擴散爐常見故障整合

1、1按下進舟按鈕時,槳不移動1、槳速度未設置（300MM/MIN、500MM/MIN）；2、馬達驅(qū)動器損壞，無法進槳；3、槳馬達損壞或皮帶斷裂，無法運轉(zhuǎn)；4、槳傳動絲杠兩端軸承卡死無法運行；5、工控機726板損壞，無法傳輸信號；2、 無法開機或黑屏 1、觸摸屏損壞，無顯示； 2、機臺未上電，工控機未上電； 3、工控機電源損壞；3無法加熱1、加熱開關(guān)未開；2、熱電偶短路斷路保護，檢查熱電偶有無斷路短路，并重新連接或更換；3、加熱端子燒壞，無法加熱，重新更換加熱端子；4、加熱功率觸發(fā)板損壞，無法加熱，更換觸發(fā)板；氣體流量異常1、流量計故障，可上下調(diào)換檢查；2、壓縮空氣過低，氣動閥無法動作，調(diào)整壓縮空

2、氣大??；3、氣動閥損壞無法動作，更換氣動閥；4、工控機812板元件損壞，更換812板；5、檢查單向閥是否裝反；6、24V直流電源損壞，無法提供電源控制電磁閥；5恒溫槽溫度異常1、恒溫槽內(nèi)液位低于頂部以下5CM；恒溫槽內(nèi)加入純水至頂部以下3CM處；2、恒溫槽循環(huán)泵卡死，無法進行水循環(huán)；更換循環(huán)泵；3、恒溫槽制冷片損壞，更換制冷片；按上電開關(guān)不上電1 QX01主斷路器斷開1檢查線路接點有無短路，重新合上2 R12繼電器不工作2更換同型號的繼電器3 F01熔斷器芯熔斷3 更換同型號的5A熔斷器芯4上電按扭開關(guān)接觸不良4 檢查線路，重新接線溫控器上顯示00001 熱電偶開路換新熱電偶或重新熱電偶及導線

3、2 熱電偶與補償導線接觸不良3 補償導線與溫控器接觸不良系統(tǒng)顯示超溫報警并自動切斷加熱電源1 熱電偶開路1 接好熱電偶2 可控硅燒壞短路2 換同型號的可控硅3 溫度保護值低于工藝溫度值3 重新設置保護溫度4 可控硅觸發(fā)板壞4 更換同型號的可控硅觸發(fā)板爐體不升溫1 前面板加熱開關(guān)按扭失控1 檢查按扭接線或更換2 可控硅輸入保險燒壞2 更換100A保險3 觸發(fā)板上保險燒壞3 更換同型號保險0.25A4 爐體加熱絲斷4 更換爐體5 可控硅開路5 更換同型號可控硅6 觸發(fā)板觸發(fā)電源故障6 檢查來自源柜的+15V電源不能自動進出上下舟1面板上的急停按扭處于按下位置1 松開急停按扭2極限，限位開關(guān)沒復位或

4、損壞2 檢查平移行程開關(guān)及上下光電開關(guān)3驅(qū)動器與計算機通訊不上3 檢查通訊線路4 驅(qū)動器本身顯示報警狀態(tài)4 檢查或更換同型號驅(qū)動器5 平移，上下步進電機故障5 檢查或更換同型號電機爐門不能自動開關(guān)1進氣壓力不夠，壓力報警1 調(diào)節(jié)氣壓，消除報警2 PLC與計算機通訊故障2 檢查通訊線路3 PLC無輸出3 檢查PLC及相關(guān)線路4 PLC有輸出但繼電器沒工作4 檢查線路或更換同型號的繼電器5電磁閥或汽缸故障5 檢查或更換同型號的電磁閥或汽缸6 氣路故障6 檢查氣路或更換氣管無流量顯示1 減壓閥，手動閥沒打開1 打開相應的閥門2 電磁閥沒打開2 在計算機上打開相應的電磁閥3 流量計與計算機通訊故障3

5、檢查線路或更換同型號流量計TempressTempress擴散爐擴散爐1TUBE尾氣壓力偏高檢查尾氣管是否被偏磷酸堵塞檢查尾氣壓力控制器是否損壞或需要重新校正檢查進入尾氣壓力控制器的氮氣調(diào)節(jié)閥是否關(guān)閉2TUBE尾氣壓力偏低檢查爐管是否存在缺口或裂口檢查爐門是否關(guān)閉不良檢查爐門是否被偏磷酸腐蝕或磨損檢查進入爐管的氮氣氣管或接頭是否漏氣檢查進入尾氣壓力控制器的氮氣調(diào)節(jié)閥是否調(diào)大3各氣路流量異常檢查氣路閥的氣路氣管或接頭是否漏氣檢查氣路閥氣是否損壞檢查氣路流量計是否工作正常4部分制程中Paddle TC溫度偏高或偏低檢查隨溫度升高，加熱區(qū)的輸入功率是否正常，如果有波動，可讓工藝做profiling檢

6、查Spike TC是否與爐管接觸良好5全制程中Paddle TC溫度較高或顯示1499度檢查Paddle TC接頭是否接觸不良檢查paddle TC是否損壞6DMC通迅錯誤檢查CPU模塊錯誤指示燈是亮起在手動情況下確認各個電機和Sense是否正常檢查各個電機到DMC的電纜是否損壞7在制程中卡槳檢查電機是否損壞檢查傳動部分是否工作正常(絲桿和軸承)檢查電機到DMC的電纜是否接觸不良或斷裂8爐管無法升溫檢查溫度控制器是否警報9R2D機械手在自動或Home中不移動檢查控制Y軸的保險絲是否燒斷10R2D機械手在自動無法從槳上取舟檢查工藝制程是否完成在R2D屏幕中檢查輸入輸出通迅是否正常檢查R2D機械手的觸點開關(guān)是否工作正常檢查Shuttle上的觸點開關(guān)是否工