TRACK安裝調(diào)試培訓(xùn)

1、TRACK安裝調(diào)試培訓(xùn)資料張先鋒2014.08.06創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越培訓(xùn)內(nèi)容：一、CLEANER安裝調(diào)試二、SB/HB/DB安裝調(diào)試三、DEVELOPER安裝調(diào)試創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越TRACK線平面圖：流片方向流片方向流片方向創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 所有設(shè)備SET UP完成之后，我們開始進入TRACK線，各個單元并不是按照流片的先后順序來調(diào)試的，很多時候是幾個單元同時作業(yè)，而為了培訓(xùn)的方便，我們還是按照流片的順序依次講解各個單元。從整條TRACK

2、線來說，分為INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11個單元，我們需要調(diào)試的是其中的5個單元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。 本次調(diào)試的設(shè)備是B5 TRACK 9號線，名稱：SK-2200G，編號：750G25076A 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 CLEANER單元包括：入口CV、過渡CV、UV前CV、UV（UV屬于其他廠商調(diào)試）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 確認所有供給閥門處于關(guān)閉狀態(tài)； 確認所有控制柜處于OFF狀

3、態(tài)，開始投入電源（與DNS及客戶）； 蓋板類、AAJET、追加roller等拆除。 將入口CV和出口CV的整列關(guān)閉，中間各個UNIT Guide roller調(diào)到最外側(cè)。1、CLEANER調(diào)試前準備2、川幅調(diào)整（初調(diào)）一、CLEANER安裝調(diào)整1231創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 調(diào)整入口CV操作側(cè)第一個Guide roller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為50mm，調(diào)整出口CV操作側(cè)最后一個Guide roller，使其到側(cè)板內(nèi)側(cè)距離為20mm，（這兩個距離為經(jīng)驗值，視實際情況而定），用這兩個Guideroller拉線作為基準線，再調(diào)整操作側(cè)所有Guide roller，操作

4、側(cè)Guide roller與基準線距離為0mm。反操作側(cè)的基準線做法與操作側(cè)相同，反操作側(cè)Guide roller與基準線距離分為兩種：a、整列roller與基準線距離為0.5mm；b、 單個Guide roller基準線距離為2mm。所用基板為2500mm*2200mm*0.5mm 此時的川幅調(diào)整是初調(diào)，目的是傳片，為DB、LC、SB、INTERFACE注意2創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越以及HB robot Teaching做準備。最終的川幅調(diào)整以COATER基臺為基準。 LC robot Teaching完成后（Teaching基準為COATER基臺），用robot

5、將基板放入出口CV中，以此基板的兩側(cè)邊為基準，首先調(diào)好兩側(cè)整列roller，再由兩側(cè)整列roller為基準拉線，最后調(diào)整CLEANER所有Guide roller。具體調(diào)整做法與川幅調(diào)整（初調(diào)）的相同。 再將Guide roller頂部到基板上表面的距離調(diào)整至4mm。3、川幅調(diào)整（終調(diào)）創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越出口CV終調(diào)川幅調(diào)整基準線創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 用隨機攜帶的扳手將CLEANER所有搬送roller擰緊。 4、搬送ROLLER擰緊確認創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 在Sensor旁邊的搬送roller上

6、放置一塊厚度為2mm的PVC板，放一直尺于板上，掃動直尺， 調(diào)整Sensor固定螺絲直到直尺稍微低于Sensor后鎖緊螺絲。 Sensor的高度允許誤差為（0，+0.5）， Sensor敏感度為小于05時ON狀態(tài)， 510時OFF狀態(tài)。 5、搖擺SENSOR調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 將操作側(cè)及反操作側(cè)所有固定螺釘擰緊。 CLEANER除了入口CV與出口CV有立替部，其他unit都處于傾斜狀態(tài)，整體平面度需要調(diào)整。a、粗調(diào)，將兩塊基板分別放入貼合的兩個unit中，觀察兩塊基板的高度差，然后調(diào)節(jié)unit四個角的雙頭螺栓，使得兩基板趨于同一平面；b、細調(diào)，將一塊基板置

7、于兩個unit交界處，調(diào)節(jié)C-roller，方法同A/K調(diào)整中的C-roller調(diào)整。 6、側(cè)板固定螺釘擰緊7、上下流平面度調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 用張力計依次將同步帶的張力調(diào)整到標準值（標準值參照各部分標準張力表），具體做法：首先用張力計測量同步帶當前張力，再與標準值比較，最后用扳手調(diào)節(jié)漲緊輪的松緊狀態(tài)，使得同步帶的張力在標準范圍內(nèi)。 8、同步帶張力調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 將先前拆下來的追加roller重新安裝上，然后用0.2mm的塞尺測量上下搬送roller間的距離，允許誤差為 0.1mm。 在搬送roller旋轉(zhuǎn)過程中，

