凈化間基礎(chǔ)知識

1、 Z z ？！ 什么是凈化間和凈化間臟污？ Basic Definition about Cleanroom and contamination 為什么要控制凈化間臟污？Why do we need control Cont? 如何控制凈化間臟污？How do we control cont.? 要求、原則、方法。Course Instruction凈化間的凈化間的定義定義Cleanroom definitionn凈化間(C/R)根據(jù)實際需要建立的溫度、濕度、氣壓和臟污都受到適度控制的封閉工作區(qū)域。A room in which the air supply, air distribution

2、, filtration of air supply, materials of construction and operating procedures are regulated to control airborne particle concentrations so that appropriate air cleanliness levels can be met.n通?？刂茦藴剩?溫度：22+/-2 ； 濕度：55+/-10 RH ； 氣壓：常壓略高 。n臟污受控程度按空氣傳播粒子數(shù)（密度）分類。 凈化間凈化間級別級別Cleanliness level and design t

3、ypes in KFn通常根據(jù)空氣傳播粒子密度，將臟污受控程度分為：Class 10，100，1000，10K等。nClass 100 懸浮在每立方英尺內(nèi)空氣內(nèi)，顆粒不小于0.5m（或者0.3m的）微粒個數(shù)不超過100個。Class 10100100010K密度 10100100010K想一下：0.5m 有多大？ 無大于5.0 m顆粒。大約是頭發(fā)絲粗細的20分之一。1m等于百萬分子一米，即10-6HEPA Fliters空 調(diào) 過 濾 器性 能風 速(M /S)換 氣 次 數(shù)(次 /小 時 )100機組：3045% +95%送風端：99。 999%0.400.4540060010K機組：304

4、5% +95%送風端：99。 999%0.300.454080凈化間通過高效過濾器降塵系統(tǒng)的工作，來維持一定的潔凈度，換氣次數(shù)可以控制室內(nèi)不同的污染物濃度。（High efficiency particulate air filter having a minimum particle-collection efficiency of 99.97% for 0.3um. Air filters are the key component in ensuring the cleanliness of air in cleanroom)Contamination & Cont. Contr

5、ol？n凈化間臟污是指存在于凈化間內(nèi)所有對產(chǎn)品合格率和品質(zhì)穩(wěn)定性產(chǎn)生不利影響的所有不必要物質(zhì)。n凈化間臟污控制是將對產(chǎn)品合格率和可靠性有不利影響的所有人員、設(shè)備、設(shè)施、物料等聯(lián)系考慮的全系統(tǒng)控制。臟污是指影響正常狀態(tài)的那些由外界介入的 不需要的物質(zhì)，通常是些不良的成分。凈化間臟污凈化間臟污分類分類Classificationn按物質(zhì)類別： 微粒類 磁性、非磁性 金屬、非金屬 化學(xué)類 n按存在方式： 空中漂浮類 淀積/附著類 氣體、液體。n化學(xué)類臟污 包括 ： 有機類 離子臟污生物類（細菌）還有l(wèi) 通常按臟污物質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)與物理狀態(tài)來分類臟污n按物質(zhì)存在狀態(tài)： 固態(tài)、氣態(tài)、液態(tài)、膠體、霧等。n人

6、體、工裝設(shè)備及裝配物料帶 入。u 凈化間臟污的 80 % 是從凈化間外部帶入的！n人與物體的移動而產(chǎn) 生。凈化間臟污的凈化間臟污的來源來源 Major source of contamination另有統(tǒng)計：人所造成的臟污占凈化間臟污的 80%。凈化間使用設(shè)施凈化間使用設(shè)施臟污測試臟污測試1001K10K碰撞100010000旋轉(zhuǎn)100010000表面磨損100010000搬運工具5005000上下動作5005000儲存柜表面磨損100010000工作臺移動發(fā)塵5005000發(fā) 塵凈化間用設(shè)施的發(fā)塵量性能評估凈化間用設(shè)施的發(fā)塵量性能評估發(fā) 塵凈化等級凈化等級對象對象項目項目實驗實驗椅子典型臟污

7、典型臟污舉例舉例臟污類別臟污源舉例微粒類臟污 人體、工裝、衣服、紙張皮屑、 金屬屑、塵埃、毛絲有機類臟污 人體、外界 唾液、煙塵離子類臟污 人體、外界 汗水、SOX磁性臟污設(shè)備、工裝Nd-Fe-B材料客戶特別關(guān)注的臟污有哪些？Customer requirements臟污對磁頭和硬盤驅(qū)動器有什么危害？ How Do Contaminants Cause Failures?如何檢測臟污？(How to detect Cont.?)理解臟污控制的重要性。第二個問題第二個問題 Why do we need control cont.？臟污檢測臟污檢測常用方法常用方法n擦拭（WIPE TEST）n空氣

8、粒子數(shù)（PARTICLE COUNT）n液體粒子數(shù)（LPC）與離子數(shù)測試（IC）n揮發(fā)性氣體與凝結(jié)物（OUTGASSING）n不揮發(fā)性組分（NVR） 紅外光譜（FTIR）nDI 水及細菌數(shù)測試（BACTERIA）n透射電鏡及元素分析（SEM）nWIPE TEST 目檢無可見臟污。nPARTICLE COUNT C/R 100，100 個 ; C/R 10K, /=1.0um) ； WD：HGA/HSA 90kcounts/cm2 (0.5um) ； nIC（ Cl、F、Br、NO3; Na、NH4、K、Mg ） MAXTOR： HSA/ HGA 20/10 ng/cm2 WD： HSA 10

9、ng/cm2（ppb)nIBM(Thornback HAS): 7ug/part常用常用測試標準測試標準(Spec.)常用常用測試標準測試標準lOutgassing Spec-limit/Critcal-limit (ug/part) Total Outgas1030Acrylate12Siloxane 1 2Chlorinated0.010.01Hydrocarbons 1 2Acrylate,丙烯酸脂，主要來源：膠劑等。Siloxane，硅氧烷，主要來源：潤滑劑等。lOrganic contamination(NVR)總殘留物不大于20毫克；FTIR不允許有硅油、酰胺化合物以及鄰苯二甲酸鹽

10、。Silicone,硅油，主要來源：橡膠、鑄型等。Amines/DOP,氨基化合物/酸二辛脂，來源：包裝物等。分解分解標準標準(MAXTOR)lFlex-cable IONIC (最大允許濃度 ug/cm2 ）Ammoium NH4+0.02 Chloride Cl_0.02Calcium Ca2+0.04 Bromide Br_0.04Potassium K+0.04 Fluoride F_0.04Sodium Na+0.04 Nitrate NO3_0.04lFlex-cable NVR/FTIR（未經(jīng)清洗） NVR總量不大于5.0 ug/cm2 。 FTIR，硅油、DOP和氨基類化合物不

11、允許。臟污30.4%粒子17.7%NVR 4.6%揮發(fā)性氣體3.8%其它 2.5%IC 1.7%臟污導(dǎo)致硬盤制造中不合格的比例臟污導(dǎo)致硬盤制造中不合格的比例Contamination ismanufactures at present.如何理解臟污對產(chǎn)品的危害？各類軟硬件故障，引起磁頭、硬盤失效，最嚴重的危害是： 導(dǎo)致客戶不滿和失去信心！When error rates get too high to be compensated by error correction codes, or when drives fail, we have customers, When drives are returned and must be replaced , that is a matter of n光學(xué)粒子計數(shù)儀 Particle countn液體粒子計數(shù)儀 Liquid