真空鍍膜操作規(guī)程

1、真空鍍膜操作規(guī)程準備：1 開啟設備總電源，穩(wěn)壓器，確認三相供電電壓正常：370440V；2 開啟電容補償器；3 確認水池冷卻水水量充足（見浮標尺）打開循環(huán)水泵；4 根據(jù)工藝要求，確定是否需要啟動冷水機以及啟動幾臺冷水機；啟動前應確認冷水機入口水壓-3kg，內(nèi)部增壓泵旋轉(zhuǎn)正常，可采用自動或手動方式啟動；5 確認各部分冷卻水循環(huán)系統(tǒng)完好，確認擴散泵循環(huán)水工作正常，緊急冷卻系統(tǒng)準備就緒；6 確認工藝氣體氣壓不低于20個大氣壓7 裝基膜：A領膜：鍍膜工按生產(chǎn)任務單要求，從凈化室中領到基膜時，應立即檢查該膜是否合格，有無花紋斑點劃傷污跡，收卷是否整齊等直接觀測到的問題，如有應立即向生產(chǎn)主管報告，以決定是

2、否采用；8 裝軸：操作時必須帶手套，將合格的基膜放在專用膜托架上，取一對尺寸相同的軸安裝好，安裝時請注意膜的正反面，確認一切準備就緒了，即可吊裝。吊裝時必須輕拿輕放，嚴禁碰撞，必須保持基膜水平，以免膜打滑引起螺紋狀；C、裝膜：確認冷輥無冷凝水后，即可裝膜，裝膜時不要對著膜講話，以保持膜面干凈。注意不要碰透過率分析儀的探頭，裝膜時應保證膜在冷輥的中心；D、按任務書車速要求設置鍍膜速度、張力；E、試卷：引膜完成后，手動預卷幾圈，打開張力控制器，啟動冷短、收卷、卷膜（其中ITO膜卷12m,前檔膜和建筑膜卷20m）。仔細觀察膜是否走正，啟動是否容易，冷輥是否與膜同步，走速是否平穩(wěn)，膜是否變形、起皺、劃

3、傷等等，并及時處置，最后用記號筆在放料端畫起始標志線；8、按生產(chǎn)任務書要求確認各靶位、布氣系統(tǒng)、電源配置正確，靶材量充足，確認無其他物品遺忘在真空室內(nèi)或小車上，關閉真空室；抽真空1、 擴散泵預加熱（約需40分鐘）：啟動維持泵，確認運轉(zhuǎn)正常后，打開維持閥（燈亮），逐一打開擴散泵；2、 低抽：確認真空室門已關閉啟動計算機，進入鍍膜系統(tǒng)監(jiān)控程序，充氣閥關閉，啟動機械泵（1、2），確認機械泵正常運行后，開預抽閥，五分鐘后打開復合真空計，打開羅茨泵開關，。（當真空達到1500Pa時，羅茨泵允許信號燈（紅燈）亮，再延遲25秒后，羅茨泵自動啟動）；3、 高抽：當羅茨泵啟動五分鐘后，打開熱偶真空計，當真空度達

4、到5Pa時，開高閥允許信號燈（紅燈）亮，此時確認擴散泵預熱已完成（加熱40分鐘或油窗油面達到規(guī)定位置情況下），關閉預抽閥，依次打開各前級閥，關維持閥、關維持泵。依次打開各路高閥，確認到位開關燈亮，開始高抽。真空度進入10-2Pa后，打開電離真空計測量高真空，直到工藝規(guī)定的背景真空，真空進入6xi0-3Pa后，打開靶電源總開關及透過率分析儀預熱，與計算機系統(tǒng)完成通訊連接；3、 鍍膜：1、 確認已達背景真空，關閉電離真空計，打開冷輥、隔離槽、靶電源、冷卻水，確認工作正常；2、 打開所需各路供氣電磁閥，抽取殘留雜質(zhì)氣體，確認到達背景真空，按工藝要求設置各路氣體流量，打開總氣閥、減壓閥、氣體控制器開關

5、，用中真空計觀察工藝氣體總壓，穩(wěn)定后進行透過率分析儀初始化整定（此時需關閉真空室照明燈）；3、 鍍膜：啟動傳動系統(tǒng)，確認收放卷工作正常，按靶1靶5依次設置各靶鍍膜功率，關照明燈，觀察記錄透過率變化情況，開照明燈，觀察鍍膜后剩余反射光、外觀、顏色、質(zhì)量是否符合工藝要求，在穩(wěn)定工作的情況下，做好工藝記錄，不斷巡查設備運轉(zhuǎn)狀況，合理處置各種隨機問題，鍍膜結束時，依次關閉傳動、靶電源，工藝氣體、冷卻水、（擴散泵水除外），依次關閉各路高閥，啟動維持泵，開維持閥，依次關各路前級閥、羅茨泵、機械泵、各真空測量儀，對冷輥升溫，如不繼續(xù)鍍膜，關閉擴散泵，保持冷卻水，降溫3小時后，關維持閥和維持泵；4、 恢復大氣壓力：確認冷輥高于露點溫度后，打開充氣閥，充氣完成后，打開真空室門；5、 質(zhì)量檢驗：在收卷一側壓緊輥處用記號筆標記鍍膜終止位置橫線，對鍍膜質(zhì)量進行必要的觀測檢驗記錄；6、 卸膜：將鍍膜剩余引膜收卷完畢，用吊車小心將成品膜吊裝到專用托架上，送交凈化室；7、 分卷、分切、入庫保存；8、 包裝、出庫、運輸；9、 特別提示：當系