8、目測滾軸與中心固定架圓孔的同軸情況，如有偏離，調(diào)節(jié)固定架高度。 確認ManualSW動作是否正常； 確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音； 調(diào)整整列氣缸開閉速度，開閉時間相同：2.00.3s；9、追加ROLLER安裝與調(diào)整10、搬送ROLLER中心變化確認11、入口CV調(diào)整213創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同： 5.00.3s； 確認基板缺口Sensor高度：5.01.0mm。 確認基板檢查Sensor高度：10.01.0mm。 確認ManualSW動作是否正常； 確認基板檢查Sensor高度：10.01.0mm。 確認Manual

9、SW動作是否正常； 確認基板檢查Sensor高度：10.01.0mm。 12、過渡CV調(diào)整13、UV前CV調(diào)整6542112創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 UV屬于其他廠商調(diào)試，我們只需要調(diào)整Guide roller即可。 共四個RB，分為前后兩組，GOT面板上標記為：前上、前下、后上及后下（根據(jù)B5的工藝要求，前上RB及后上RB不需要安裝）。 首先安裝前下RB和后下RB。 前下RB原點復(fù)位：用直尺測量操作側(cè)和反操作側(cè)的前下RB到基板的距離，在GOT面板上調(diào)整RB的升降，直到所測距離為2mm，允許誤差控制在0.5mm內(nèi)。 14、UV調(diào)整15、RB安裝與TEACHING12

10、創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越前下RB安裝RB電機Sensor創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越RB Teaching GOT面板創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越RB Teaching GOT操作創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 后下RB原點復(fù)位方法同前下RB。 調(diào)整四個RB電機Sensor。每個RB電機操作側(cè)與反操作側(cè)分別有3個Sensor，最外側(cè)為原點復(fù)位Sensor ，中間為退避Sensor，最內(nèi)側(cè)為壓入Sensor。a、原點復(fù)位Sensor 擋片為帶圓孔的長方形薄片，調(diào)整時將圓孔對準Sensor中間，Sen

11、sor指示燈處于常亮狀態(tài)；b、退避Sensor擋片為長方形，調(diào)整擋片使其到Sensor中間距離為8mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)；c、壓入Sensor擋片為“C”形，調(diào)整擋片使其下側(cè)到Sensor中間距離為4 3創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越4mm，允許誤差控制在0.3mm內(nèi)，Sensor指示燈處于常亮狀態(tài)。 將所有Cover裝上； 檢查各閥門，將進液閥門打開，排液閥門關(guān)閉； 投入純水，檢查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。調(diào)整直接水洗Tank Sensor位置，RB側(cè)下限：370mm處(46L)， RB側(cè)定量：135mm處(1

12、12L)， RB側(cè)過多：118mm處(115L)；循環(huán)側(cè)下限：370mm處(46L)，循環(huán)側(cè)定量：110mm處(120L)，循環(huán)側(cè)瀑布：90mm處(126L)。 Tank中裝水放置8h以上，檢查有無漏水。 16、純水投入4321創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越純水投入Tank及管路檢查創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 安裝風(fēng)切，調(diào)整風(fēng)切，用直尺測量其到基板的距離為10.01.0mm。 安裝中間部液切，上、下液刀到基板上下表面的距離相同：10.01.0mm。 安裝出口液切，用直尺測量其到基板的距離10.01.0mm。 安裝二流體，用直尺測量其到基板上表面的

13、距離為5.00.5mm。 17、風(fēng)切、液切及二流體安裝與調(diào)整1432創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 先將filter頂部排氣管拆下，使用專用扳手將上蓋打開，裝入濾芯后將拆除件重新安裝，鎖緊。 18、FILTER濾芯安裝創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 將所有Nozzle接管取下，供給閥門打開； 所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle。 打開各個Filter回流閥門，將空氣排盡后關(guān)閉閥門； 檢查常壓泵和高壓泵的旋向是否與泵體標示一致；（4）在GOT面板上查看各部分流量顯示，調(diào)整手動閥門，使得GOT面板顯示的流

