光學(xué)薄膜軟件thin film center essential macleod v97教程及pr培訓(xùn)

1、自動(dòng)鍍膜裝置使用說明書ACS(Gener)Optorun Co.,. Japan350-080110-1 Takeno Kawagoe Saitama-KenOptorun Co., Date 2008.02.Ver.1.0目錄開始1術(shù)語2履歷3第1 章基本操作41.1. 計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)的起動(dòng)41.1.1. 計(jì)算機(jī)的起動(dòng)41.1.2. 系統(tǒng)的起動(dòng)41.2. 系統(tǒng)ACS 及計(jì)算機(jī)的關(guān)閉41.2.1. 系統(tǒng)的關(guān)閉41.2.2. 計(jì)算機(jī)的關(guān)閉41.3.主操作畫面5文件選擇部分6設(shè)定部分7命令項(xiàng)目部分7電子槍部分8維護(hù)部分8確認(rèn)部分101.3.1.1.3.2.1.3.3.1.3.4.1.3.5.1.3.

2、6.1.4. ACS 文件夾構(gòu)造10第2 章工藝文件112.1. 預(yù)熔工藝文件11文件部分12參數(shù)部分 動(dòng)作條件12參數(shù) EB 放射電流12參數(shù) Beam Rotation13參數(shù) CUP 指定14命令部分142.1.1.2.1.2.2.1.3.2.1.4.2.1.5.2.1.6.2.2. 成膜參數(shù)文件15命令部分16Barch 參數(shù)16各層參數(shù)17Material(Hi)、Material(Lo)19IBS242.2.1.2.2.2.2.2.3.2.2.4.2.2.5.2.3. 參照LOG 文件時(shí)的操作24第3 章材料預(yù)熔253.1.參數(shù)263.2.處理狀態(tài)263.3.EB 微調(diào)整27Opt

3、orun Co., Date 2008.02.Ver.1.03.4.Cup 狀態(tài)27第4 章成膜274.1. 成膜處理流程274.2. GP-IB 連接器的接續(xù)試驗(yàn)284.3. 復(fù)原動(dòng)作的選擇284.4. 確認(rèn)片位置294.5. 確認(rèn)TOGGLE SWITCH294.6. FILAMENT ANNEAL304.7. 確認(rèn)成膜開始條件304.8. 離子槍暖機(jī)314.9. 單色儀的初期化324.10. 設(shè)定離子數(shù)324.11. 指定層分的成膜334.9.1. 表示層處理狀態(tài)344.9.2. 光量處理關(guān)聯(lián)344.9.3. 各層參數(shù)354.9.4. 表示各圖表364.9.5. 成膜等的設(shè)定變更部分37

4、第5 章片測(cè)試41第6 章 水晶傳感器檢測(cè)42第7 章 維護(hù)437.1. 維護(hù)參數(shù)的種類437.2. 維護(hù)時(shí)期的管理437.3. 進(jìn)展條的設(shè)定方法43第8 章 異常處理448.1. 異常發(fā)生時(shí)的操作448.2. 異常的種類及448.3. 異常終了時(shí)的操作45Optorun Co., Date 2008.02.Ver.1.0開始本使用說明書講述了使用自動(dòng)鍍膜程序（以后稱為ACS）時(shí)必要的操作方法及使用時(shí)的注意事項(xiàng)。n本書的使用對(duì)象ll使用ACS 進(jìn)行鍍膜的用戶管理ACS 鍍膜數(shù)據(jù)的管理人n注本使用說明書記載了使用ACS 時(shí)的必要情報(bào)。使用前請(qǐng)認(rèn)真讀完本使用說明書并充分理解。讀完該書后也請(qǐng)好好保管

