ESD專題報(bào)告-靜電的概述課件

ESD專題報(bào)告

ESD專題報(bào)告1什麼是靜電?原因:剝離、摩擦、感應(yīng)….?機(jī)制:物質(zhì)因失去或得到電子而帶電什麼是靜電?原因:剝離、摩擦、感應(yīng)….2影響摩擦生電電量的因素

相對(duì)溼度物質(zhì)材料摩擦頻率接觸面積影響摩擦生電電量的因素3材料的影響正(Positive)

?空氣?人手?玻璃?毛髮?石英?尼龍?羊毛?絲綢?鋁?紙?棉

?鋼?木?橡膠?金?多元脂?聚胺脂?聚乙烯?聚丙烯?乙烯基?矽?鐵弗龍

負(fù)(Negative)

材料的影響正(Positive)?鋼4溫度：21℃典型的ESD電壓溫度：21℃典型的ESD電壓5?原因:電位不同物體間的電荷移轉(zhuǎn)不一定伴隨有電弧或火花發(fā)生?一般人體可以感受到的靜電電壓約為

3kv以上;當(dāng)靜電電壓低於此值時(shí),許多半導(dǎo)體元件依舊非常容易受到靜電放電而致?lián)p壞隱藏的危險(xiǎn)=>靜電放電?原因:電位不同物體間的電荷移轉(zhuǎn)隱藏的危險(xiǎn)6ESD對(duì)IC的威脅人體..直接充電或放電°*電壓範(fàn)圍:數(shù)百伏特到30KV機(jī)器..裝配,測(cè)試,蓋印及機(jī)械手臂環(huán)境..運(yùn)輸,儲(chǔ)存,製造及使用*電壓範(fàn)圍:數(shù)千伏特°ESD對(duì)IC的威脅人體..直接充電或放電°7靜電放電的模型#人體帶電模型(HumanBodyModel,HBM)------(2kv)#機(jī)器帶電模型(MachineModel,MM)

(測(cè)試機(jī)臺(tái),自動(dòng)插件機(jī),SMT機(jī)臺(tái))-------------(200V)#元件帶電模型(ChargedDeviceModel,CDM)------(1KV)靜電放電的模型#人體帶電模型(HumanBody8元件帶電模型(CDM)●現(xiàn)代自動(dòng)化組裝之製造環(huán)境中最重要的ESD模型。造成ESD故障的主要原因●CDMEvent的來(lái)源測(cè)試機(jī)臺(tái),自動(dòng)插件,IC的包裝及運(yùn)送過程產(chǎn)生)

1.在1ns(毫微秒)內(nèi)電流可上升到15A(1KV)，放電時(shí)間在10ns以下。2.在高頻時(shí)、電容幾乎可以視為短路，因此CDM電流會(huì)由GateOxide放電。

元件帶電模型(CDM)●現(xiàn)代自動(dòng)化組裝之製造環(huán)境中最重9電子元件ESD故障之構(gòu)因功率相關(guān)：熱崩潰、金屬熔融……電壓相關(guān)：介電質(zhì)崩潰……潛在性故障：功能劣化……(閘極退化、保護(hù)電路損害、放電抑制、PN接面退化、間歇性的失效)Power=IESD*VOperating電子元件ESD故障之構(gòu)因功率相關(guān)：熱崩潰、金屬熔融……P10ESDS元件敏感等級(jí)---HBM

ESDSTM5.1-1998EIA/JESD22-A114-B:2000

ClassVoltageRangeClass0<250VClass1A250V~<500VClass1B500V~<1000VClass1C1000V~<2000VClass22000V~<4000VClass3A4000V~<8000VClass3B≧8000VESDS元件敏感等級(jí)---HBMESDSTM5.111ESDS元件敏感等級(jí)---MM

ESDSTM5.2-1999EIA/JESD22-A115-A:1997

ClassVoltageRangeClassM1(A)<200VClassM2(B)200V~<400VClassM3(C)≧400V

ESDS元件敏感等級(jí)---MMESDSTM5.2-12ESDS元件敏感等級(jí)---CDM

ESDSTM5.3.1-1999

ClassVoltageRangeClassC1<125VClassC2125V~<250VClassC3250V~<500VClassC4500V~<1000VClassC51000V~<1500VClassC61500V~<2000VClassC7≧2000V