14、量達到標準值。a、RB rinse的所有Nozzle壓力0.1MPa； 注意19、流量調(diào)整1324創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越手動閥門調(diào)整流量顯示創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越GOT面板各部分當前流量顯示創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越b、兩端液切流量69L/min；c、二流體氣體流量3208L/min；d、二流體高壓液體壓力55MPa。（二流體高壓液體壓力的調(diào)整需要同時調(diào)節(jié)兩個手動閥：一個是回流到Tank中的BYPASS，另一個是通向二流體的高壓水管上的閥門） 將A/K安裝處開口部上、下不銹鋼擋板分別調(diào)至最上端和最下端，目的是

15、將開口部間距調(diào)至最大； 首先將上、下風(fēng)刀的調(diào)整塊安裝好，再將上、下風(fēng)刀裝上，鎖緊 20、A/K安裝與調(diào)整21創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越螺絲； 從操作側(cè)到反操作側(cè)均勻測量5個點的上下風(fēng)刀間距，調(diào)節(jié)調(diào)整塊，使得上下風(fēng)刀間距為3.9mm4.15mm，其中中間一點為3.9mm，其他為4.0mm 4.15mm。 用兩個直尺測量上下風(fēng)刀折線處到開口部直板的間距（測量5個點：兩側(cè)兩個點，中間三個調(diào)整塊三個點），比較數(shù)據(jù)分析上下風(fēng)刀錯位情況，對比兩側(cè)兩個點的數(shù)據(jù)，選取合適的基準值，最后將五個點的間距都調(diào)整成基準值； 先用整張基板調(diào)整最兩側(cè)的兩個C-roller，使基板上表面到風(fēng)刀下表

16、面距離為1.7mm，如果通過調(diào)整這兩個C-roller無法達到1.7mm，則需4 35 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越要將上下風(fēng)刀整體升降； 剩余C-roller的調(diào)整，從反操作側(cè)第二個C-roller開始調(diào)整，一個接一個交錯調(diào)整； 若其中一個C-roller調(diào)整完畢后，發(fā)現(xiàn)臨近的搬送roller偏高或偏低，還需要調(diào)整輥軸支架。 將整張基板中心置于開口部，測量基板上表面到開口部頂端的距離（均勻分布的三個點），測量基板下表面到開口部底端的距離（均勻分布的三個點），測量基板兩側(cè)面到開口部兩側(cè)面的距離，總共測量8個點。21、所有開口部尺寸確認76創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)

17、營 追求卓越追求卓越上下風(fēng)刀錯位測量C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越輥軸支架調(diào)整C-roller調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 在GOT面板上打開閥門； 打開A/K手動閥，流量調(diào)至2500L/min； 打開排氣閥門，流量調(diào)至120L/min. 打開控制箱中的FFU開關(guān)； 確認FFU風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)方向與標記方向是否一致。 從入口CV開始依次用轉(zhuǎn)速計測量各unit搬送roller的轉(zhuǎn)速，對照22、A/K流量調(diào)整23、FFU確認2 1 3 2 1 24、CLEANER各UNIT轉(zhuǎn)速調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越標準

18、轉(zhuǎn)速表，在GOT面板上調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速比，直到搬送roller達到標準值。 安裝電離器； 調(diào)整電離器到基板上表面的距離：1005mm； 調(diào)整凈化空氣壓力：0.2MPa。 確認ManualSW動作是否正常； 確認基板檢查Sensor高度：10.01.0mm。26、NEUTRAL CV調(diào)整25、電離器安裝與調(diào)整3 2 1 2 1 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越Cleaner搬送roller轉(zhuǎn)速調(diào)整GOT操作創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 確認ManualSW動作是否正常； 確認整列氣缸動作是否流暢，有無異常聲音； 調(diào)整整列氣缸開閉速度，流向方向和幅度方向的開閉時

19、間相同：2.00.3s； 調(diào)整減速Sensor與停止Sensor的距離：120mm； 調(diào)整停止緩沖塊的位置：基板在到達停止Sensor后停止，將緩沖塊輕輕接觸到基板，輕微抬起基板，基板與緩沖塊沒有碰刮。 調(diào)整立替部氣缸升降速度，升降時間相同：5.00.3s； 確認基板檢查Sensor（柱狀）到基板兩側(cè)邊緣距離：5.01.0mm，到 3 2 4 5 6 7 1 27、出口CV調(diào)整創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越基板下表面的高度：10.01.0mm。 在調(diào)試過程中，設(shè)備不可避免地會發(fā)生警報，當警報發(fā)生時，首先在GOT面板上查看警報的位置及詳細信息，然后到對應(yīng)的位置進行排查和確認