5、本書,隨時(shí)放在手邊以便使用。Optorun Co., Date 200802.1Ver.1.0術(shù)語本使用說明書中用詞的含義,參看下解。材料預(yù)熔蒸鍍高折射率材料前作準(zhǔn)備工作, 稱為材料預(yù)熔。EB表示電子槍GL表示離子槍ACS本說明書所說明的軟件。材料預(yù)熔數(shù)據(jù)文件是指ACS 在實(shí)行材料預(yù)熔時(shí)使用的參數(shù)文件，為Excel 格式的文件。成膜工藝數(shù)據(jù)文件ACS 進(jìn)行自動(dòng)鍍膜時(shí)使用的鍍膜參數(shù)文件,為Excel 格式的文件。印刷文件每層的開始，結(jié)束，極值時(shí)的狀態(tài)保存文件。圖表文件每秒的狀態(tài)保存文件。Optorun Co., Date 200802.2Ver.1.0履歷Optorun Co., Date 20

6、0802.3Ver.1.0號(hào)日內(nèi)容Rev. 1.02006 年9 月初版第1章基本操作本章描述了系統(tǒng)使用時(shí)必要的基本操作方法。1.1. 計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)的起動(dòng)1.1.1. 計(jì)算機(jī)的起動(dòng)要使用系統(tǒng),必須先起動(dòng)計(jì)算機(jī)。 操作方法請(qǐng)按下CRT 及其計(jì)算機(jī)的電源開關(guān)。電源開關(guān)打開后,請(qǐng)根據(jù)畫面指示進(jìn)行操作。1.1.2. 系統(tǒng)的起動(dòng)計(jì)算機(jī)起動(dòng)并登錄系統(tǒng)后,就能起動(dòng)ACS 了。 操作方法如圖1 的D-所示雙擊桌面的ACS 快捷圖標(biāo)能起動(dòng)ACS。1.2. 系統(tǒng)ACS 及計(jì)算機(jī)的關(guān)閉1.2.1. 系統(tǒng)的關(guān)閉關(guān)閉計(jì)算機(jī)前，必須先將系統(tǒng)ACS 關(guān)閉。操作方法 在主操作畫面上，點(diǎn)擊處。系統(tǒng)ACS 關(guān)閉。1.2.2.計(jì)算

7、機(jī)的關(guān)閉系統(tǒng)ACS 關(guān)閉后，可關(guān)閉計(jì)算機(jī)。操作方法從桌面畫面表示的開始菜單的項(xiàng)目中，選擇關(guān)機(jī)項(xiàng)。之后請(qǐng)根據(jù)畫面指示進(jìn)行操作。此外，ACS 系統(tǒng)起動(dòng)中，裝置如感知到停電時(shí)，會(huì)自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)后關(guān)閉計(jì)算機(jī)。Optorun Co., Date 200802.4Ver.1.01.3.主操作畫面系統(tǒng)起動(dòng)后，出現(xiàn)以下主操作畫面。 主操作畫面分為以下幾個(gè)領(lǐng)域。文件選擇部分：進(jìn)行預(yù)溶和成膜時(shí)選擇文件的部分。設(shè)定部分：進(jìn)行預(yù)溶和成膜動(dòng)作設(shè)定。命令項(xiàng)目部分：進(jìn)行預(yù)溶和成膜動(dòng)作開始及ACS 關(guān)閉。電子槍：調(diào)整電子槍 。維修部分：起動(dòng)各機(jī)械的使用時(shí)間表示和使用時(shí)間抹除畫面。分：起動(dòng)進(jìn)行水晶和檢查的畫面。Optorun C

8、o., Date 200802.5Ver.1.01.3.1. 文件選擇部分 表示選擇成膜的文件名 選擇文件點(diǎn)擊“預(yù)溶“ “成膜“的選擇項(xiàng)，出現(xiàn)以下畫面。Optorun Co., Date 200802.6Ver.1.0決定選擇點(diǎn)擊此處，可編輯現(xiàn)在選擇中的文件。中斷選擇取消選擇的成膜文件選擇成膜文件取消選擇的預(yù)熔文件選擇預(yù)熔文件指定成膜的膜層號(hào)表示選擇預(yù)熔的文件名1.3.2. 設(shè)定部分進(jìn)行ACS 動(dòng)作相關(guān)設(shè)定。1.3.3. 命令項(xiàng)目部分“Lot 號(hào)”，“作業(yè)者名“，“注釋“將保存在印刷Log 文件中。指定“Lot 號(hào)”時(shí)，這個(gè)“Lot 號(hào)“為L(zhǎng)og 文件名。沒有指定“Lot 號(hào)”時(shí)，工藝名為L(zhǎng)o

