當(dāng)光圈數(shù)N<1。低光圈：條紋彎曲的凹向背著加壓點(diǎn)A。高光圈：條紋彎曲的凹向朝著加壓點(diǎn)A。16.面形偏差高低光圈的判斷316.17.17.18.18.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定光圈數(shù)N0的參考波長(zhǎng)λ0=546.1nm,生產(chǎn)中若采用其他波長(zhǎng)λ的單色光檢驗(yàn),得到非標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)Nλ，,則標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)N0和非標(biāo)準(zhǔn)光圈Nλ的關(guān)系如下：此式即為光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系。19.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系此式即為光圈數(shù)N與光源波面形偏差局部偏差的判斷1:當(dāng)一側(cè)加壓時(shí):中心低:條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點(diǎn)A.中心高:條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點(diǎn)A.20.面形偏差局部偏差的判斷1:20.面形偏差局部偏差的判斷2:當(dāng)一側(cè)加壓時(shí):塌邊:條紋邊緣部位塌向加壓點(diǎn)A.翹邊:條紋邊緣部位翹離加壓點(diǎn)A.21.面形偏差局部偏差的判斷2:21.國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為:N,△1N,

△2NN為光圈數(shù),△1N為象散偏差,△2N為局部偏差面形偏差I(lǐng)SO10110-5面形偏差標(biāo)注為如下所示的三種形式之一：3/A(B/C)，或3/A(B/C)RMSx<D（此處x代表字母t、i或a），或3/-RMSx<D（此處x代表字母t、i或a）。式中編號(hào)“3”是面形偏差的代碼。A為弧矢差,B為不規(guī)則度,C為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度RMSt均方根總偏差,RMSi均方根不規(guī)則度RMSa均方根不對(duì)稱性當(dāng)檢測(cè)區(qū)域比全部有效通光面小時(shí)，檢測(cè)區(qū)域的直徑需要添加到公差標(biāo)注中，如下所示：3/A(B1C),RMSx<D(全部φ…)短劃線(-)表示沒(méi)有明確給出該項(xiàng)偏差的要求如3/-(1/0.5)22.國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為:面形偏差I(lǐng)SO10110面形偏差A(yù)為弧矢差：是被測(cè)光學(xué)表面的曲率半徑與參考表面曲率半徑之差。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的SAG。B為不規(guī)則度:是標(biāo)稱球面（檢測(cè)面）偏離球面的量度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的IRR。C為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度：表面是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的，但卻不是想要的形狀，即存在旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的RSI。RMSt均方根總偏差：為被測(cè)光學(xué)表面與標(biāo)稱理論球面之間的均方根偏差。RMSi均方根不規(guī)則度：被測(cè)光學(xué)表面與擬合球面之間的均方根偏差。RMSa均方根不對(duì)稱性：為被測(cè)光學(xué)表面與擬合非球面之間的均方根偏差。光圈數(shù)N:被檢光學(xué)表面的曲率半徑對(duì)于參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差稱半徑偏差,此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用N表示.象散偏差△1N

:被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在二個(gè)相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對(duì)應(yīng)的偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用△1N表示.局部偏差△2N

:被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則度稱局部偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用△2N表示23.面形偏差A(yù)為弧矢差：是被測(cè)光學(xué)表面的曲率半徑與參考表面曲率面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算當(dāng)光圈數(shù)N≥1時(shí)以有效檢驗(yàn)范圍內(nèi)直徑方向最多條紋數(shù)的一半來(lái)度量.24.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算24.25.25.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算當(dāng)光圈數(shù)N<1時(shí)單色光照明時(shí),以通過(guò)直徑方向上干涉條紋的彎曲量h相對(duì)條紋的間距H的比值來(lái)度量N=h/H=ad/ae26.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算26.27.27.面形偏差象散偏差的度量象散偏差光圈數(shù)△1N是以兩個(gè)垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對(duì)值來(lái)度量.橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相同.Nx=-2,Ny=-3,則△1N=│Nx-Ny│=1馬鞍形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相反.Nx=-1,Ny=+2,則△1N=│Nx-Ny│=328.面形偏差象散偏差的度量橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差局部偏差的度量局部偏差光圈數(shù)△2N以局部不規(guī)則干涉條紋對(duì)理想平滑干涉條紋的偏離量（e）與相鄰條紋間距（H）的比值來(lái)度量30.面形偏差局部偏差的度量30.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.ISO10110-5弧矢差A(yù)計(jì)算橢圓形條紋弧矢差=(3+1）/2=2雙曲線形條紋弧矢差=（2.5-1.5）/2=0.5ISO10110-5面形偏差32.ISO10110-5弧矢差A(yù)計(jì)算橢圓形條紋弧矢差I(lǐng)SO10110-5