20、。28、警報的確認與解除創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 SB單元包括：ROBOT、HP、CP、入口CV以及BUFFER； HB單元包括：ROBOT、 HP、BUFFER、IMC、TURN TABLE以及出口CV； DB單元包括：HAP、CP、BUFFER以及ROBOT。 SB、HB以及DB功能大致相同，HP、CP 、ROBOT等都是相同的設(shè)備，HP與HAP也只是細微差別，所以這三個單元調(diào)試過程也大致相似，這里主要講解SB單元的調(diào)試，而對于HB單元和DB單元，只對與SB單元不同的部分進行講解。二、 SB/HB/DB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越

21、1、ROBOT手臂安裝 用T5扳手將上下hand安裝到robot本體上，注意區(qū)分上下hand，連接氣管時防止折彎。 為了節(jié)省ABS原點復(fù)位的時間，首先需要操作手柄將robot各部分移動到原點附近(包括Z軸、TH角等），然后再進行原點復(fù)位，原點復(fù)位完成以后，關(guān)閉伺服電源后再重啟以完成數(shù)據(jù)保存。2、ABS原點復(fù)位（一）SB安裝調(diào)試創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越3、HAND LEVELING 將上hand（下hand）推進CP3中（CP3高度適中，便于測量），用直尺和L形尺測量4根Folk的8個點到CP3底板距離，如圖所示，記錄數(shù)據(jù)，參照評判標準，如果超出標準，在folk根部添

22、減sim（sim按厚度分為：0.05mm、0.1mm、0.2mm及0.3mm），使得測量數(shù)據(jù)符合要求。 前方部調(diào)整/測定後方部調(diào)整/測定創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越評判基準：上手臂 1.0mm 下手臂 1.0mm -=A（50.5mm）-=B（50.5mm） -=C（50.5mm）-=（50.5mm）Folk到CP3底板距離測量創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越4、直徑度調(diào)整 推動arm用L形尺測量如圖a、b位置的尺寸，松開hand固定螺絲，調(diào)整hand位置，使得a-b=0.5mm，鎖緊固定螺絲。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越5、

23、FOLK與手掌垂直度調(diào)整 推動arm用卷尺測量靠近Z軸的folk前后兩端到Z2軸的距離，松開folk固定螺絲，調(diào)整folk使得前后距離相等，鎖緊螺絲。abZ軸Z軸創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越6、FOLK間距調(diào)整 用卷尺測量folk之間的距離，松開第2、3、4根folk固定螺絲，依次調(diào)整這三根folk，如圖所示，使得他們之間的距離達到標準值后鎖緊螺絲。標準：a=5350.5mm，b=5800.5mm，Total=16501mm。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越7、ROBOT位置DATA設(shè)定 參照data設(shè)定表上的各POS參數(shù)，在robot操作手柄上一一

24、設(shè)定。8、ROBOT HAND基板檢測SENSOR感應(yīng)度調(diào)整 任意取一小塊玻璃基板，依次放置在folk 5個sensor上方，觀察hand后側(cè)方sensor顯示器的數(shù)值（無基板時數(shù)值為0，有基板時數(shù)值為1000左右），確定中間值500為sensor感知基板的標準值。將500輸入sensor顯示器中。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越hand后側(cè)方sensor顯示器創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越9、ROBOT控制柜通信設(shè)定 設(shè)定按鈕是位于控制柜后側(cè)的三個紅色圓柱形按鈕，按鈕上方對應(yīng)有標示，需要將Baud Rate按鈕調(diào)為1，Station 10按鈕調(diào)為6，

25、No.按鈕調(diào)為1。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越10、HP頂部出口CV TEACHING 上hand Teaching。先用robot將整張基板放入HP上方的出口CV中，以靠近操作側(cè)和反操作側(cè)的兩排搬送roller為基準，輕輕拖動基板，使得基板兩側(cè)分別到上述兩排搬送roller的距離相等。 將上hand伸進基板下方，處于MID位置，拖動基板使其置于folk前后擋塊之間（在后續(xù)的調(diào)整中，將前后擋塊調(diào)至離基板邊緣2mm處），用油性筆在基板上離邊緣274mm處畫直線，且盡量靠近第一和第四根folk前后4個PIN，測量這四個PIN到所畫直線的距離，估算robot需要旋轉(zhuǎn)的TH角度