9、g 文件名。Optorun Co., Date 200802.7Ver.1.0可輸入注釋。ACS 結(jié)束?？奢斎胱鳂I(yè)者名。預(yù)熔成膜開始。用試驗(yàn)?zāi)Ｊ?EB 的放射電流為0)時(shí)請(qǐng)打勾.省略分光器時(shí)請(qǐng)打勾成膜結(jié)束時(shí)關(guān)閉離子槍時(shí), 請(qǐng)打勾.省略鎖相放大初始化時(shí)請(qǐng)打勾要保存請(qǐng)打勾成膜結(jié)束時(shí)要保持真空狀態(tài),未打候,進(jìn)行放氣處理.設(shè)定FilamentAnel 時(shí)間離子槍使用時(shí)請(qǐng)打勾實(shí)行電子槍燈絲退火時(shí)請(qǐng)打勾,未打不實(shí)行電子槍退火.指定離子槍的暖機(jī)時(shí)間1.3.4.電子槍部分在主操作畫面的“電子槍“部分進(jìn)行電子槍。Emission 的SV 是設(shè)定值，PV 表示實(shí)際的輸出值。其他，可以掃描，變更位置數(shù)值，確認(rèn)EB

10、的動(dòng)作狀態(tài)。維護(hù)部分1.3.5.Optorun Co., Date 200802.8Ver.1.0在維修部分可以確認(rèn)各使用時(shí)間的初期化，的使用時(shí)間。使用時(shí)間為紅色的地方是使用時(shí)間超過值的設(shè)定可點(diǎn)擊維修部分的Set 按鍵，出現(xiàn)以下畫面。值的意思。Optorun Co., Date 200802.9Ver.1.01.3.6. 確認(rèn)部分的試驗(yàn)畫面，水晶傳感器確認(rèn)畫面、設(shè)定是否使用Recorder。確認(rèn)部分分有1.4. ACS 文件夾構(gòu)造ACSDATAMeltingProcessLOGBatchErrMeltingProcessGraphPrintOutSYS圖1 文件夾構(gòu)造ACS 文件夾：ACS 的

11、文件夾。通常在C Drive 下。SYS 文件夾：保存ACS 的環(huán)境文件。LOG 文件夾：保存LOG 動(dòng)作文件夾。有以下的文件夾存在。Batch: 可以了解每個(gè) Batch 的動(dòng)作概要。Err：可以每個(gè) Batch 發(fā)生的。Melting：保存自動(dòng)預(yù)熔的動(dòng)作Log。Process：保存自動(dòng)成膜的動(dòng)作Log 文件夾。有以下的文件夾存在。（a）（b）Graph 文件夾：EB 擋板從打開到關(guān)閉間每秒的Log。PrintOUT：每層的開始，結(jié)束及極值時(shí)的Log。Optorun Co., Date 200802.10Ver.1.0表示測(cè)試畫面（第5 章參照）表示水晶傳感器確認(rèn)畫面（第6章參照） DATA

12、 文件夾：預(yù)熔用及成膜工藝文件的文件夾。有以下的文件夾存在。Melting：保存CUP 用預(yù)溶工藝文件。Process：保存成膜工藝文件。第2章工藝文件ACS 系統(tǒng)使用預(yù)熔工藝文件和成膜工藝文件。2.1. 預(yù)熔工藝文件預(yù)熔參數(shù)文件分為5 部分。文件部分：Name 的地方指定的名稱為文件名。參數(shù)指定部分：指定各參數(shù)。預(yù)溶指定部分：在每個(gè)坩堝指定進(jìn)行預(yù)溶的 CUP。Hearth1 為環(huán)狀坩堝，Hearth1 的指定無效。備考欄：表示輸入范圍等。Optorun Co., Date 200802.11Ver.1.0 命令：進(jìn)行保存，檢查等。2.1.1. 文件部分圖3 預(yù)熔參數(shù)：文件部分2.1.2. 參