面形偏差

弧矢差A(yù)計(jì)算需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動(dòng)而其他條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于弧矢差

弧矢差弧矢差33.ISO10110-5

面形偏差弧矢差A(yù)計(jì)算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算橢圓形條紋不規(guī)則度=│m-m’│=(3-1）=2雙曲線形條紋不規(guī)則度=│m+m’│(2.5+1.5）=434.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算橢圓形條紋不規(guī)則ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動(dòng)而其他條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于弧矢差

不規(guī)則度=│m-m’│不規(guī)則度=│m+m’│35.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度C計(jì)算等于通過(guò)直徑方向上干涉條紋的偏差量與條紋距之比36.ISO10110-5面形偏差旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度C計(jì)算36.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質(zhì)量有三種描述方式：1.均方根表面粗糙度Rq2.表面上存在的微小缺陷的密度3.功率譜密度（PSD）特性37.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質(zhì)量有三ISO10110-8表面微觀輪廓粗磨表面粗糙度的表達(dá)方式如圖所示圖中G表示未經(jīng)拋光的表面。圖中Rq的單位為um。圖中例子所示指標(biāo)要求為Rq=2um，取樣長(zhǎng)度為5mm。圖中P是微小缺陷要求參見(jiàn)下表的〈微小缺陷的拋光等級(jí)說(shuō)明〉。圖中例子的指標(biāo)要求為在10mm掃描范圍內(nèi)的微小缺陷數(shù)量<16，在0.002mm到1mm的取樣長(zhǎng)度內(nèi)Rq需要≤0.002μm。拋光表面（包括鍍膜面）粗糙度的表達(dá)方式如圖38.ISO10110-8表面微觀輪廓粗磨表面粗糙度的表達(dá)方式ISO10110-8表面微觀輪廓微小缺陷的拋光等級(jí)說(shuō)明拋光等級(jí)名稱 對(duì)應(yīng)10mm取樣范圍內(nèi)所允許的微小缺陷數(shù)量NP不需要對(duì)微小缺陷進(jìn)行量化，只要保證是拋光面P180≤N＜400P216≤N＜80P33≤N＜16P4N＜3微小缺陷：鏡面上的較小的且無(wú)規(guī)律（一般尺寸小于1μm）的缺陷一般情況下，在經(jīng)過(guò)不完全拋光后會(huì)由于不當(dāng)?shù)牟僮骱臀廴疚锒诒砻嫔蠚埩粝录?xì)微的凹陷部分，稱之為微小缺陷。微小缺陷都需要密切注意，因?yàn)閷⒖赡軙?huì)引起較大的光束散射。該種缺陷被認(rèn)為是相當(dāng)均勻地分布在表面上的。39.ISO10110-8表面微觀輪廓微小缺陷的拋光等級(jí)說(shuō)明拋ISO10110-8表面微觀輪廓PSD特性規(guī)范說(shuō)明：PSD特性是在單位長(zhǎng)度的倒數(shù)基礎(chǔ)上所測(cè)量出來(lái)的表面粗糙度的頻率譜線PSD=注意這理A是常數(shù)，單位是μm3—B；f是表面粗糙度的空間頻率（單位是μm—1）；B是空間頻率對(duì)應(yīng)的功率；對(duì)于大部分實(shí)際表面來(lái)說(shuō)，1＜B＜3。D是被測(cè)樣品的取樣長(zhǎng)度，C是測(cè)量?jī)x器在其表面上所能夠測(cè)量出的最短的橫向距離（C和D單位都是mm）40.ISO10110-8表面微觀輪廓PSD特性規(guī)范說(shuō)明：PS