EIA/JESD22-C101-A:2000ClassVoltageRangeClassI<200VClassII200V~<500VClassIII500V~<1000VClassIV≧1000V

ESDS元件敏感等級(jí)---CDMESDSTM5.3.13IC的ESD規(guī)格HBMMMCDM

〝Okay〞

±2KV

±200V

±1KV

〝Safe〞

±4KV

±400V

±1.5KV〝Super〞

±10KV

±1KV

±2KVIC的ESD規(guī)格14靜電防制專有名詞

*SurfaceResistance[表面電阻]以二個(gè)電極放置於一材料表面上，加以一直流電壓(V)，量測(cè)其通過之電流值(I)，在計(jì)算出其電阻值(R)，其單位為歐姆(Ω)。*SurfaceResistively[表面電阻率]

均一材料的單位面積表面電阻，其單位為Ω/square，其表面電阻率與表面電阻間通常存在一比例，該比例與量測(cè)電極之幾何形狀有關(guān)。*VolumeResistively[體積電阻率]即電阻率或稱電阻係數(shù)其單位為Ω-cm。靜電防制專有名詞*SurfaceResistanc15靜電防制材料特性定義*ConductiveMaterials[導(dǎo)電材料]

表面電阻率小於1×105

Ω/square

，或其體積電阻率小於1×104Ω-cm的材料。[△<1×104or1×105]*StaticDissipativeMaterial靜電消散材料

表面電阻率至少為1×105Ω/square<△<1×1012Ω/square。

或體積電阻率至少為1×104Ω-cm<△<1×1011Ω-cm。*Anti-StaticMaterial抗靜電材料-能抑制摩擦生電的材料。(ESDAADV.1.0)-能抑制摩擦生電至200V以下的材料。(EIA-625)-抗靜電材料並不需要量測(cè)其表面電阻率或體積電阻率來(lái)決定其特性。靜電防制材料特性定義*ConductiveMateria16靜電防制材料特性定義*

InsulatingMaterials[絕緣材料]

表面電阻率大於1×1012

Ω/square

，或其體積電阻率大於1×1011Ω-cm的材料。

(EIA-625-1994;ESDAADV1.0-1994)*

StaticShieldingMaterial靜電屏蔽材料

可防止元件遭受外界的靜電場(chǎng)破壞的一種防護(hù)屏障。

(EIA-625)

靜電防制材料特性定義*InsulatingMateria17基本法則*將工作區(qū)的所有導(dǎo)電物體接地，使其帶電不超過50V。*用靜電電壓表確認(rèn)工作區(qū)內(nèi)的所有非導(dǎo)電物體帶電壓不超過300V(or200V)。*如果靜電無(wú)法避免，應(yīng)確保靜電敏感零組件與帶電之表面保持足夠的距離?；痉▌t*將工作區(qū)的所有導(dǎo)電物體接地，使其帶電不超18ESD問題的對(duì)策-1搬運(yùn)工具--若臺(tái)車為絕緣輪,移動(dòng)時(shí)易與地面摩擦而累積靜電。對(duì)策:更換為導(dǎo)電輪、拖鐵鍊

(推高機(jī)不應(yīng)行經(jīng)舖有導(dǎo)電地板的區(qū)域)紙張、紙製標(biāo)籤--在常溫長(zhǎng)濕下可視為抗靜電材料?？轨o電衣--不易控管、成本高。ESD問題的對(duì)策-1搬運(yùn)工具--若臺(tái)車為絕緣輪,移動(dòng)時(shí)易19PCB臺(tái)車拖鐵鍊PCB臺(tái)車拖鐵鍊20ESD問題的對(duì)策-2手套的使用--靜電消散時(shí)間<2sec,還要帶靜電環(huán)。離子風(fēng)扇--解決工作區(qū)內(nèi)絕緣體的帶電問題。無(wú)線靜電環(huán)--只對(duì)2KV以上的靜電有效。導(dǎo)電地墊：可用於無(wú)導(dǎo)電地板的工作區(qū)，並搭配導(dǎo)電鞋。ESD問題的對(duì)策-2手套的使用--靜電消散時(shí)間<2sec21靜電環(huán)測(cè)試*功能:主要為防止HBM對(duì)於ESDS元件的破壞*型式:金屬、紡織品:錶帶式、鬆緊帶式、黏帶式*安全性:必須要有限流電阻(通常約為1MΩ,250V,1/4W)來(lái)保護(hù)人體安全，接地線與靜電環(huán)分離的拉力為1-5lb。

