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NOx氮氧傳感器介紹Kevin.H2016.11PPT課件NOx氮氧傳感器介紹Kevin.H2016.11PPT課目錄NOx氣體傳感器技術(shù)要求NOx氣體傳感器分類半導(dǎo)體氣體傳感器固體電解質(zhì)氣體傳感器電化學(xué)型氣體傳感器新型氣體傳感器2PPT課件目錄NOx氣體傳感器技術(shù)要求2PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器3PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求3PPT課件1、NOx傳感器技術(shù)要求通用NOx傳感器(UniNOx-Sensor),德國(guó)大陸用途:

準(zhǔn)確、快速地測(cè)量氣體中的NOx濃度。技術(shù)要求:靈敏度高,良好的選擇性;快速的響應(yīng)和恢復(fù);重復(fù)性、穩(wěn)定性好;可普及性。4PPT課件1、NOx傳感器技術(shù)要求通用NOx傳感器(UniNOx-Se目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器5PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求5PPT課件2.NOx氣體傳感器分類根據(jù)氣敏特性分類:半導(dǎo)體型固態(tài)電解質(zhì)電化學(xué)型新型傳感器6PPT課件2.NOx氣體傳感器分類根據(jù)氣敏特性分類:半導(dǎo)體型固目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器7PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求7PPT課件3.1半導(dǎo)體氣體傳感器分類

半導(dǎo)體氣敏元件的分類如表所示。大體上可分為電阻型和非電阻型兩大類。要對(duì)NOx進(jìn)行檢測(cè),需要選擇合適的敏感材料。8PPT課件3.1半導(dǎo)體氣體傳感器分類半導(dǎo)體氣3.2電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器結(jié)構(gòu)

氧化物半導(dǎo)體NOx傳感器,福特公司專利SnO2

是應(yīng)用最早的半導(dǎo)體傳感器材料之一,福特公司最初用其制成傳感器進(jìn)行NOx的監(jiān)測(cè)。9PPT課件3.2電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器結(jié)構(gòu)氧化物半導(dǎo)體NOx傳感3.3電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理

氣敏半導(dǎo)體材料SnO2是N型半導(dǎo)體,其導(dǎo)電機(jī)理可用吸附效應(yīng)來解釋。圖示為燒結(jié)體N型半導(dǎo)體的模型(左)。晶粒間界有較高的電阻,晶粒內(nèi)部電阻較低。該模型可簡(jiǎn)化為僅由頸部等效電阻Rn串聯(lián)而成的等效電路(右)10PPT課件3.3電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理氣敏半導(dǎo)體材3.4電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器特性參數(shù)11PPT課件3.4電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器特性參數(shù)11PPT課件3.5半導(dǎo)體氣體傳感器優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):敏感性好,摻雜三價(jià)元素(Al,Bi,Ga,In)時(shí),對(duì)NOx顯示出可靠的選擇性。缺點(diǎn):無法完全過濾其它氣體,穩(wěn)定性不好。氧化物半導(dǎo)體NOx傳感器優(yōu)缺點(diǎn):改進(jìn)方法:以氧化物為基體,摻雜某些特定金屬制成半導(dǎo)體傳感器。如TiO2,WO3,AlVO4等,提高選擇性和穩(wěn)定性。12PPT課件3.5半導(dǎo)體氣體傳感器優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):敏感性好,摻雜三價(jià)元素(3.6非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是MOS二極管式和結(jié)型二極管式以及場(chǎng)效應(yīng)管式(MOSFET)半導(dǎo)體氣體傳感器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化,主要檢測(cè)氫和硅燒氣等可燃性氣體。(略)13PPT課件3.6非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是M目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器14PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求14PPT課件4.1固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理廢氣傳感單元加熱參考空氣ZrO2-陶瓷層電極多孔保護(hù)層絕緣層USSensorCharacteristicCurveNormalizedA/FratioSensorvoltage00.981.01.02Ureg0VPO’2PO’’215PPT課件4.1固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理廢氣傳感單元加熱參考空氣ZrO24.2固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理電極處化學(xué)反應(yīng)HnCm

