玻璃減薄技術(shù)

1、LOGO玻璃減薄玻璃減薄 技術(shù)技術(shù)材科112賀文杰201101524215v浮法減薄技術(shù)浮法減薄技術(shù)vTFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及面板玻璃減薄工藝流程及不良簡(jiǎn)介不良簡(jiǎn)介2浮法減薄技術(shù)浮法減薄技術(shù)3浮法玻璃成型的定義1浮法玻璃成型原理2玻璃液的拉薄3影響成型質(zhì)量的因素4浮法玻璃成型的定義浮法玻璃成型的定義 v浮法玻璃成型的定義浮法玻璃成型的定義 浮法玻璃成型工藝過(guò)程為熔化、澄清、冷卻的優(yōu)浮法玻璃成型工藝過(guò)程為熔化、澄清、冷卻的優(yōu)質(zhì)玻璃液在調(diào)節(jié)閘板的控制下經(jīng)流道平穩(wěn)連續(xù)地質(zhì)玻璃液在調(diào)節(jié)閘板的控制下經(jīng)流道平穩(wěn)連續(xù)地流入錫槽，在錫槽中漂浮在熔融錫液表面，在自流入錫槽，在錫槽中漂浮在熔融錫液表面

2、，在自身重力的作用下攤平、在表面張力作用下拋光、身重力的作用下攤平、在表面張力作用下拋光、在主傳動(dòng)拉引力作用下向前漂浮，通過(guò)擋邊輪控在主傳動(dòng)拉引力作用下向前漂浮，通過(guò)擋邊輪控制玻璃帶的中心偏移，在拉邊機(jī)的作用下實(shí)現(xiàn)玻制玻璃帶的中心偏移，在拉邊機(jī)的作用下實(shí)現(xiàn)玻璃帶的展薄或積厚并冷卻、固型等過(guò)程，成為優(yōu)璃帶的展薄或積厚并冷卻、固型等過(guò)程，成為優(yōu)于磨光玻璃的高質(zhì)量的平板玻璃。于磨光玻璃的高質(zhì)量的平板玻璃。4浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理v浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型過(guò)程原理主要是描述玻璃液在錫浮法玻璃的成型過(guò)程原理主要是描述玻璃液在錫液面上的攤開過(guò)程、平衡厚度、拋光時(shí)間、玻璃液

3、面上的攤開過(guò)程、平衡厚度、拋光時(shí)間、玻璃液的拉薄或增厚。液的拉薄或增厚。5玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄v玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面張力平衡時(shí)，在錫液面上浮玻璃液在重力和表面張力平衡時(shí)，在錫液面上形成自然厚度約形成自然厚度約7mm 的玻璃帶。拉引厚度小于的玻璃帶。拉引厚度小于自然厚度的玻璃時(shí)，必須對(duì)玻璃帶施加一定的拉自然厚度的玻璃時(shí)，必須對(duì)玻璃帶施加一定的拉力。但是當(dāng)增加拉引速度時(shí)，隨著拉引力的增加力。但是當(dāng)增加拉引速度時(shí)，隨著拉引力的增加，玻璃寬度和厚度就成比例地減小，因?yàn)樵诓Ａ?，玻璃寬度和厚度就成比例地減小，因?yàn)樵诓ＡП焕〉耐瑫r(shí)，表面張力的作用使得玻璃帶增帶被拉薄的同時(shí)，

4、表面張力的作用使得玻璃帶增厚或使帶寬有所收縮，因此要使拉薄過(guò)程有效地厚或使帶寬有所收縮，因此要使拉薄過(guò)程有效地、順利地進(jìn)行，必須選擇適宜的溫度范圍、采用、順利地進(jìn)行，必須選擇適宜的溫度范圍、采用合理的工藝參數(shù)和拉薄措合理的工藝參數(shù)和拉薄措6玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 施。實(shí)踐證明，溫度范圍施。實(shí)踐證明，溫度范圍883769，有利于，有利于玻璃帶的拉薄，同時(shí)，玻璃帶在拉薄區(qū)內(nèi)獲得了玻璃帶的拉薄，同時(shí)，玻璃帶在拉薄區(qū)內(nèi)獲得了展薄。為了得到并維持玻璃帶在拉薄區(qū)內(nèi)所獲得展薄。為了得到并維持玻璃帶在拉薄區(qū)內(nèi)所獲得的寬度，在拉薄區(qū)玻璃帶的兩邊，可根據(jù)工藝要的寬度，在拉薄區(qū)玻璃帶的兩邊，可根據(jù)工藝要求安置若干

5、個(gè)拉邊機(jī)。求安置若干個(gè)拉邊機(jī)。7影響成型質(zhì)量的因素影響成型質(zhì)量的因素 v影響成型質(zhì)量的因素影響成型質(zhì)量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出現(xiàn)問題均會(huì)造成玻璃質(zhì)量的下降，嚴(yán)重者可導(dǎo)致現(xiàn)問題均會(huì)造成玻璃質(zhì)量的下降，嚴(yán)重者可導(dǎo)致停產(chǎn)，其中影響成型質(zhì)量的因素主要包括停產(chǎn)，其中影響成型質(zhì)量的因素主要包括 錫槽溫錫槽溫度制度、氣氛制度、壓力制度等項(xiàng)。度制度、氣氛制度、壓力制度等項(xiàng)。8TFT-LCD面板面板 玻璃減薄玻璃減薄減薄的作用1減薄工藝簡(jiǎn)介2常見的減薄不良39減薄的作用減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性10減薄工藝簡(jiǎn)介減

