大型設(shè)備說(shuō)明-涂膠顯影機(jī)第1臺(tái)_第1頁(yè)
大型設(shè)備說(shuō)明-涂膠顯影機(jī)第1臺(tái)_第2頁(yè)
大型設(shè)備說(shuō)明-涂膠顯影機(jī)第1臺(tái)_第3頁(yè)
已閱讀5頁(yè)，還剩3頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶(hù)提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

涂膠顯設(shè)備的組成及工作圖1-1涂膠顯影外觀(guān)圖1-2涂膠顯影布局圖(最大配置，其中為貴司配置了圖1-3涂膠顯影工作原理①涂膠模塊控制模塊集成在單元內(nèi)，方便保Chuck812Cup單元內(nèi)各關(guān)鍵參數(shù)均可形成log日志，方便后續(xù)查詢(xún)及數(shù)據(jù)收集整理分②熱板模塊50③冷板模塊1825°C最小溫度調(diào)整量0.1④機(jī)械手傳送系統(tǒng)Loadportwafer⑤軟件控制系統(tǒng)CassetteInformationCassette制程相關(guān)的所有條件參數(shù)做到了實(shí)時(shí)數(shù)字監(jiān)控，2LOG日誌和數(shù)字⑥化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)備經(jīng)經(jīng)調(diào)研，設(shè)備經(jīng)費(fèi)為498.5萬(wàn)元經(jīng)調(diào)研，設(shè)備臺(tái)經(jīng)費(fèi)為498.5萬(wàn)元，本項(xiàng)目共需購(gòu)置1臺(tái)，共498.5萬(wàn)元設(shè)備費(fèi)用組成如下表2-1序設(shè)備名數(shù)單（萬(wàn)元?。ㄈf(wàn)元112498.50

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論