若無(wú)限流電阻則必須以紅色標(biāo)示*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ<30V*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%

靜電環(huán)測(cè)試*功能:主要為防止HBM對(duì)於ESDS元件的破22靜電環(huán)*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ@<30V1MΩ靜電環(huán)*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ@<30V23靜電帶導(dǎo)電絲*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%靜電帶導(dǎo)電絲*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%24靜電環(huán)測(cè)試實(shí)例靜電環(huán)測(cè)試實(shí)例25靜電鞋套and拖鞋靜電鞋套and拖鞋26靜電鞋靜電鞋27靜電鞋測(cè)試器規(guī)格靜電鞋測(cè)試器規(guī)格28靜電環(huán)測(cè)試器規(guī)格靜電環(huán)測(cè)試器規(guī)格29ESD問題的對(duì)策-3*靜電接地(工作檯面及作業(yè)人員)-目的：使工作人員在同一電位上/地椿/建築物的金屬結(jié)構(gòu)/金屬水管-建議：與市電地線間的電位差不要超過5V，或阻抗不超過25Ω。-人員防護(hù)：考慮人員碰觸電源時(shí)，通過人體電流，故必須要有1M限流電阻。ESD問題的對(duì)策-3*靜電接地(工作檯面及作業(yè)人員)30接地系統(tǒng)-1?ESDS6.1*主要目的:將靜電防護(hù)設(shè)施接地，提供一個(gè)路徑使靜電消散材料、導(dǎo)電材料及個(gè)人接地設(shè)備在同一個(gè)電位上，減少ESDS元件受到破壞。*人員安全防護(hù):考慮人員碰觸電源時(shí)，通過人體的電流。故接觸人體的接地系統(tǒng)必須要有限流電阻。

接地系統(tǒng)-1?ESDS6.131接地系統(tǒng)-2*靜電放電接地:能夠使靜電產(chǎn)生源(人或物)有放電的路徑*實(shí)接地:電子線路或設(shè)備和大地連接的導(dǎo)電接點(diǎn)(零電位差)。接地系統(tǒng)-2*靜電放電接地:能夠使靜電產(chǎn)生源(人或物)32一般工作檯接地系統(tǒng)?ESD接地點(diǎn)的量測(cè)*DC毆姆計(jì):量測(cè)範(fàn)圍0.1Ω~1MΩ±10%，開路電壓必須大於1.5V。*ESD共地點(diǎn)到ESD防護(hù)材料或設(shè)備必須小於1Ω(如果有保護(hù)電阻則必須加上其值)。

*ESD共地點(diǎn)到EquipmentGround必須小於1Ω。

一般工作檯接地系統(tǒng)?ESD接地點(diǎn)的量測(cè)33共地點(diǎn)ESD保護(hù)墊導(dǎo)電扣接地線靜電手環(huán)插孔工作檯接地系統(tǒng)共地點(diǎn)ESD保護(hù)墊導(dǎo)電扣接地線靜電手環(huán)插孔工作檯接地系統(tǒng)34工作檯表面的量測(cè)?ESDS4.1-1997*主要目的:使用標(biāo)準(zhǔn)的量測(cè)設(shè)備，量測(cè)靜電放電防護(hù)工作表面之表面電阻質(zhì)以評(píng)估其特性。*其他標(biāo)準(zhǔn):ASTMF150andNFPA99*測(cè)試設(shè)備:1.可提供100V和10V測(cè)試電壓，誤差在10%以內(nèi)的高電阻計(jì)，量測(cè)範(fàn)圍由10KΩ~100GΩ。2.2只5lb.直徑2.5”的測(cè)試電極。