26、（一般經(jīng)驗：1/0.016=TH），上hand lower home，操作手柄旋轉(zhuǎn)指定角度，1 2 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越再將上hand伸進基板下方，處于MID位置，同樣方法繼續(xù)測量，反復(fù)調(diào)整，直到PIN處于所畫直線的0.5mm范圍內(nèi)。離邊緣274mm處畫線創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 調(diào)整高度Z。分別測量上hand在TOP位置和BTM位置相應(yīng)的高度，測量位置如圖所示，比較所測高度與基準值，在操作手柄上更改Z值，直到所測高3 上hand TOP位置測量點上hand BTM位置測量點創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 度在允

27、許范圍內(nèi)，并記下數(shù)據(jù)。 調(diào)整前后擋塊，使其到基板邊緣的距離為2mm。 如果單靠調(diào)整前后擋塊，達不到要求的位置，則需測量前后擋塊到基板邊緣的距離，計算差值，在操作手柄上將X1值加減差值的一半。 4 注意11、HP頂部CV整列調(diào)整 以前面Teaching基板為基準，首先調(diào)好兩側(cè)整列roller，手動轉(zhuǎn)動輥軸推動基板后退，調(diào)整沿途的Guide roller，一直調(diào)節(jié)到DP頂部CV，再將Guide roller頂部到基板上表面的距離調(diào)整至4mm。具體方法見第一章第3項，各CV上下流平面度調(diào)整見第一章第7項。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越12、CP3 TEACHING CP1、CP

28、2 Teaching與CP3完全相同，所以這里只介紹CP3 Teaching。 用上hand將buffer上的基板取出（先前預(yù)存在buffer中），測量第一和四根folk到基板邊緣距離274mm，在基板上用“”標記第一和四根folk前后各兩個PIN的位置，目的是防止在Teaching過程中由于基板的移動而造成重復(fù)標記。1 2 手柄操作：check motion界面，motion下拉菜單選擇put(放片put，取片get)，station輸入12，slot默認為1，選擇check start，按住Enter。 抽出CP3 chamber，測量基板邊緣到chamber四個拐角處PIN的x、y方向的

29、距離，分析計算所測數(shù)據(jù)，相應(yīng)調(diào)整TH、X1，直到四個PIN到基板邊緣的3 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越CP3 Teachingx方向距離一致，y方向距離一致。保存。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越CP3 Teaching手柄畫面創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 調(diào)整高度Z。分別測量上hand在TOP位置和BTM位置相應(yīng)的高度，測量位置如圖所示，比較所測高度與基準值，在操作手柄上更改Z值，直到所測高度在允許范圍內(nèi)，并記下數(shù)據(jù)。4 上hand TOP位置測量點上hand BTM位置測量點創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求

30、卓越13、HP4 TEACHING HP4 Teaching與CP3 Teaching大致相同，唯一不同的是基準值。HP1、HP2、HP3 Teaching與HP4相同，這里不做重復(fù)介紹。上hand TOP位置測量點創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越14、BF1、BF14 TEACHING Buffer共14層，slot設(shè)置時注意區(qū)分114； Teaching步驟同CP3，首先Teaching slot1，然后Teaching slot14；slot2slot13不需要Teaching，只要將基板放進去確認間隙即可。 Teaching slot14時，只用調(diào)整Z值。1 2 上

31、hand BTM位置測量點注意創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越15、HP LIFTPIN調(diào)整 Manual動作確認； Heater端子增緊； Liftpin調(diào)整；HP共有四層，Liftpin調(diào)整時逐一打開chamber，一人在chamber腔內(nèi)用L形尺（此時PIN處于上位置，在下位置時則用游標卡尺）測量PIN高度，另一人在chamber下方調(diào)整PIN固定螺絲的松緊。PIN分為上位置和下位置，PIN由外圈到內(nèi)圈的標準高度也不一樣。 a：上位置82.50.5mm、下位置-2.50.5mmmmb：上位置800.5mm、下位置-2.50.5mmmm c：上位置77.50.5mm、下

32、位置-2.50.5mmmm1 2 3 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越4 上over run sensor在PIN的上位置增加7mm； 下over run sensor在PIN的下位置增加7mm； 上機械stopper與上over run sensor位置增加3mm； 下機械stopper與下over run sensor位置減少3mm；創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越HP Liftpin高度分布圖HP3 Liftpin上位置高度測量創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越16、HP3 CHAMBER調(diào)整 chamber拉出sensor位置調(diào)

