純水檢測方法

1、純化水1主題內(nèi)容與通用范圍本標準給出了電力半導體器件工藝用高純水（以下稱高純水）的級別、技術(shù) 要求、測試方法和規(guī)則。本標準適用于去離子處理后的高純水。2引用標準GB 11446電子級水及其檢測方法。3術(shù)語電導率 Electrical conductivity在規(guī)定溫度下，1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數(shù)。電導 率通常以S/cm為單位。純水的理論電導率為005482網(wǎng)cm （25C時）。電阻率 Resistivity電導率之倒數(shù)。純水的理論電阻率為18.248 MH.cm （25C時）。溫度升高時電阻率下降?？?cè)芙庑怨腆w Total dissolved solids （TDS）水中溶

2、解物質(zhì)的總含量，包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質(zhì)、病毒、細菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。34總硬度（。日值）水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。硬度一般以德國標示法為準，計為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為 1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。1德國硬度=國際通用硬度x 0.056,或1DH約相當于CaCO3硬度17.8ppm。顆粒性物質(zhì) Granular substance除氣體以外，以非液態(tài)形式分散在水中，并形成非均勻相混合物的物質(zhì)。總有機碳（TOC: Total organic carbon）水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般

3、的強氧化劑氧化的有機物和需用特殊化學處理的有機物。總固體 Total solid水樣蒸發(fā)、烘干后殘留的固體總量。全硅 Total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。全硅和可溶性硅 之差即稱為膠體硅。高純水 High-pure water, Ultra-pure water電阻率在5MQcm以上，以各種形式存在的物質(zhì)含量有一定規(guī)定限制的 很純凈的水原水 Raw water進入純化處理工序之前的水。常用的原水如自來水、地表水和地下水等。終端 Terminal高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道純化工藝后，水的出口使用地點。可分別稱 為制水終端和用水終端。微量 Micro-amoun

4、t試樣量在1mg左右。痕量 Trace amount試樣量在1pg左右。百萬分之一 (ppm) part per million重量比的單位，相當于每百萬單位重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)。在水質(zhì)分析中，一般也認為相當于每升中水樣含雜質(zhì)的毫克數(shù)(mg/L)。十億分之一 (ppb) part per billion重量比的單位，相當于每十億單位重量的溶液中含一單位重量的溶質(zhì)。在水質(zhì)分折中，一般認為相當于每升水樣中含雜質(zhì)的微克數(shù)(pg/L)。4高純水的級別4.1高純水可分為電子級高純水和普通高純水，分別用符號EH和PH標志。4.2電子級高純水4.2.1在制造工藝中使用電子級高純水的電力半導體器件有

5、如下特點:具有精細圖形結(jié)構(gòu)；對器件表面有特殊要求；工藝對水質(zhì)有特定的嚴格要求。4.2.2電子級高純水分為兩個級別：特級和1級。它們的標志分別是： 特級電子級高純水：EHT一級電子級高純水：EH14.3普通高純水4.3.1普通高純水用于一般電力半導體器件的制造工藝中。4.3.2普通高純水分為三個級別：I級、II級和III級。它們的標志分別 是：I級普通高純水：PH Ix級普通高純水：PHIIm級普通高純水：PHIII4.4電阻率低于5MQcm的水不能稱為高純水5技術(shù)要求5.1電子級高純水5.1.1電子級高純水應(yīng)考核四項指標：水中自由離子濃度（主要影響電阻率）；水中懸浮微粒的數(shù)量和大?。凰杏袡C物

6、總量；水中細菌微生物狀況。5.1.2電子級高純水的各項技術(shù)指標由下表1給出:指標級別EH-TEH-1電阻率,MQcm(25 C)18 （90% 時間） 最小171618 (90% 時間) 最小15大于1gm微粒數(shù)，個/mL11大于0.5um微粒數(shù)（最大值），個/mL100150細菌個數(shù)，個/mL11總有機碳含量（最大值）巾g/L50100全硅（最大值）巾g/L210氯含量（最大值）巾g/L0.52鉀含量（最大值）巾g/L0.21鈉含量（顯大值）巾g/L0.21鈣含量（最大值）巾g/L0.51鋁含量（最大值）巾g/L0.51銅含量（最大值）巾g/L0.11TDS（最大值）,pg/L3105.2普通高純水5.2.1普通高純水主要考核其電阻率。5.2.2普通高純水的技術(shù)指標由下表2給出:指 標級別I級普通高純水PHIx級普通高純水PHIIm級普通高純水pHm電阻率（25C）,MQ，cm12-1581258大于1pm的微粒數(shù)，個 /mL50總有機碳含量,pg/L500全硅,pg/L5m浮游菌/ m3沉降菌/皿100