工作檯表面的量測(cè)?ESDS4.1-199735工作檯表面的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-to-Point(≧1MΩ)高電阻計(jì)Resistancetoground(1×106Ωto1×109Ω)距離10”工作檯表面的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-t36固定式工作檯接地扣固定式工作檯接地扣37活動(dòng)式工作檯活動(dòng)式工作檯38地面材料電阻特性測(cè)試?ANSIESDS7.1-1994*測(cè)試目的:量測(cè)地面材料的電阻特性(其量測(cè)結(jié)果為非電阻率)。*靜電防護(hù)地板須配合靜電防護(hù)鞋、鞋環(huán)、輪子及裝載器具使用。*其他標(biāo)準(zhǔn):ASTMF150,NFPA99andDIN51953*測(cè)試設(shè)備:1.可提供100V和10V誤差在10%以內(nèi)的高電阻計(jì)，量測(cè)範(fàn)圍由10KΩ~100GΩ。2.2只5lb.直徑2.5”的電極。地面材料電阻特性測(cè)試?ANSIESDS7.1-199439地面材料的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-to-Point(≧1MΩ)高電阻計(jì)Resistancetoground(1×106Ωto1×109Ω)1.ResistancetoGround每5000Sq.ft(464.5m2)必須測(cè)試五點(diǎn)。2.ResistancePoint-to-Point每5000Sq.ft必須測(cè)試五區(qū)，每區(qū)測(cè)

試點(diǎn)間的距離應(yīng)至少為36”。

地面材料的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-to40表面電阻(率)測(cè)試*測(cè)試目的:量測(cè)一個(gè)ESDS包裝材料的表面電阻率,來(lái)評(píng)估其靜電防護(hù)的特性。*標(biāo)準(zhǔn):ASTMD-257,ANSIESDS11.11-1993*測(cè)試設(shè)備:1.可提供100V和10V誤差在10%以內(nèi)的高電阻計(jì)，量測(cè)範(fàn)圍由1KΩ~10TΩ之電極。2.測(cè)試時(shí)間為10TΩ檢查5次之穩(wěn)定時(shí)間平均值加5秒。表面電阻(率)測(cè)試*測(cè)試目的:量測(cè)一個(gè)ESDS包裝材料41表面電阻(率)測(cè)試高電阻計(jì)1KΩ~10TΩ表面電阻(率)測(cè)試高電阻計(jì)1KΩ~10TΩ42靜電消散時(shí)間測(cè)試*測(cè)試目的:評(píng)估靜電防護(hù)材料被間接或直接充電後,其電荷自然衰退所需的時(shí)間。*標(biāo)準(zhǔn):FTS101C,4046.1,EIA-541*測(cè)試設(shè)備:1.可充電至±5kv再放電至50V,正負(fù)各執(zhí)行3次。2.放電時(shí)間不得大於2秒。靜電消散時(shí)間測(cè)試*測(cè)試目的:評(píng)估靜電防護(hù)材料被間接或直43抗靜電材料-1抗靜電材料-144抗靜電材料-2抗靜電材料-245抗靜電材料-3抗靜電材料-346靜電消散材料靜電消散材料47靜電放電屏蔽測(cè)試*測(cè)試目的:決定靜電放電屏蔽袋的效果。*標(biāo)準(zhǔn):EIA-541,ANSIESDS11.31-1994*測(cè)試設(shè)備:1.可提供1KV電壓,放電RC迴路200pF,400KΩ測(cè)試器。2.放置時(shí)間48~72小時(shí)。靜電放電屏蔽測(cè)試*測(cè)試目的:決定靜電放電屏蔽袋的效果。48靜電屏蔽材料靜電屏蔽材料49靜電防制作業(yè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)*U.S.Military/DepartmentofDefense(美軍規(guī)範(fàn))*ASTMAmericanSocietyforTestingandMaterials*NFPANationalFireProtectionAssociation*JEDECJointElectronDeviceEngineeringCouncil*IECInternationalElectrotechnicalCommission*ESDAESDAssociation靜電防制作業(yè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)*U.S.Military/Depa50演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！51ESD專題報(bào)告

ESD專題報(bào)告52什麼是靜電?原因:剝離、摩擦、感應(yīng)….?機(jī)制:物質(zhì)因失去或得到電子而帶電什麼是靜電?原因:剝離、摩擦、感應(yīng)….53影響摩擦生電電量的因素

相對(duì)溼度物質(zhì)材料摩擦頻率接觸面積影響摩擦生電電量的因素54材料的影響正(Positive)

