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1、石英坩堝自動(dòng)噴砂設(shè)備 工件型號(hào):石英坩堝 噴砂區(qū)域:多晶硅錠外表面 工件尺寸:直徑650mm,高度550mm 產(chǎn)品材質(zhì):高純度石英 工件重量: <30Kg 工件噴砂前狀態(tài): 干燥 清理方法: 噴砂 清理目的:清理石英坩堝出爐后表面的余砂。 工藝流程:鑄錠→噴砂 →清洗 石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。石英坩堝
2、鑄造出爐后,表面有一層余砂需要處理干凈,很多公司使用的清理方式為人工打磨。人工打磨具有效率低、不環(huán)保、工人身體受到傷害、而且會(huì)把石英坩堝表面打磨壞。做為噴砂行業(yè)的領(lǐng)航者,吉川公司針對(duì)石英坩堝專門設(shè)計(jì)研發(fā)出一款高效自動(dòng)噴砂機(jī),石英坩堝自動(dòng)噴砂機(jī)投入用戶使用后,具有效率高、環(huán)保,無(wú)污染等效果,得到了石英坩堝用戶的好評(píng)。 三 1噴砂室體 2砂料的回收 3 砂料的分選 4噴咀裝置 5輸送系統(tǒng) 6除塵器 7控制系統(tǒng) 8安全裝置 噴砂室體能有效防止砂料及粉塵外泄,噴砂室體由冷軋鋼板焊接而成,外表面噴塑,內(nèi)表面貼耐磨膠皮防護(hù),可以有效的保護(hù)室內(nèi)的使用壽命。 噴砂后的砂料及粉塵通過(guò)風(fēng)力循環(huán)送至儲(chǔ)砂斗。主回砂管
3、由特制的高耐磨無(wú)縫鋼管制作而成,管內(nèi)襯托高耐磨的硅膠板,可以保護(hù)管道的磨損?;厥辗绞讲捎蒙线M(jìn)風(fēng),下抽的形式,有效的把砂料回收到儲(chǔ)砂斗內(nèi),回收效率可達(dá)到到99%。 通過(guò)回收上來(lái)的砂料進(jìn)入砂料循環(huán)系統(tǒng),該砂料循環(huán)系統(tǒng)配備了風(fēng)選裝置,通過(guò)風(fēng)選裝置,破損的砂料及粉塵被分離出來(lái),風(fēng)選的風(fēng)量大小可以調(diào)整。通過(guò)風(fēng)選后的砂料進(jìn)入到噴砂倉(cāng)中,粉塵被分離出去,進(jìn)入到除塵器中。該分選方式是采用重心、高速旋轉(zhuǎn)的方式。 該噴砂設(shè)備配備了10 套噴咀,分為2組裝置,一組6支,一組4支 -一套夾持6 個(gè)噴咀的夾持裝置,負(fù)責(zé)噴石英坩堝的左右圓周面 -一套夾持4個(gè)噴咀的夾持裝置, 負(fù)責(zé)噴石英坩堝的頂圓面 噴嘴可以比較容易的安裝
4、在相應(yīng)的夾具上, 有螺絲固定。維護(hù)門能讓操便利地進(jìn)出室體更換工裝夾具。 工件進(jìn)入工作位置后,所有的噴咀移都由擺動(dòng)電機(jī)擺動(dòng),方便工件噴砂的均勻性。 采用轉(zhuǎn)盤自動(dòng)輸送系統(tǒng),輸送驅(qū)動(dòng)電機(jī)采用變頻調(diào)整,以滿足客戶的工藝需求。轉(zhuǎn)盤自動(dòng)輸送進(jìn)出、自動(dòng)旋轉(zhuǎn)。 該設(shè)備配備了一臺(tái)干式除塵器,用于清理噴砂過(guò)程形成的粉塵,除 塵器安裝于噴砂室體旁邊。 該除塵器為慮筒式除塵器,壓縮空氣通過(guò)脈沖閥控制通過(guò)慮筒。 經(jīng)除塵器后潔凈的氣體通過(guò)換氣扇及消音器直接排出。 粉塵經(jīng)過(guò)閘閥落入到底部倉(cāng)而排到廢料箱。 控制系統(tǒng)包括一套西門子 的PLC 和一個(gè)手持式可以移動(dòng)的帶觸摸屏輸入單元。可移動(dòng)的輸入單元用于噴砂程序儲(chǔ)存、噴砂參數(shù)輸入更改及錯(cuò)誤信息報(bào)告。所有相關(guān)的參數(shù)象砂料量、噴砂壓力、氣體消耗量、垂直軸的開始停止位置、噴砂數(shù)量、噴砂時(shí)間、噴咀位置狀態(tài)等都將被儲(chǔ)存并進(jìn)而控制噴砂過(guò)程。如果這些參數(shù)中某個(gè)出現(xiàn)異常,噴砂過(guò)程將自動(dòng)停止且相關(guān)的錯(cuò)誤信息會(huì)被清晰的顯示出來(lái)。 可移動(dòng)的輸入單元通過(guò)一個(gè)很長(zhǎng)的通信電纜連接到設(shè)備
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