6、薄工藝簡(jiǎn)介用酸堿對(duì)Glass進(jìn)行刻蝕，從而達(dá)到減薄的目的。防止酸堿溶液從邊緣處進(jìn)入液晶盒內(nèi)，破壞封框膠，進(jìn)入Cell內(nèi)部，影響產(chǎn)品性能。獲得光亮、平整的表面。封膠減薄研磨11封膠封膠 封膠工藝封膠工藝防止強(qiáng)酸破壞防止強(qiáng)酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部?jī)?nèi)部1. 加蓋遮光墊 2.涂膠 3.擦膠 4. UV固化固化UV膠膠破壞破壞TFT結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)一般在這之前還會(huì)進(jìn)行檢查。涂膠后靜置1min。清除多的UV膠。UV固化后檢查12封膠封膠UV固化UV燈GLS邊框膠涂膠后檢查涂膠加蓋遮光墊13原理及方式單片直立噴灑單片直立噴灑瀑布流瀑布流多片直立浸泡多片直立浸泡原理原理1234減薄原理及

7、方式減薄原理及方式6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O液體+固體（玻璃）-液體14單片直立噴灑單片直立噴灑瀑布流瀑布流多片直立浸泡多片直立浸泡優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：1.可以同時(shí)間處理多片玻璃。缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：1.裝置大型。2.外圍產(chǎn)生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：1.可以滿足兩面不同蝕刻要求。多片多片缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：1.蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)： 1.表面最光滑，甚至可以不用拋光三種方式優(yōu)缺點(diǎn)三種方式優(yōu)缺點(diǎn)15Text in here蝕刻蝕刻清洗清洗清洗清洗減薄流程減薄流程Slimming1617減薄設(shè)備減薄設(shè)備其余組件：供酸裝置HF酸濃度計(jì)溫度控制器洗氣裝置Loader單元單

8、元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元18減薄工藝參數(shù)減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系圖1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系19減薄工藝參數(shù)減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系20減薄工藝參數(shù)減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之間的關(guān)系說(shuō)明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因?yàn)橐詺滏I形式存在的HF鍵比HF分子中的HF鍵更脆弱，與SiO2反應(yīng)時(shí)更容易斷裂。21減薄清洗單元（后）減薄清洗單元（后）DI浸泡堿浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5

9、-10% NaOHb. 45鼓泡C. 10mina. 3% HClb. 或常溫C. 1mina. DI水b. 常溫C. 5mina. DI水b. 常溫C. 5min清洗清洗外觀檢查Polishing外觀檢查RejectItemItem自動(dòng)研磨自動(dòng)研磨手動(dòng)研磨手動(dòng)研磨PicturePicture適應(yīng)產(chǎn)品適應(yīng)產(chǎn)品無(wú)破損產(chǎn)品無(wú)破損產(chǎn)品所有產(chǎn)品所有產(chǎn)品可修復(fù)不良可修復(fù)不良不良率高發(fā)，嚴(yán)重不良不良率高發(fā)，嚴(yán)重不良不良率較低的輕微不良不良率較低的輕微不良CAPACAPAQ-panelQ-panel拋光，效率高拋光，效率高針對(duì)單點(diǎn)不良修復(fù)，效率低針對(duì)單點(diǎn)不良修復(fù)，效率低研磨研磨2223減薄工藝自身不良1.不

10、可擦拭臟污2.薄化不勻薄化不勻24減薄工藝自身不良減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1. 除膠未干凈，有殘留除膠未干凈，有殘留2. PT等未清洗干凈等未清洗干凈1.設(shè)備故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式）3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式） 玻璃被蝕刻玻璃被蝕刻時(shí)局部蝕刻不一時(shí)局部蝕刻不一致致工藝設(shè)備工藝設(shè)備玻璃表面玻璃表面玻璃本身玻璃本身25Slimming后劃傷后劃傷Slimming前發(fā)生輕微ScratchSlimming后Scratch程度加重Human eye invisibleSlimming26Slimming后劃傷后劃傷1. LiftPin凹點(diǎn)27Slimming后劃傷后劃傷2.Robot吸盤凹點(diǎn)28Slimming后劃傷后劃傷3.輪印29造成造成B-ITO不良不良現(xiàn)象：ADS產(chǎn)品做完B-ITO后，產(chǎn)品與BOX接觸的位置ITO被嚴(yán)重腐蝕，類似產(chǎn)品表面水干燥后殘留的印記。原因：BOX在Slimming車間長(zhǎng)期周轉(zhuǎn)，slimming車間內(nèi)酸氣長(zhǎng)期在BOX表面附著，從而使BOX表面呈現(xiàn)酸性1.水漬酸印30其它不良其它不良1.電阻超標(biāo)原因：酸殘留與減薄有關(guān)的性耐性與減薄有關(guān)的性耐性玻璃基板表面蝕刻狀況確認(rèn)玻璃基板表面蝕刻狀況確認(rèn)TFT端子部腐蝕狀況的確認(rèn)端子部腐蝕狀況的確認(rèn)牢固度確認(rèn)牢固度確認(rèn) 將其放入冷熱交替的冷熱槽中將其放入冷熱交替的冷熱