條款

描述

材料材料的型號(hào)、名稱和鑒定（論證）號(hào)

nν

適當(dāng)?shù)恼凵渎屎桶⒇悢?shù)（和公差精度），參考ISO7944

R

如果需要的話，提供帶公差精度的曲率半徑曲率的方向定義如下：凸面：CX凹面：CC光學(xué)有效直徑保護(hù)性倒角

作為保護(hù)性倒角所能夠允許的最大和最小的寬度

表面處理以及鍍膜面，請(qǐng)參考ISO文件10110—9

0/

應(yīng)力雙折射公差精度，請(qǐng)參考ISO文件10110—2

1/

可允許的內(nèi)部氣泡和包裹，請(qǐng)參考ISO文件10110—3

2/

生長(zhǎng)條紋的等級(jí)及不均勻性，請(qǐng)參考ISO文件10110—4

3/

面形公差精度，請(qǐng)參考ISO文件10110—5

4/

定中心公差精度，請(qǐng)參考ISO文件10110—6

5/

非完整表面的公差精度，請(qǐng)參考ISO文件10110—7

6/

激光損傷閾值，請(qǐng)參考ISO文件10110—13（如果適用）

如果需要的話可以適當(dāng)添加“待定”的字樣41.條款此課件下載可自行編輯修改，此課件供參考！部分內(nèi)容來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)請(qǐng)與我聯(lián)系刪除！此課件下載可自行編輯修改，此課件供參考！ISO10110簡(jiǎn)介43.ISO10110簡(jiǎn)介1.ISO10110系列標(biāo)準(zhǔn)包含內(nèi)容ISO10110-1：概述ISO10110-2：光學(xué)材料缺陷應(yīng)力雙折射ISO10110-3：光學(xué)材料缺陷氣泡與雜質(zhì)ISO10110-4：光學(xué)材料缺陷非均勻性與條紋ISO10110-5：面形偏差I(lǐng)SO10110-6：中心偏差I(lǐng)SO10110-7：表面缺陷偏差I(lǐng)SO10110-8：表面微觀輪廓ISO10110-9：表面處理和鍍膜ISO10110-10：元件技術(shù)要求的格式ISO10110-11：非公差數(shù)據(jù)ISO10110-12：非球面ISO10110-13：激光輻射破壞閾值44.ISO10110系列標(biāo)準(zhǔn)包含內(nèi)容ISO10110-1：概述表面缺陷的標(biāo)注方法：一般表面缺陷用5/N×A表示，編號(hào)“5”是表面缺陷的代碼，允許缺陷程度用N×A。N為允許最大缺陷的數(shù)量，A為最大允許缺陷面積的平方根。鍍膜污點(diǎn)（可以從一般表面缺陷中分出）用CN'×A'表示，C是鍍膜污點(diǎn)的代碼。長(zhǎng)劃痕（與鍍膜污點(diǎn)相似，可以從一般表面缺陷中分出）用LN''×A''表示，L是長(zhǎng)劃痕的代碼。N”是允許長(zhǎng)劃痕的數(shù)量，A”說(shuō)明了劃痕的最大允許寬度。崩邊用EA”’表示，E是邊緣崩邊的代號(hào)，A”’表示元件表面的邊緣延伸的最大崩邊量

注意：鍍膜污點(diǎn)和長(zhǎng)劃痕如果圖紙未專門給出，則所有缺陷都必須計(jì)算到一般缺陷中。ISO10110-7表面缺陷偏差45.表面缺陷的標(biāo)注方法：ISO10110-7表面缺陷偏差3.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×1.6;L2×0.01;E1.0