?空氣?人手?玻璃?毛髮?石英?尼龍?羊毛?絲綢?鋁?紙?棉

?鋼?木?橡膠?金?多元脂?聚胺脂?聚乙烯?聚丙烯?乙烯基?矽?鐵弗龍

負(fù)(Negative)

材料的影響正(Positive)?鋼55溫度：21℃典型的ESD電壓溫度：21℃典型的ESD電壓56?原因:電位不同物體間的電荷移轉(zhuǎn)不一定伴隨有電弧或火花發(fā)生?一般人體可以感受到的靜電電壓約為

3kv以上;當(dāng)靜電電壓低於此值時(shí),許多半導(dǎo)體元件依舊非常容易受到靜電放電而致?lián)p壞隱藏的危險(xiǎn)=>靜電放電?原因:電位不同物體間的電荷移轉(zhuǎn)隱藏的危險(xiǎn)57ESD對(duì)IC的威脅人體..直接充電或放電°*電壓範(fàn)圍:數(shù)百伏特到30KV機(jī)器..裝配,測(cè)試,蓋印及機(jī)械手臂環(huán)境..運(yùn)輸,儲(chǔ)存,製造及使用*電壓範(fàn)圍:數(shù)千伏特°ESD對(duì)IC的威脅人體..直接充電或放電°58靜電放電的模型#人體帶電模型(HumanBodyModel,HBM)------(2kv)#機(jī)器帶電模型(MachineModel,MM)

(測(cè)試機(jī)臺(tái),自動(dòng)插件機(jī),SMT機(jī)臺(tái))-------------(200V)#元件帶電模型(ChargedDeviceModel,CDM)------(1KV)靜電放電的模型#人體帶電模型(HumanBody59元件帶電模型(CDM)●現(xiàn)代自動(dòng)化組裝之製造環(huán)境中最重要的ESD模型。造成ESD故障的主要原因●CDMEvent的來(lái)源測(cè)試機(jī)臺(tái),自動(dòng)插件,IC的包裝及運(yùn)送過程產(chǎn)生)

1.在1ns(毫微秒)內(nèi)電流可上升到15A(1KV)，放電時(shí)間在10ns以下。2.在高頻時(shí)、電容幾乎可以視為短路，因此CDM電流會(huì)由GateOxide放電。

元件帶電模型(CDM)●現(xiàn)代自動(dòng)化組裝之製造環(huán)境中最重60電子元件ESD故障之構(gòu)因功率相關(guān)：熱崩潰、金屬熔融……電壓相關(guān)：介電質(zhì)崩潰……潛在性故障：功能劣化……(閘極退化、保護(hù)電路損害、放電抑制、PN接面退化、間歇性的失效)Power=IESD*VOperating電子元件ESD故障之構(gòu)因功率相關(guān)：熱崩潰、金屬熔融……P61ESDS元件敏感等級(jí)---HBM

ESDSTM5.1-1998EIA/JESD22-A114-B:2000

ClassVoltageRangeClass0<250VClass1A250V~<500VClass1B500V~<1000VClass1C1000V~<2000VClass22000V~<4000VClass3A4000V~<8000VClass3B≧8000VESDS元件敏感等級(jí)---HBMESDSTM5.162ESDS元件敏感等級(jí)---MM

ESDSTM5.2-1999EIA/JESD22-A115-A:1997

ClassVoltageRangeClassM1(A)<200VClassM2(B)200V~<400VClassM3(C)≧400V

ESDS元件敏感等級(jí)---MMESDSTM5.2-63ESDS元件敏感等級(jí)---CDM

ESDSTM5.3.1-1999

ClassVoltageRangeClassC1<125VClassC2125V~<250VClassC3250V~<500VClassC4500V~<1000VClassC51000V~<1500VClassC61500V~<2000VClassC7≧2000V

EIA/JESD22-C101-A:2000ClassVoltageRangeClassI<200VClassII200V~<500VClassIII500V~<1000VClassIV≧1000V