+xO2?yH2O+zCO22CO

+O2?2CO22H2

+O2?2H2ONO

+2CO

?N2+2CO2廢氣固體電解質(zhì)ZrO2(+Y2O3)T>350°CUN參考空氣4e-+O2

?2O2-2O2-

?4e-+O2多孔電極Pt(+ZrO2)多孔電極Pt(+ZrO2)多孔保護(hù)層O2O2O2O2O2O2O2-O2O2O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2O2pO2''=0,21barpO2'=10-20barNernst原理公式:UN=F4RTln'O''O22PPUN:輸出電動(dòng)勢(shì)T:氣體絕對(duì)溫度F:法拉第常數(shù)R:理想氣體常數(shù)Po2’參考空氣氣壓值Po2’’廢氣的氣壓值16PPT課件4.2固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理電極處化學(xué)反應(yīng)HnCm+x4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(1)VYSZ鉑電極Oo2-鉑電極eAYSZ鉑電極Oo2-鉑電極(1)電位型(2)極限電流型敏感電極:NO2+2e=NO+O2-參考電極:2O2--4e=O217PPT課件4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(1)VYSZ鉑電極Oo4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(2)(3)阻抗譜型:18PPT課件4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(2)(3)阻抗譜型4.4阻抗譜型NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理在YSZ電解質(zhì)與敏感電極界面上發(fā)生了如下的陰極反應(yīng):NO2+4e→N2+2O2-(1)或NO2+2e→NO+O2-(2)而在另一側(cè)發(fā)生了如下的陽極反應(yīng):2O2--4e→O2(3)因此,低頻下的總阻抗與NO2的濃度相關(guān)。同時(shí)對(duì)O2和CO2濃度變化具有抗干擾性。19PPT課件4.4阻抗譜型NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理在YSZ電解質(zhì)與敏感4.5固態(tài)電解質(zhì)NOx傳感器關(guān)鍵技術(shù)電解質(zhì)材料敏感電極材料制備工藝20PPT課件4.5固態(tài)電解質(zhì)NOx傳感器關(guān)鍵技術(shù)電解質(zhì)材料敏感電極材目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器21PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求21PPT課件5.1電化學(xué)式氣體傳感器概述

利用待測(cè)氣體與有關(guān)的電極反應(yīng)而制成的氣體傳感器稱電化學(xué)式氣體傳感器??煞譃樵姵厥?、定電位電解式、電量式、離子電極式四種類型。針對(duì)測(cè)量NOx,在此介紹前兩種。A.定電位電解式氣體傳感器B.原電池式氣體傳感器22PPT課件5.1電化學(xué)式氣體傳感器概述利用待測(cè)氣體與有關(guān)的電5.2定電位電解式氣體傳感器在電解過程中,電流由氣體成分的擴(kuò)散速度決定,極限電流與氣體體積濃度成正比。借此可進(jìn)行檢測(cè),稱為定電位電解式傳感器。NO2+2e=NO+O2-2O2--4e=O223PPT課件5.2定電位電解式氣體傳感器在電解過程中,電流由氣體成分的5.3原電池式氣體傳感器還可以用來測(cè)定大氣中氧、一氧化碳(CO)的體積濃度:選擇合適的電解液和敏感電極,對(duì)NOx氣體做出有效選擇。24PPT課件5.3原電池式氣體傳感器還可以用來測(cè)定大氣中氧、一氧化碳(目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器25PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求25PPT課件6.1新型傳感器類別

光纖氣體傳感器表面聲波氣體傳感器(SAW)智能氣體傳感器(電子鼻)26PPT課件6.1新型傳感器類別光纖氣體傳感器表面聲波氣體傳感器(S附:UniNOx傳感器工作原理(1)注:UniNOx傳感器是由德國(guó)大陸和日本NGK開發(fā)的世界第一款量產(chǎn)的車載NOx傳感器。27PPT課件附:UniNOx傳感器工作原理(1)注:UniNOx傳感器是附:UniNOx傳感器工作原理(2)第五代NOx/O2傳感器原理圖,日本NGK公司可以認(rèn)為:1個(gè)UniNOx傳感器=2個(gè)氧傳感器28PPT課件附:UniNOx傳感器工作原理(2)第五代NOx/O2傳感器附:UniNOx傳感器工作原理(3)29PPT課件附:UniNOx傳感器工作原理(3)29PPT課件附:國(guó)外近年來研究項(xiàng)目↑以氧化鋁為基片(福特公司提供),嵌入的加熱元件。國(guó)外某機(jī)構(gòu)以YSZ(釔穩(wěn)定氧化鋯)為基片分別進(jìn)行了兩種材料作為敏感電極的測(cè)試研究,Au和LSM(錳酸鍶鑭)30PPT課件附:國(guó)外近年來研究項(xiàng)目↑以氧化鋁為基片(福特公司提供),嵌入附:應(yīng)用過程中的問題1、傳感器選擇性、敏感性、精度不足;2、傳感器工作條件、響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間、可靠性都有待提高3、合適的關(guān)鍵材料還在探索中,復(fù)雜的制備工藝有待改進(jìn)4、成本偏高,無法普遍應(yīng)用。31PPT課件附:應(yīng)用過程中的問題1、傳感器選擇性、敏感性、精度不足;31參考資料[1]趙海燕,汽車尾氣用NOx傳感器[J].傳感器與微系統(tǒng).2007,26(1):8-10;[2]王嶺,納米結(jié)構(gòu)CuO為敏感電極的阻抗譜型NO2傳感器[J].無機(jī)化學(xué)學(xué)報(bào).2012,28(1):81-87;[3]LawrenceLivermoreNationalLaboratory,NOxSensorDevelopment[D].Internet.2012.5[4]顧媛媛,簡(jiǎn)家文,一種固體電解質(zhì)的電流型NO2傳感器.實(shí)用新型專利.寧波大學(xué),2013.3