5/表面缺陷的數(shù)字代碼3缺陷允許的個(gè)數(shù)0.63表面缺陷的尺寸等級(jí)數(shù)C表示鍍膜污點(diǎn)2鍍膜污點(diǎn)的允許數(shù)量1.6鍍膜污點(diǎn)的尺寸等級(jí)數(shù)L表示長(zhǎng)劃痕2長(zhǎng)劃痕的允許數(shù)量0.01長(zhǎng)劃痕的尺寸等級(jí)數(shù)E表示崩邊1.0崩邊深度的等級(jí)數(shù)46.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×對(duì)于劃痕:A為對(duì)于點(diǎn)子:A為R如:要求5/3×0.063缺陷全部為點(diǎn)子時(shí)允許最大尺寸點(diǎn)子為R=0.063/=0.063/1.77=0.036則點(diǎn)子直徑為0.072我們實(shí)際作業(yè)中可以讓=2則點(diǎn)子直徑直接為0.063如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0.04，則允許的長(zhǎng)度為L(zhǎng)=(0.063×0.063)/0.04=0.0992mm如果我們觀察到劃痕長(zhǎng)度為0.5mm,則允許劃痕寬度為(0.063×0.063)/0.5=0.0079mmISO10110-7表面缺陷偏差47.對(duì)于劃痕:A為ISO10110-7表面缺陷偏差5.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級(jí)數(shù)的表面缺陷允許用若干個(gè)較小級(jí)數(shù)的表面缺陷來(lái)代替，其面積之和不超過(guò)原級(jí)數(shù)的表面缺陷面積。（注意換算后結(jié)果應(yīng)化為整數(shù)）表面缺陷級(jí)數(shù)與缺陷個(gè)數(shù)換算系數(shù)表48.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級(jí)數(shù)的表ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.316級(jí)數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.0160.100.0630.0400.0250.160.100.0630.0400.250.160.100.0630.400.250.160.100.630.400.250.161.00.630.400.251.61.00.630.402.51.61.00.634.02.51.61.049.ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.ISO10110-7表面缺陷偏差指標(biāo)要求5/3×0.063。也就是要求級(jí)數(shù)為0.063（缺陷面積的平方根為0.063）的缺陷3個(gè)。全部換算：若用換算系數(shù)1，則3×1=3，允許3個(gè)表面缺陷，它們的級(jí)數(shù)A=0.063。若用換算系數(shù)2.5，則3×2.5=7.5，取整數(shù)為7，允許7個(gè)表面缺陷，從表中可查出相應(yīng)級(jí)數(shù)A=0.04。即可換算為級(jí)數(shù)A=0.04的7個(gè)表面缺陷。部分換算：如將其中一個(gè)表面缺陷進(jìn)行換算，面其余兩個(gè)缺陷保留原級(jí)數(shù)。若用換算系數(shù)6.3，則1×6.3=6.3，取整數(shù)為6，允許6個(gè)表面缺陷，從表中可查出相應(yīng)級(jí)數(shù)A=0.025。即可換算為級(jí)數(shù)A=0.025的6個(gè)表面缺陷和級(jí)數(shù)為A=0.063的2個(gè)表面缺陷。50.ISO10110-7表面缺陷偏差指標(biāo)要求5/3×0.063密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測(cè)試區(qū)域有超過(guò)20%的允許的缺陷存在。如果總的表面缺陷數(shù)是小于10，有2個(gè)或更多的表面缺陷落在5%的分區(qū)內(nèi)，則稱為密集缺陷。ISO10110-7表面缺陷偏差產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園則在任意直徑為1mm的園不允許51.密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測(cè)不計(jì)算:當(dāng)決定允許表面缺陷的數(shù)量時(shí)，不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16A或更小的缺陷.有長(zhǎng)劃痕要求時(shí)，劃痕寬度小于0.3A”的不應(yīng)計(jì)算.ISO10110-7表面缺陷偏差如指標(biāo)要求5/3×0.063則不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16×0.063=0.010或比0.010級(jí)數(shù)更小的缺陷。