33、整。 chamber蓋板上下動作速度調(diào)整。chamber蓋板上下動作是由氣缸控制，總共8個氣缸，用秒表測量上升和下降的時間，調(diào)節(jié)氣缸手柄來縮短或延長氣缸伸縮的時間，上升和下降的標準時間相同：20.3s。 chamber蓋板上下位置sensor調(diào)整。 chamber蓋板抽出sensor位置調(diào)整。 確認chamber蓋板在動作時的平穩(wěn)度，有無異常聲音。 確認chamber間隙，一般目測。 HP1、HP2、HP4 chamber調(diào)整方法與HP3相同。 1 2 5 4 3 6 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越chamber蓋板上下動作感應(yīng)sensorchamber 拉出感應(yīng)Sens

34、or創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越17、HP3 SHUTTER調(diào)整 shutter氣缸固定螺絲擰緊。 shutter密封圈增緊確認。 shutter開關(guān)sensor調(diào)整，將sensor放置在常亮范圍的中間位置。 shutter開關(guān)速度調(diào)整。 shutter開關(guān)是由氣缸控制，用秒表測量開啟和關(guān)閉的時間，調(diào)節(jié)氣缸手柄來縮短或延長氣缸伸縮的時間，開啟和關(guān)閉的標準時間相同：20.3s。 確認shutter在動作時的平穩(wěn)度，有無異常聲音。 確認shutter關(guān)閉時的間隙，一般目測。 HP1、HP2、HP4 shutter調(diào)整方法與HP3相同。 1 2 3 4 5 6 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進

35、取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越18、HP排氣調(diào)整 每一個chamber都有主排和BYPASS。當shutter關(guān)閉時，向chamber里吹熱風(fēng)，BYPASS開啟，主排關(guān)閉；當shutter打開后， BYPASS關(guān)閉，主排打開。調(diào)整時，參照標準參數(shù)表，調(diào)整BYPASS和主排的閥門大小。19、HP CHAMBER溫度設(shè)定 Plate溫度設(shè)定為110，熱風(fēng)溫度設(shè)定為130。 將HP1HP4的breaker依次打開，確認與GOT畫面是否一致。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越20、CP LIFTPIN調(diào)整 CP Liftpin調(diào)整方法與HP相同；區(qū)別：CP共有三層，PIN的標

36、準高度也不同。 a：上位置840.5mm、下位置-2.00.5mmmmb：上位置81.50.5mm、下位置-4.50.5mmmm c：上位置790.5mm、下位置-4.50.5mmmm創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越CP Liftpin高度分布圖創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越21、CP冷卻水投入 檢查各個chamber進出水管是否接錯，檢查所有接頭有無漏水，檢查進水和出水是否正常，檢查漏液sensor是否正常。 冷卻水溫度設(shè)定為22.4。1 2 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越（二）DB安裝調(diào)試 DB單元與SB單元基本相同，這里只介

37、紹與SB單元不同的地方： HAP chamber溫度設(shè)定， Plate溫度設(shè)定為120 3。 基板在HAP chamber中進行涂膠前的預(yù)處理：氮氣泵將HMDS打進chamber中，HMDS呈霧狀噴到基板上，這樣有利于涂膠。 1 2 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越（三）HB安裝調(diào)試 HB單元的HP與SB單元的相同，這里主要關(guān)注HB單元的IMC及Turn Table: IMC PIN調(diào)整，標準高度為90mm； 基板感知sensor調(diào)整：基板下表面到sensor距離為10mm； 1 2 1、IMC調(diào)整2、TURN TABLE調(diào)整 Turn Table PIN調(diào)整，標準高度為8

38、5mm； 回轉(zhuǎn)sensor位置調(diào)整：0和90位置sensor調(diào)節(jié)在感知范圍的中間位置。1 2 創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越 Turn Table升降速度調(diào)整。上升速度為4.00.5s，下降速度為4.00.5s。 Turn Table升降sensor位置調(diào)整：將上升和下降sensor調(diào)節(jié)在感知范圍的中間位置。 3 4 3、HB ROBOT TEACHING基準 ROBOT Teaching基準為DEV出口CV。創(chuàng)新進取創(chuàng)新進取 正道經(jīng)營正道經(jīng)營 追求卓越追求卓越三、DEVELOPER安裝調(diào)整 Developer單元與Cleaner單元設(shè)備與調(diào)試方法基本相同，下面只列出與Cleaner單元不同的地方。 2、顯影槽中