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文檔簡介
1、用于動脈張力測定法的陣列式懸臂血壓傳感器1動脈張力測定法原理2硅的壓電電阻效應壓電電阻效應 在晶體上施加外力時，其電導率變化的性質為壓電電阻效應。 文中用硅膜片上摻入硼離子的一小部分作為壓電電阻器使用，壓力發(fā)生變化時該區(qū)域的電阻會發(fā)生變化，通過電阻值反映壓力值。壓電電阻系數壓電電阻系數指的是壓電電阻器電阻變化率與壓力的比值。單位：%/N3硅體微機械加工技術濕法刻蝕干法刻蝕濕法刻蝕的機理是基于化學反應，刻蝕時先將材料氧化，然后通過化學反應，使一種或多種氧化物溶解。用等離子體轟擊硅晶片，使硅晶片的表面原子脫落，同時等離子體中的電子、離子、游離原子與硅發(fā)生化學作用，生成揮發(fā)性物質，通過這樣的物理、化
2、學雙重作用刻蝕硅晶片的技術稱為干法刻蝕。4硅晶面與各向異性 在晶體中，原子的排列構成了許多不同方位的晶面，故要用晶面指數來分別表示這些晶面。晶面指數的確定方法如下：1對晶胞作晶軸X、Y、Z，以晶胞的邊長作為晶軸上的單位長度；2求出待定晶面在三個晶軸上的截距(如該晶面與某軸平行，則截距為)，例如1、1、；1、1、1；1、1、1/2等；3取這些截距數的倒數，例如110，111，112等；4將上述倒數化為最小的簡單整數，并加上圓括號，即表示該晶面的指數，一般記為（hkl），例如（110），（111），（112）等。晶面5硅晶面與各向異性（100）（111）（112）6陣列式懸臂血壓傳感器設計7陣列式懸臂血壓傳感器加工過程8陣列式懸臂血壓傳感器加工過程9陣列式懸臂血壓傳感器加工過程10陣列式懸臂血壓傳感器加工過程11陣列式懸臂血壓傳感器加工過程12陣列式懸臂血壓傳感器實物13陣列式懸臂血壓傳感器測試14陣列式懸臂血壓傳感器測血壓外部壓力恒定情況下，橈動脈血壓測量結果外
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