缺陷換算系數(shù)12.56.316級(jí)數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.01652.不計(jì)算:當(dāng)決定允許表面缺陷的數(shù)量時(shí)，不應(yīng)計(jì)算等級(jí)為0.16面形偏差面形精度:光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度面形偏差是光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差.參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測(cè)量裝置。光學(xué)零件的面形精度可以通過(guò)垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來(lái)確定。光學(xué)零件的拋光質(zhì)量包括:光學(xué)表面疵病和表面幾何形狀53.面形偏差面形精度:光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度光學(xué)零件的拋光面形偏差光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理：當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長(zhǎng)為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說(shuō)的一個(gè)干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對(duì)應(yīng)的空氣隙厚度變化為N*λ/2。54.面形偏差光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理：12.面形偏差因?yàn)榍拾霃狡畹姆较虿煌?，樣板與被檢表面的接觸部位也不同，由此而產(chǎn)生的光圈分為兩在類。低光圈：表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半徑大于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑小于樣板,對(duì)于平面,則表示平面變?yōu)榘记蛎?高光圈:表示樣板與被檢表面在中間部位接觸.對(duì)于凸球面,則表示曲率半徑小于樣板;對(duì)于凹球面,則表示曲率半徑大于樣板,對(duì)于平面,則表示平面變?yōu)橥骨蛎?5.面形偏差因?yàn)榍拾霃狡畹姆较虿煌?，樣板與被檢表面的接觸部面形偏差高低光圈的判斷11.周邊加壓法：低光圈：當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從邊緣向中心移動(dòng)。邊緣先有光圈高光圈：當(dāng)空氣隙減小時(shí)，條紋從中心向邊緣移動(dòng)。中心先有光圈56.面形偏差高低光圈的判斷114.面形偏差高低光圈的判斷22.色序法當(dāng)光圈數(shù)N>1時(shí)，白光照明。低光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“藍(lán)、紅、黃”高光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“黃、紅、藍(lán)”注意觀察紅條紋前面是藍(lán)還是黃高光圈57.面形偏差高低光圈的判斷2高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷32.一側(cè)加壓法當(dāng)光圈數(shù)N<1。低光圈：條紋彎曲的凹向背著加壓點(diǎn)A。高光圈：條紋彎曲的凹向朝著加壓點(diǎn)A。58.面形偏差高低光圈的判斷316.59.17.60.18.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定光圈數(shù)N0的參考波長(zhǎng)λ0=546.1nm,生產(chǎn)中若采用其他波長(zhǎng)λ的單色光檢驗(yàn),得到非標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)Nλ，,則標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)N0和非標(biāo)準(zhǔn)光圈Nλ的關(guān)系如下：此式即為光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系。61.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長(zhǎng)λ的關(guān)系此式即為光圈數(shù)N與光源波面形偏差局部偏差的判斷1:當(dāng)一側(cè)加壓時(shí):中心低:條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點(diǎn)A.中心高:條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點(diǎn)A.62.面形偏差局部偏差的判斷1:20.面形偏差局部偏差的判斷2:當(dāng)一側(cè)加壓時(shí):塌邊:條紋邊緣部位塌向加壓點(diǎn)A.翹邊:條紋邊緣部位翹離加壓點(diǎn)A.63.面形偏差局部偏差的判斷2:21.國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為:N,△1N,