32PPT課件參考資料[1]趙海燕,汽車尾氣用NOx傳感器[J].傳感器NOx氮氧傳感器介紹Kevin.H2016.133PPT課件NOx氮氧傳感器介紹Kevin.H2016.11PPT課目錄NOx氣體傳感器技術(shù)要求NOx氣體傳感器分類半導(dǎo)體氣體傳感器固體電解質(zhì)氣體傳感器電化學(xué)型氣體傳感器新型氣體傳感器34PPT課件目錄NOx氣體傳感器技術(shù)要求2PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器35PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求3PPT課件1、NOx傳感器技術(shù)要求通用NOx傳感器(UniNOx-Sensor),德國(guó)大陸用途:

準(zhǔn)確、快速地測(cè)量氣體中的NOx濃度。技術(shù)要求:靈敏度高,良好的選擇性;快速的響應(yīng)和恢復(fù);重復(fù)性、穩(wěn)定性好;可普及性。36PPT課件1、NOx傳感器技術(shù)要求通用NOx傳感器(UniNOx-Se目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器37PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求5PPT課件2.NOx氣體傳感器分類根據(jù)氣敏特性分類:半導(dǎo)體型固態(tài)電解質(zhì)電化學(xué)型新型傳感器38PPT課件2.NOx氣體傳感器分類根據(jù)氣敏特性分類:半導(dǎo)體型固目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器39PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求7PPT課件3.1半導(dǎo)體氣體傳感器分類

半導(dǎo)體氣敏元件的分類如表所示。大體上可分為電阻型和非電阻型兩大類。要對(duì)NOx進(jìn)行檢測(cè),需要選擇合適的敏感材料。40PPT課件3.1半導(dǎo)體氣體傳感器分類半導(dǎo)體氣3.2電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器結(jié)構(gòu)

氧化物半導(dǎo)體NOx傳感器,福特公司專利SnO2

是應(yīng)用最早的半導(dǎo)體傳感器材料之一,福特公司最初用其制成傳感器進(jìn)行NOx的監(jiān)測(cè)。41PPT課件3.2電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器結(jié)構(gòu)氧化物半導(dǎo)體NOx傳感3.3電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理

氣敏半導(dǎo)體材料SnO2是N型半導(dǎo)體,其導(dǎo)電機(jī)理可用吸附效應(yīng)來解釋。圖示為燒結(jié)體N型半導(dǎo)體的模型(左)。晶粒間界有較高的電阻,晶粒內(nèi)部電阻較低。該模型可簡(jiǎn)化為僅由頸部等效電阻Rn串聯(lián)而成的等效電路(右)42PPT課件3.3電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理氣敏半導(dǎo)體材3.4電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器特性參數(shù)43PPT課件3.4電阻型半導(dǎo)體NOx傳感器特性參數(shù)11PPT課件3.5半導(dǎo)體氣體傳感器優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):敏感性好,摻雜三價(jià)元素(Al,Bi,Ga,In)時(shí),對(duì)NOx顯示出可靠的選擇性。缺點(diǎn):無法完全過濾其它氣體,穩(wěn)定性不好。氧化物半導(dǎo)體NOx傳感器優(yōu)缺點(diǎn):改進(jìn)方法:以氧化物為基體,摻雜某些特定金屬制成半導(dǎo)體傳感器。如TiO2,WO3,AlVO4等,提高選擇性和穩(wěn)定性。44PPT課件3.5半導(dǎo)體氣體傳感器優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn):敏感性好,摻雜三價(jià)元素(3.6非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是MOS二極管式和結(jié)型二極管式以及場(chǎng)效應(yīng)管式(MOSFET)半導(dǎo)體氣體傳感器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化,主要檢測(cè)氫和硅燒氣等可燃性氣體。(略)45PPT課件3.6非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是M目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器46PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求14PPT課件4.1固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理廢氣傳感單元加熱參考空氣ZrO2-陶瓷層電極多孔保護(hù)層絕緣層USSensorCharacteristicCurveNormalizedA/FratioSensorvoltage00.981.01.02Ureg0VPO’2PO’’247PPT課件4.1固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理廢氣傳感單元加熱參考空氣ZrO24.2固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理電極處化學(xué)反應(yīng)HnCm

