Parylene的球形凸起微電極陣列的分析

1、Parylene的球形凸起微電極陣列的分析 神經(jīng)工程在揭露神經(jīng)系統(tǒng)的工作機理以及神經(jīng)疾病的治療和康復等方面具有重要意義。微電極陣列是神經(jīng)系統(tǒng)與外界電子電路的接口，它的性能決定了整個神經(jīng)系統(tǒng)的信號采集和刺激的效果。本文提出了一種基于氣相沉積Parylene 薄膜的球形微電極陣列。通過光刻膠熱熔回流形成半球狀凸起微電極，微電極陣列外部由Parylene 包裹，具有較好的柔韌性和生物兼容性。比照平面電極，具有較低的阻抗。 神經(jīng)工程是神經(jīng)科學、微電子技術(shù)、材料科學以及信息科學的交叉學科。在神經(jīng)學科中，神經(jīng)電極是神經(jīng)工程系統(tǒng)中最關(guān)鍵部件之一，它起著記錄來自運動纖維的電信號和利用電信號激勵或抑制神經(jīng)活動以

2、實現(xiàn)功能性電刺激的重要作用，是外界電路與生物體的接口。由于神經(jīng)細胞尺寸非常小，在神經(jīng)組織和外界電子電路之間建立起有效和諧的接口是一項極具挑戰(zhàn)性的任務(wù)。隨著微電子技術(shù)和微加工能力的進步，人們開始將MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)引入到神經(jīng)工程領(lǐng)域以克服該領(lǐng)域研究中的障礙，通過微加工工藝制作尺寸與神經(jīng)細胞相當?shù)奈㈦姌O，以獲得更可靠的記錄結(jié)果和更有效的刺激效果。目前常見的神經(jīng)電極包括篩狀電極（Sieve-Shaped Electrode）、卡膚電極（Cuff Electrode）、劍狀電極（Shaft Electrode）及由劍狀電極演變的梳狀（Comb-like Multi-shanks）二維電極和針形

3、電極陣列、平面微電極陣列等不同類型的電極。 1、微電極陣列的設(shè)計 對于植入式微電極，在電極植入生物體內(nèi)后，往往要保存幾個月甚至幾十年，因此要維持電極的正常工作，電極的基底和封裝材料必須具有很好的生物相容性和生物穩(wěn)定性。此外，由于電極與柔軟的神經(jīng)組織接觸，必須具有很好的柔性以適應(yīng)組織的表面形貌，以免對組織造成機械損傷。常用到的聚合物基底材料有PDMS，SU-8，Parylene，Polyimide等。近年來，Parylene 以其特有的優(yōu)點已經(jīng)逐漸取代Polyimide 作為微電極的封裝材料。相比與其他的聚合物封裝材料，Parylene 具有更多的優(yōu)點，包括它的無針孔涂覆，更低的液氣滲透率，良好

4、的生物相容性，透明性和柔韌性，以及較好的機械強度等。 對于植入式微電極，電極材料也必須具有一定的生物相容性和穩(wěn)定性，同時要考慮到電極在電流條件下在生物體內(nèi)不被腐蝕。因此，電極材料往往選擇惰性貴重金屬，如鉑、金、銥、鎢等。另外，對于電極材料的選擇還要考慮工作中的能耗、穩(wěn)定的電化學性質(zhì)、穩(wěn)定的阻抗和頻率響應(yīng)特性等。對于電極引線，由于通常是通過絕緣材料和封裝構(gòu)造包埋在電極主體構(gòu)造的內(nèi)部，不會直接與體液環(huán)境接觸，因此材料的抗腐蝕特性和生物相容性不是主要考慮因素，主要考慮其電學特性、加工成本以及其加工過程與MEMS工藝的兼容性。 在電極制備過程中，選用金作為電極和引線材料，通過濺射工藝形成電極和引線，工

5、藝過程簡單。通過一次濺射形成電極和導線，減小了采用不同金屬制備電極和引線時金屬間的接觸阻抗，能夠進一步減小電極阻抗。 利用光刻膠熱熔技術(shù)，設(shè)計了一種新型的半球形凸起三維電極。與圓柱形電極相比，在相同底面積的情況下，半球形電極能夠使電極的有效接觸面積增大2倍，這對于進一步減小電極阻抗有一定的作用。圖1 是半球形凸起微電極陣列單個電極點的剖面示意圖。 圖1微電極陣列單個電極點的剖面示意圖圖2 微電極陣列的設(shè)計圖 設(shè)計了55的微電極陣列，初始電極直徑為50m，電極間間距為600m，刺激電極通過下埋導線與引腳電極相連，刺激器將通過引腳電極輸入刺激電信號。引腳電極尺寸寬為0.5mm，連接導線與刺激電極的互連線線寬為50m，間距為100m，圖2 是微電極陣列的設(shè)計圖。 2、微電極陣列的制作工藝 采用光刻膠熱熔技術(shù)，通過圖形轉(zhuǎn)移，并采用生物相容性材料Parylene C 薄膜