白光干涉儀在哪些測(cè)量應(yīng)用領(lǐng)域使用廣泛？

1、白光干涉儀在哪些測(cè)量應(yīng)用領(lǐng)域使用廣泛？ 白光干涉儀目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達(dá)到其加工精度要求。 光學(xué)顯微干涉測(cè)量的基本原理： 光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。 白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡

2、分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。 白光干涉測(cè)量法已被用來測(cè)量微間隙的厚度。采用這種方法來顏值浮動(dòng)塊。浮動(dòng)塊作為磁傳感器的載體，它與磁盤表面考得很近。如果正確設(shè)計(jì)浮動(dòng)塊的表面形狀，并在其上施加適當(dāng)?shù)妮d荷，由于在旋轉(zhuǎn)的盤片上存在附面層，于是在浮動(dòng)塊下形成自起作用的空氣軸承。 白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用：以測(cè)量單刻線臺(tái)階為例，在

3、檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對(duì)應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置，對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。 在計(jì)算機(jī)上打開光學(xué)3D表面輪廓儀測(cè)量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的最低點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線臺(tái)階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量完成后，軟件自動(dòng)生成3D圖像，測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測(cè)器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。 光學(xué)3D表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全面、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高效率檢測(cè)。光學(xué)3D表面輪