橢圓偏振光法測(cè)定介質(zhì)薄膜的厚度和折射率_第1頁(yè)
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橢圓偏振光法測(cè)定介質(zhì)薄膜的厚度和折射率PB05210465實(shí)驗(yàn)?zāi)康模毫私鈾E偏儀測(cè)量薄膜參數(shù)的原理.初步掌握反射型橢偏儀的使用方法.實(shí)驗(yàn)原理：橢圓偏振光經(jīng)薄膜系統(tǒng)反射后，偏振狀態(tài)的變化量與薄膜的厚度和折射率有關(guān)，因此只要測(cè)量出偏振狀態(tài)的變化量，就能利用計(jì)算機(jī)程序多次近定出膜厚和折射率。參數(shù)1.按調(diào)分光計(jì)的方法調(diào)整好主機(jī).2.水平度盤(pán)的調(diào)整.3.光路調(diào)整.4.檢偏器讀數(shù)頭位置的調(diào)整和固定.5.起偏器讀數(shù)頭位置的調(diào)整與固定.6.測(cè)量值與理論值之間存在一定的誤差誤差分析：實(shí)驗(yàn)測(cè)得的折射率較理論值偏小，厚度 d 的誤差相對(duì)較大，其可能原因有：1.待測(cè)介質(zhì)薄膜表面雜質(zhì)較多（有三處較明顯的），影響了其折射率。2.在開(kāi)始的光路調(diào)整時(shí)，沒(méi)有使二者嚴(yán)格共軸，造成激光與偏振片、1/4 波片之間不是嚴(yán)格的正入射，導(dǎo)致測(cè)量的折射率與理論值存在偏差。3.消光點(diǎn)并非完全消光，所以消光位置只能由人眼估測(cè)，所以可能引入誤差。4.調(diào)整水平度盤(pán)時(shí)采用的是目測(cè)也給實(shí)驗(yàn)帶來(lái)一定的誤差。5.儀器的精度也限制了實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性 。思考題：1本次實(shí)驗(yàn)的難點(diǎn)在于實(shí)驗(yàn)原理的理解，經(jīng)過(guò)仔細(xì)的分析，得出實(shí)際可測(cè)量的物理量來(lái)解極為復(fù)雜的方程，設(shè)計(jì)的巧妙構(gòu)思值得學(xué)習(xí)；另外，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，每一步

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