+xO2?yH2O+zCO22CO

+O2?2CO22H2

+O2?2H2ONO

+2CO

?N2+2CO2廢氣固體電解質(zhì)ZrO2(+Y2O3)T>350°CUN參考空氣4e-+O2

?2O2-2O2-

?4e-+O2多孔電極Pt(+ZrO2)多孔電極Pt(+ZrO2)多孔保護(hù)層O2O2O2O2O2O2O2-O2O2O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2-O2O2pO2''=0,21barpO2'=10-20barNernst原理公式:UN=F4RTln'O''O22PPUN:輸出電動(dòng)勢(shì)T:氣體絕對(duì)溫度F:法拉第常數(shù)R:理想氣體常數(shù)Po2’參考空氣氣壓值Po2’’廢氣的氣壓值48PPT課件4.2固體電解質(zhì)的導(dǎo)電機(jī)理電極處化學(xué)反應(yīng)HnCm+x4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(1)VYSZ鉑電極Oo2-鉑電極eAYSZ鉑電極Oo2-鉑電極(1)電位型(2)極限電流型敏感電極:NO2+2e=NO+O2-參考電極:2O2--4e=O249PPT課件4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(1)VYSZ鉑電極Oo4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(2)(3)阻抗譜型:50PPT課件4.3氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器分類(2)(3)阻抗譜型4.4阻抗譜型NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理在YSZ電解質(zhì)與敏感電極界面上發(fā)生了如下的陰極反應(yīng):NO2+4e→N2+2O2-(1)或NO2+2e→NO+O2-(2)而在另一側(cè)發(fā)生了如下的陽極反應(yīng):2O2--4e→O2(3)因此,低頻下的總阻抗與NO2的濃度相關(guān)。同時(shí)對(duì)O2和CO2濃度變化具有抗干擾性。51PPT課件4.4阻抗譜型NOx傳感器檢測(cè)機(jī)理在YSZ電解質(zhì)與敏感4.5固態(tài)電解質(zhì)NOx傳感器關(guān)鍵技術(shù)電解質(zhì)材料敏感電極材料制備工藝52PPT課件4.5固態(tài)電解質(zhì)NOx傳感器關(guān)鍵技術(shù)電解質(zhì)材料敏感電極材目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器53PPT課件目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求21PPT課件5.1電化學(xué)式氣體傳感器概述

利用待測(cè)氣體與有關(guān)的電極反應(yīng)而制成的氣體傳感器稱電化學(xué)式氣體傳感器??煞譃樵姵厥?、定電位電解式、電量式、離子電極式四種類型。針對(duì)測(cè)量NOx,在此介紹前兩種。A.定電位電解式氣體傳感器B.原電池式氣體傳感器54PPT課件5.1電化學(xué)式氣體傳感器概述利用待測(cè)氣體與有關(guān)的電5.2定電位電解式氣體傳感器在電解過程中,電流由氣體成分的擴(kuò)散速度決定,極限電流與氣體體積濃度成正比。借此可進(jìn)行檢測(cè),稱為定電位電解式傳感器。NO2+2e=NO+O2-2O2--4e=O255PPT課件5.2定電位電解式氣體傳感器在電解過程中,電流由氣體成分的5.3原電池式氣體傳感器還可以用來測(cè)定大氣中氧、一氧化碳(CO)的體積濃度:選擇合適的電解液和敏感電極,對(duì)NOx氣體做出有效選擇。56PPT課件5.3原電池式氣體傳感器還可以用來測(cè)定大氣中氧、一氧化碳(目錄1. NOx氣體傳感器技術(shù)要求2.NOx氣體傳感器分類3. 半導(dǎo)體氣體傳感器4. 固體電解質(zhì)氣體傳感器5.電化學(xué)型氣體傳感器6.新型氣體傳感器57PPT課件目錄1. NO

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