ESDS元件敏感等級(jí)---CDMESDSTM5.3.64IC的ESD規(guī)格HBMMMCDM

〝Okay〞

±2KV

±200V

±1KV

〝Safe〞

±4KV

±400V

±1.5KV〝Super〞

±10KV

±1KV

±2KVIC的ESD規(guī)格65靜電防制專有名詞

*SurfaceResistance[表面電阻]以二個(gè)電極放置於一材料表面上，加以一直流電壓(V)，量測(cè)其通過之電流值(I)，在計(jì)算出其電阻值(R)，其單位為歐姆(Ω)。*SurfaceResistively[表面電阻率]

均一材料的單位面積表面電阻，其單位為Ω/square，其表面電阻率與表面電阻間通常存在一比例，該比例與量測(cè)電極之幾何形狀有關(guān)。*VolumeResistively[體積電阻率]即電阻率或稱電阻係數(shù)其單位為Ω-cm。靜電防制專有名詞*SurfaceResistanc66靜電防制材料特性定義*ConductiveMaterials[導(dǎo)電材料]

表面電阻率小於1×105

Ω/square

，或其體積電阻率小於1×104Ω-cm的材料。[△<1×104or1×105]*StaticDissipativeMaterial靜電消散材料

表面電阻率至少為1×105Ω/square<△<1×1012Ω/square。

或體積電阻率至少為1×104Ω-cm<△<1×1011Ω-cm。*Anti-StaticMaterial抗靜電材料-能抑制摩擦生電的材料。(ESDAADV.1.0)-能抑制摩擦生電至200V以下的材料。(EIA-625)-抗靜電材料並不需要量測(cè)其表面電阻率或體積電阻率來(lái)決定其特性。靜電防制材料特性定義*ConductiveMateria67靜電防制材料特性定義*

InsulatingMaterials[絕緣材料]

表面電阻率大於1×1012

Ω/square

，或其體積電阻率大於1×1011Ω-cm的材料。

(EIA-625-1994;ESDAADV1.0-1994)*

StaticShieldingMaterial靜電屏蔽材料

可防止元件遭受外界的靜電場(chǎng)破壞的一種防護(hù)屏障。

(EIA-625)

靜電防制材料特性定義*InsulatingMateria68基本法則*將工作區(qū)的所有導(dǎo)電物體接地，使其帶電不超過50V。*用靜電電壓表確認(rèn)工作區(qū)內(nèi)的所有非導(dǎo)電物體帶電壓不超過300V(or200V)。*如果靜電無(wú)法避免，應(yīng)確保靜電敏感零組件與帶電之表面保持足夠的距離?；痉▌t*將工作區(qū)的所有導(dǎo)電物體接地，使其帶電不超69ESD問題的對(duì)策-1搬運(yùn)工具--若臺(tái)車為絕緣輪,移動(dòng)時(shí)易與地面摩擦而累積靜電。對(duì)策:更換為導(dǎo)電輪、拖鐵鍊

(推高機(jī)不應(yīng)行經(jīng)舖有導(dǎo)電地板的區(qū)域)紙張、紙製標(biāo)籤--在常溫長(zhǎng)濕下可視為抗靜電材料?？轨o電衣--不易控管、成本高。ESD問題的對(duì)策-1搬運(yùn)工具--若臺(tái)車為絕緣輪,移動(dòng)時(shí)易70PCB臺(tái)車拖鐵鍊PCB臺(tái)車拖鐵鍊71ESD問題的對(duì)策-2手套的使用--靜電消散時(shí)間<2sec,還要帶靜電環(huán)。離子風(fēng)扇--解決工作區(qū)內(nèi)絕緣體的帶電問題。無(wú)線靜電環(huán)--只對(duì)2KV以上的靜電有效。導(dǎo)電地墊：可用於無(wú)導(dǎo)電地板的工作區(qū)，並搭配導(dǎo)電鞋。ESD問題的對(duì)策-2手套的使用--靜電消散時(shí)間<2sec72靜電環(huán)測(cè)試*功能:主要為防止HBM對(duì)於ESDS元件的破壞*型式:金屬、紡織品:錶帶式、鬆緊帶式、黏帶式*安全性:必須要有限流電阻(通常約為1MΩ,250V,1/4W)來(lái)保護(hù)人體安全，接地線與靜電環(huán)分離的拉力為1-5lb。

若無(wú)限流電阻則必須以紅色標(biāo)示*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ<30V*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%

