UF200RProber基本操作(operator)

1、UF200R Prober基本操作（operator）一、Prober操作流程1.上料在開機(jī)初始化之后，點擊屏幕左下方的LOADER SW，點擊TRAY LOCK/UNLK開鎖，打開LOADER部分保護(hù)蓋，放置CASSETTE，要注意CASSETTE內(nèi)WAFER槽位放置正確，放置CASSETTE時將CASSETTE底部橫條對準(zhǔn)LOADER上橫槽，壓下兩個白塊，CASSETTE左右位置參照藍(lán)色框，前后方向固定即可，將LOADER保護(hù)蓋蓋好，點擊TRAY LOCK/UNLK閉鎖2.調(diào)用DEVICE點擊DEVICE PARAMETER CHANGE，在左下方點擊DEVICE LIST REFEREN

2、CE，選擇需要的DEVICE，點擊DEVICE DATA READ，SETTING END，在主界面中會顯示DEVICE的主要參數(shù)，請核對后再進(jìn)行下一步3.輸入LOT號點擊LOT SETTINGS，可以選擇使用鍵盤輸入或者使用Barcode scanner掃描，輸入完成后點擊LOT SETTING END4.設(shè)定OPERATION SETTINGS點擊OPERATION SETTINGS，確認(rèn)上下料位置，在每個CASSETTE第一片WAFER測試時一般將STOP BEFOR PROBING設(shè)為STOP，第一片測完后改為CONTINUE5.LOAD WAFER點擊LOADER SW，點擊NEW

3、CST，點擊屏幕下方START等待LOAD WAFER6.對針將MARK CROSS對準(zhǔn)針尖位置，然后點擊DATA IN，如果看不清針尖可以點擊右上方切換光源按鈕LIGHTING CHANGE7.設(shè)定起始DIE的位置將移動模式改為INDEX，將十字線移至WAFER左上角第一個DIE內(nèi)，注意鏡像移動，即點擊方向和移動方向相反，完成后點擊DATA IN8.對針痕首先要記錄PROBING OVERDRIVE值，然后點擊OVERDRIVE CHANGE將OD值設(shè)為0um，點擊Z UP，將CARD RELATIVE Z HEIGHT由-200um提升至0um，點擊Z DOWN，將記錄的OD值重新輸入，點

4、擊Z UP，然后Z DOWN，點擊IMAGE DISPLAY CHANGE觀察針痕是否正常，確認(rèn)后點擊DATA IN！注意：只能在Z DOWN狀態(tài)下點擊IMAGE DISPLAY CHANGE，否則會劃傷WAFER和損壞針卡！9.點擊START開始測試二、調(diào)整打點位置測試完后會自動進(jìn)入打點界面，點擊IMAGE DISPLAY CHANGE觀察打點位置，點擊MARKER RE-ADJUST調(diào)整打點位置，將十字線移至合適位置后點擊DATA IN即可，點擊RETRY進(jìn)行重復(fù)打點三、更換打點器油墨點擊主界面下方的CARD CHANGE，點擊CARD CHANGE START，開啟MAINBODY上蓋，取下打點器，更換油墨后安裝打