△2NN為光圈數(shù),△1N為象散偏差,△2N為局部偏差面形偏差I(lǐng)SO10110-5面形偏差標(biāo)注為如下所示的三種形式之一：3/A(B/C)，或3/A(B/C)RMSx<D（此處x代表字母t、i或a），或3/-RMSx<D（此處x代表字母t、i或a）。式中編號(hào)“3”是面形偏差的代碼。A為弧矢差,B為不規(guī)則度,C為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度RMSt均方根總偏差,RMSi均方根不規(guī)則度RMSa均方根不對(duì)稱性當(dāng)檢測(cè)區(qū)域比全部有效通光面小時(shí)，檢測(cè)區(qū)域的直徑需要添加到公差標(biāo)注中，如下所示：3/A(B1C),RMSx<D(全部φ…)短劃線(-)表示沒(méi)有明確給出該項(xiàng)偏差的要求如3/-(1/0.5)64.國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為:面形偏差I(lǐng)SO10110面形偏差A(yù)為弧矢差：是被測(cè)光學(xué)表面的曲率半徑與參考表面曲率半徑之差。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的SAG。B為不規(guī)則度:是標(biāo)稱球面（檢測(cè)面）偏離球面的量度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的IRR。C為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度：表面是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的，但卻不是想要的形狀，即存在旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度。此指標(biāo)對(duì)應(yīng)Zygo設(shè)備測(cè)試中的RSI。RMSt均方根總偏差：為被測(cè)光學(xué)表面與標(biāo)稱理論球面之間的均方根偏差。RMSi均方根不規(guī)則度：被測(cè)光學(xué)表面與擬合球面之間的均方根偏差。RMSa均方根不對(duì)稱性：為被測(cè)光學(xué)表面與擬合非球面之間的均方根偏差。光圈數(shù)N:被檢光學(xué)表面的曲率半徑對(duì)于參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差稱半徑偏差,此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用N表示.象散偏差△1N

:被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在二個(gè)相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對(duì)應(yīng)的偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用△1N表示.局部偏差△2N

:被檢光學(xué)表面與參考光學(xué)表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則度稱局部偏差.此偏差所對(duì)應(yīng)的光圈數(shù)用△2N表示65.面形偏差A(yù)為弧矢差：是被測(cè)光學(xué)表面的曲率半徑與參考表面曲率面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算當(dāng)光圈數(shù)N≥1時(shí)以有效檢驗(yàn)范圍內(nèi)直徑方向最多條紋數(shù)的一半來(lái)度量.66.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算24.67.25.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算當(dāng)光圈數(shù)N<1時(shí)單色光照明時(shí),以通過(guò)直徑方向上干涉條紋的彎曲量h相對(duì)條紋的間距H的比值來(lái)度量N=h/H=ad/ae68.面形偏差光圈數(shù)N的計(jì)算26.69.27.面形偏差象散偏差的度量象散偏差光圈數(shù)△1N是以兩個(gè)垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對(duì)值來(lái)度量.橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相同.Nx=-2,Ny=-3,則△1N=│Nx-Ny│=1馬鞍形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相反.Nx=-1,Ny=+2,則△1N=│Nx-Ny│=370.面形偏差象散偏差的度量橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和面形偏差N<1的象散光圈71.面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差局部偏差的度量局部偏差光圈數(shù)△2N以局部不規(guī)則干涉條紋對(duì)理想平滑干涉條紋的偏離量（e）與相鄰條紋間距（H）的比值來(lái)度量72.面形偏差局部偏差的度量30.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。73.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.ISO10110-5弧矢差A(yù)計(jì)算橢圓形條紋弧矢差=(3+1）/2=2雙曲線形條紋弧矢差=（2.5-1.5）/2=0.5ISO10110-5面形偏差74.ISO10110-5弧矢差A(yù)計(jì)算橢圓形條紋弧矢差I(lǐng)SO10110-5

面形偏差

弧矢差A(yù)計(jì)算需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動(dòng)而其他條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于弧矢差

弧矢差弧矢差75.ISO10110-5

面形偏差弧矢差A(yù)計(jì)算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算橢圓形條紋不規(guī)則度=│m-m’│=(3-1）=2雙曲線形條紋不規(guī)則度=│m+m’│(2.5+1.5）=476.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算橢圓形條紋不規(guī)則ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算需要樣板從兩個(gè)方向進(jìn)行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動(dòng)或都遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動(dòng)而其他條紋圖遠(yuǎn)離條紋曲率中心移動(dòng)，那么不規(guī)則性大于弧矢差

不規(guī)則度=│m-m’│不規(guī)則度=│m+m’│77.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計(jì)算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度C計(jì)算等于通過(guò)直徑方向上干涉條紋的偏差量與條紋距之比78.ISO10110-5面形偏差旋轉(zhuǎn)對(duì)稱不規(guī)則度C計(jì)算36.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質(zhì)量有三種描述方式：1.均