整理-激光位移傳感器原理

1組成:2、外觀圖：密的幾何測量。CCI）感光片鏡片組濾光鏡I/量程起點F量 程中點?1IG-BITCOM3、激光位移傳感器原理一一原理分類激光回波分析法則用于遠距離測量。激光三角測量法適用于高精度、短距離的測量。（我們用到的就是高精度短距離的激光三角測量法）4、激光三角測量法原理CCDCCD光點。距離。4.經(jīng)性CXD眸冏卑尊持瀏光罟二廣同時，光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理， 并通過微處理器分析，計算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，

按比例輸出標準數(shù)據(jù)信號。

如果使用開關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。另外，模擬量與開關(guān)量輸出可獨立設(shè)置檢測窗口。5、測量方式（直射式、斜射式）最簡單的三角位移測量系統(tǒng)是從光源發(fā)射一束光到被測物體表面

，在另一方向通過成像觀察反射光點的位，從而計算出物點的位移。 由于入射和反射光構(gòu)成一個三角形 ，所以這種方法被稱為三角測量法，又可按入射光線與被測工件表面法線的關(guān)系分為直射式和斜射式。直射式直射式三角法測量等效光路如圖 1所示。激光器發(fā)出的光線，經(jīng)會聚透鏡聚焦后垂直入射到被測物體表面上變化導(dǎo)致入射光點沿入射光軸移動。 接收透鏡接收來自入射光點處的散射在光點位置探測（如PSD、CCD敏感面上。但由于傳感器激光光束與被測面垂直

，物體移動或表面，并將其成像因此只有一個準確的調(diào)焦位，其余位置的像都處于不同程度的離焦?fàn)顟B(tài)。 離焦將引起像點的彌散，從而降低了系統(tǒng)的測量精度。tg01=Utg02;

，01B2必須滿足，U保證了精度。若光點在成像面上的位移為x'，利用相似三角形各邊之間的比例關(guān)系被測面的位移： Gj/sinb

，從而，按下式可求出X 1—xFsin（6>+62），a為激光束光軸和接收光軸的交點到接收透鏡前主面的距離；01與接收透鏡光軸之間的夾角。斜射式2為斜射式三角測量原理圖。

;b為接收透鏡后主；02為探測器2斜射式光路圖激光器發(fā)出的光與被測面的法線方向成-定角度入射到被測面上同樣用接收透鏡接收光點在被測面的散射光或反射光。此時應(yīng)滿足tg(01+0激光器發(fā)出的光與被測面的法線方向成-定角度入射到被測面上同樣用接收透鏡接收光點在被測面的散射光或反射光。此時應(yīng)滿足tg(01+02)=Utg03;若光點的像在探測器敏感面上移動x',利用相似三角形的比例關(guān)系,則物體表面沿法線方向的移動距離為，01為激光束光軸與被測面法線之間的夾角；03為探測器光軸與成像透鏡光軸之間的夾角。(3)斜射式特例020°時3

；02為成像透鏡光軸與被測面法線3斜入射直接收式光路x，被測