飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系

1、飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系（摘自范仲元："水和水蒸氣熱力性質(zhì)圖表"p410）溫度C22242628303234363840水蒸氣壓力MPa0.002640.002980.003360.003780.004240.004750.005320.005940.006620.00738相應(yīng)真空度MPa0.098690.098350.097970.097550.097090.096580.096010.095390.094710.09395溫度C42444648505254565860水蒸氣壓力MPa0.008200.009100.010090.011160.012340.0136

2、10.015000.016510.018150.01992相應(yīng)真空度MPa0.093130.092230.091240.090170.088990.087720.086330.084820.083180.08141溫度C62646668707274767880水蒸氣壓力MPa0.021840.023910.026150.028560.031160.033960.036960.040190.043650.04736相應(yīng)真空度MPa0.079490.077420.075180.072770.070170.067370.064370.061140.057680.05397溫度C82848688909

3、2949698100水蒸氣壓力MPa0.051330.055570.060110.064950.070110.075610.081460.087690.094300.10133相應(yīng)真空度MPa0.050000.045760.041220.036380.031220.025720.019870.013640.007030溫度C102104106108110112114116118120水蒸氣壓力MPa0.108780.116680.125040.133900.143270.153160.163620.174650.186280.19854溫度C12212412612813013213413613

4、8140水蒸氣壓力MPa0.211450.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.341380.36138真空計(jì)算常用公式1、玻義爾定律體積V,壓強(qiáng)P,P-V=常數(shù)（一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2=V2/V1）2、蓋呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對(duì)溫度T成正比：（V1/V2=T1/T2=常數(shù)）當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高（或P降低）1C,則它的體積比原來增加（或縮?。?/2733、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣

5、體，溫度每升高4、平均自由程：人=（5X10-3）/P（cm）5、抽速：S=dv/dt（升/秒）或S=Q/PQ=流量（托,升/秒）P=壓強(qiáng)（托）=體積（升）t6、通導(dǎo)：C=Q/（P2-P1）（升/秒）7、真空抽氣時(shí)間：對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t=（V為體積，S為抽氣速率，通常8、維持泵選擇：S維=5前/10P與其他絕對(duì)溫度T成正比，即：P1/P2=T1/T2（或降低）1C,它的壓強(qiáng)比原來增加（或減少）1/273=時(shí)間（秒）8V/S（經(jīng)驗(yàn)公式）t在510分鐘內(nèi)選擇。）9、擴(kuò)散泵抽速估算:3D2（D=直徑cm）10、羅茨泵的前級(jí)抽速：S=(0.10.2)S羅(l/s)11、漏率：Q漏=V

6、(P2-P1)/(t2-t1)Q漏一系統(tǒng)漏率(mmHgl/s)V系統(tǒng)容積(l)P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：S=Q1/P預(yù)(l/s)S=2.3V-lg(Pa/P預(yù))/tS機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1真空系統(tǒng)漏氣率(托升/秒)P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V真空系統(tǒng)容積(升)t達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa大氣壓值(托)13、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走

7、，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg>PgS或Sg>Pgs/PnSg前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：S=Q/P=(K-n)/(P-t)(升/秒)式中：S被試泵的抽氣速率（l/s）n一滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)（格）t油柱上升n格所需要的時(shí)間（秒）P在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)（托）K滴管系數(shù)（托升/秒）K=V0-（L/n）（Y0/Ym）+PsAVt其中V0滴管和真空膠管的原始容積（升）L滴管刻度部分的長(zhǎng)度（mm）n滴管刻度部分的格數(shù)（格）Y0油的比重（克

8、/厘米3）Ym-汞的比重（克/厘米3）Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)（托）Vt滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：S=TtZnLKv（D2-d2）/（24X104）（l/s）式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速（車專I分），L為泵腔長(zhǎng)度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑（cm）,Kv為容積利用系數(shù)（般取95%）o16、O型橡膠槽深B=0,7DD為橡膠直徑，槽寬C=1.6B17、方形橡膠槽深B=0.8AA為方形橡膠邊長(zhǎng)，槽寬C=1.67B選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：1 、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1X10-5mmHg勺真空度，選用的真

9、空泵的真空度至少要5X10-6mmHg通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。2 、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5X10-45X10-6mmHg因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHgf長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHgT工作，但其工彳壓強(qiáng)應(yīng)小于1x10-5mmH的好。3 、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4 、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽

10、氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氨，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氧有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。5 、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求6 、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；?/p>

11、塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7 、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外8 、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。9 、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域

12、內(nèi)運(yùn)行。應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHgX上，可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選

13、用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡(jiǎn)單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長(zhǎng)。二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集如下，以利于用戶選型代號(hào)主要特點(diǎn)極限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范圍m/min密封形式sk國內(nèi)設(shè)計(jì)單級(jí)水環(huán)真空泵，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便。目

14、前國內(nèi)主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-300-6500.15120盤根、機(jī)械密封2sk國內(nèi)設(shè)計(jì)雙級(jí)水環(huán)真空泵，相當(dāng)于兩臺(tái)SK水環(huán)泵串聯(lián)使用，比較單級(jí)水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點(diǎn)。目前國內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。-735-300-7001.5-30盤根、機(jī)械密封2BV采用西門子先進(jìn)技術(shù)，機(jī)泵同軸，結(jié)構(gòu)緊湊，效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代SK、2SK系列0.46m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-300-7000.458.33機(jī)械密封2BE1采用西門子先進(jìn)技術(shù)，效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替彳SK2SK系列6120m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-640-300-700-300-6005-400盤根、機(jī)械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術(shù)，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要應(yīng)用于老用戶。-640-700