靜電環(huán)測(cè)試*功能:主要為防止HBM對(duì)於ESDS元件的破73靜電環(huán)*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ@<30V1MΩ靜電環(huán)*接地導(dǎo)線阻抗:必須小於1.25MΩ@<30V74靜電帶導(dǎo)電絲*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%靜電帶導(dǎo)電絲*環(huán)帶阻抗:1MΩ±20%75靜電環(huán)測(cè)試實(shí)例靜電環(huán)測(cè)試實(shí)例76靜電鞋套and拖鞋靜電鞋套and拖鞋77靜電鞋靜電鞋78靜電鞋測(cè)試器規(guī)格靜電鞋測(cè)試器規(guī)格79靜電環(huán)測(cè)試器規(guī)格靜電環(huán)測(cè)試器規(guī)格80ESD問題的對(duì)策-3*靜電接地(工作檯面及作業(yè)人員)-目的：使工作人員在同一電位上/地椿/建築物的金屬結(jié)構(gòu)/金屬水管-建議：與市電地線間的電位差不要超過5V，或阻抗不超過25Ω。-人員防護(hù)：考慮人員碰觸電源時(shí)，通過人體電流，故必須要有1M限流電阻。ESD問題的對(duì)策-3*靜電接地(工作檯面及作業(yè)人員)81接地系統(tǒng)-1?ESDS6.1*主要目的:將靜電防護(hù)設(shè)施接地，提供一個(gè)路徑使靜電消散材料、導(dǎo)電材料及個(gè)人接地設(shè)備在同一個(gè)電位上，減少ESDS元件受到破壞。*人員安全防護(hù):考慮人員碰觸電源時(shí)，通過人體的電流。故接觸人體的接地系統(tǒng)必須要有限流電阻。

接地系統(tǒng)-1?ESDS6.182接地系統(tǒng)-2*靜電放電接地:能夠使靜電產(chǎn)生源(人或物)有放電的路徑*實(shí)接地:電子線路或設(shè)備和大地連接的導(dǎo)電接點(diǎn)(零電位差)。接地系統(tǒng)-2*靜電放電接地:能夠使靜電產(chǎn)生源(人或物)83一般工作檯接地系統(tǒng)?ESD接地點(diǎn)的量測(cè)*DC毆姆計(jì):量測(cè)範(fàn)圍0.1Ω~1MΩ±10%，開路電壓必須大於1.5V。*ESD共地點(diǎn)到ESD防護(hù)材料或設(shè)備必須小於1Ω(如果有保護(hù)電阻則必須加上其值)。

*ESD共地點(diǎn)到EquipmentGround必須小於1Ω。

一般工作檯接地系統(tǒng)?ESD接地點(diǎn)的量測(cè)84共地點(diǎn)ESD保護(hù)墊導(dǎo)電扣接地線靜電手環(huán)插孔工作檯接地系統(tǒng)共地點(diǎn)ESD保護(hù)墊導(dǎo)電扣接地線靜電手環(huán)插孔工作檯接地系統(tǒng)85工作檯表面的量測(cè)?ESDS4.1-1997*主要目的:使用標(biāo)準(zhǔn)的量測(cè)設(shè)備，量測(cè)靜電放電防護(hù)工作表面之表面電阻質(zhì)以評(píng)估其特性。*其他標(biāo)準(zhǔn):ASTMF150andNFPA99*測(cè)試設(shè)備:1.可提供100V和10V測(cè)試電壓，誤差在10%以內(nèi)的高電阻計(jì)，量測(cè)範(fàn)圍由10KΩ~100GΩ。2.2只5lb.直徑2.5”的測(cè)試電極。

工作檯表面的量測(cè)?ESDS4.1-199786工作檯表面的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-to-Point(≧1MΩ)高電阻計(jì)Resistancetoground(1×106Ωto1×109Ω)距離10”工作檯表面的量測(cè)高電阻計(jì)ResistancePoint-t87固定式工作檯接地扣固定式工作檯接地扣88活動(dòng)式工作檯活動(dòng)式工作檯89地面材料電阻特性測(cè)試?ANSIESDS7.1-1994*測(cè)試目的:量測(cè)地面材料的電阻特性(其量測(cè)結(jié)果為非電阻率)。*靜電防護(hù)地板