13、數(shù)部分 動(dòng)作條件指定預(yù)熔開始和AC 的范圍等。2.1.3. 參數(shù)EB 放射電流EB 放射電流部分有以下參數(shù)。RT:指定EB 反射電流到達(dá)HP 指定的放射電流的時(shí)間。HT：指定HP 指定的放射電流值保持時(shí)間。Optorun Co., Date 200802.12Ver.1.0指定實(shí)行時(shí)間的范圍.指定開始指定上限指定EB 的范圍評(píng)語欄文件名HP: 指定EB 放射值。XS：指定X 掃描值。YS：指定Y 掃描值。BR：有無使用Beam Rotation，及指定種類號(hào)。（off 是沒有Rotation 的意思）這些參數(shù)最大可指定到7 個(gè)階段。另外，有10 種Pattern 可以設(shè)定。如XS,YS 使用B

14、eam Rotation時(shí)，在此指定的數(shù)值無效。使用在Beam Rotation 處指定的掃描值。Copy 按鈕表示的Pattern 復(fù)印到儲(chǔ)存器中。Paste 按鈕 將Copy 的Pattern 粘貼到現(xiàn)在表示的Pattern 號(hào)處。2.1.4. 參數(shù) Beam RotationBeam RotationEB 的 Beam最大可在 12個(gè)位置循環(huán)照射。 可以指定最大6Pattern 。各參數(shù)表示的意思。Stay Time：Beam 在位置停留時(shí)間。Location number：指定Beam 位置從1 號(hào)到幾號(hào)循環(huán)照射。Xp：指定X 方向位置。Yp：指定Y 方向位置。Xs：指定X 掃描。Ys

15、：指定X 掃描。Circle Location點(diǎn)擊此處以在Radius 處指定的半徑讓Location number 處指置為正多角形自動(dòng)設(shè)定Xp,Yp。Optorun Co., Date 200802.13Ver.1.02.1.5.參數(shù) CUP 指定2.1.6.命令部分Optorun Co., Date 200802.14Ver.1.0檢查輸入的參數(shù)。終了。文件 Save。2.2.成膜參數(shù)文件成膜參數(shù)文件分為4 個(gè)部分命令部分：進(jìn)行文件保存。注意：文件保存必須使用按鈕。Sheet 選擇部分：可以交換4 個(gè)Sheet。Process, Material(Hi) , Material(Lo)，I

16、BS。各層的參數(shù)：指定每層的參數(shù)。Batch 參數(shù)：指定成膜開始?jí)旱菳atch 全體相關(guān)的參數(shù)。Optorun Co., Date 200802.15Ver.1.02.2.1.命令部分2.2.2.Barch 參數(shù)Optorun Co., Date 200802.16Ver.1.0指定開始真空。以IBS 清潔開始時(shí)間為EB 擋板開的基準(zhǔn)進(jìn)行指定。指定成膜前加熱器是否 OFF。指定 IBS 的清潔時(shí)間。暖氣時(shí)也使用此參數(shù)。以 APC 的開始時(shí)間為預(yù)備加熱開始時(shí)間基準(zhǔn)進(jìn)行指定。指定加熱器的參數(shù)號(hào)碼。工件盤和片為同一號(hào)碼。僅使用 IBS 清潔時(shí)，為 Yes。清潔后， 離子槍停止。指定 IBS 暖機(jī)和清

17、潔的參數(shù)。輸入成膜參數(shù)文件的評(píng)語。輸入成膜參數(shù)文件名稱。削減層。追加層。確認(rèn)。結(jié)束文件粘貼。表示 Material(Lo)Sheet。復(fù)印。表示 Material(Hi)Sheet。切割。表示 ProcessSheet。保存文件。2.2.3.各層參數(shù)EB 的X 位置的補(bǔ)正值指定預(yù)備加熱開始時(shí)間。Optorun Co., Date 200802.17Ver.1.0指定坩堝號(hào)。指定該層的最大時(shí)間。指定膜厚的Time時(shí)，在設(shè)定時(shí)間進(jìn)入下一層。該層結(jié)束時(shí) APC OFF時(shí)，指定OFF。指定 APC 的設(shè)定換算時(shí)的下限值比率。（E-7PaPa 0100）指定停止光量的比例值。指定數(shù)。指定APC 的設(shè)定。

18、指定 HOM2-D 的感度。指定Auto 時(shí)， 分光器內(nèi)的前置放大器的設(shè)定也自動(dòng)進(jìn)行。指定初期光量變化方向。下拉式菜單指定位置。下拉式菜單方式。用下拉式菜單選擇Material。層號(hào)。指定波長(zhǎng)。表示總層數(shù)。指定開始光量值。Optorun Co., Date 200802.18Ver.1.0指定逆行光量。1. 指定初期光量変化中確定光量変化方向的光量変化量。在此光量?jī)?nèi)可監(jiān)視光量逆行。此光量?jī)?nèi)不進(jìn)行極值檢測(cè)。2. 檢測(cè)出極值后，確定極值。3. 在指定FL Light 的時(shí)間內(nèi)，沒有光量変化時(shí)， 變?yōu)楣饬繅浠?。用監(jiān)視水晶率。Tolerance Deviation：指定比率的誤差范圍。Toleran

19、ce Average-Standard：指定比率的平均值和目標(biāo)比率間差異的值。指定分光器前置擴(kuò)大器增益的倍率。如HOM2-D 的感度時(shí)指定為Auto 時(shí)，此項(xiàng)設(shè)定無效。指定水晶片的変更方法。膜厚Crystal 時(shí)要指定目標(biāo)膜厚。指定是否使用補(bǔ)正板。2.2.4.Material(Hi)、Material(Lo)Optorun Co., Date 200802.19Ver.1.0指定旋轉(zhuǎn)坩堝使用周期旋轉(zhuǎn)模式時(shí)的前送角度。指定旋轉(zhuǎn)坩堝使用周期旋轉(zhuǎn)模式時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度。（設(shè)定為指定值 的 1/10rph）指定旋轉(zhuǎn)坩堝使用周期旋轉(zhuǎn)時(shí)，以預(yù)備加熱開始時(shí)間為基 準(zhǔn)，旋轉(zhuǎn)開始的推遲時(shí)間。指定成膜比率?？瞻讜r(shí)， 定

20、電流成膜， 不進(jìn)行水晶膜厚計(jì)的Material 情報(bào)設(shè)定。指定 MFC 的范圍。層結(jié)束時(shí)指定是否停止 MFC。指定真方式。層結(jié)束時(shí)，設(shè)定是否停止成膜。指定 MFC 的流量。APC號(hào)碼指定為 0 時(shí)，指定PID 參數(shù)。指定 APC 的號(hào)碼。有無使用 BeamRotation 及指定號(hào)碼。（沒有阻蒸加熱。）指定 Y 掃描值。（沒有阻蒸加熱。）指定 X 掃描值。（沒有阻蒸加熱。） Step 6有無使用 BeamRotation 及指定號(hào)碼。（沒有阻蒸加熱。）指定 Y 掃描值。（沒有阻蒸加熱。）指定 X 掃描值。（沒有阻蒸加熱。）Optorun Co., Date 200802.20Ver.1.0指定

21、到達(dá) Hold Power 時(shí)的時(shí)間。指定 Hold Power 的保持時(shí)間。指定放射電流值。指定到達(dá) Hold Power 時(shí)的時(shí)間。指定 Hold Power 的保持時(shí)間。指定放射電流值。Beam Rotation 最大可以指定到8。使用Beam Rotation 時(shí)掃描值為Beam Rotation 的掃描值。阻蒸加熱在使用Beam Rotation 時(shí)無相關(guān)參數(shù)。Optorun Co., Date 200802.21Ver.1.0使用 Beam Rotation 時(shí)，指定 1 號(hào)開始到幾號(hào)循環(huán)。指定以 Beam Rotation 的 X 位置為基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置。指定以 Beam Ro

22、tation 的Y 位置為基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置。指定 EB 的 X 掃描值。指定 EB 的 Y 掃描值。指定在 16 階段使用 Beam Rotation 時(shí)在點(diǎn)的停滯時(shí)間。此參數(shù)現(xiàn)在不使用。指定在 6,7 階段使用 Beam Ratation 時(shí)在點(diǎn)的停滯時(shí)間。指定 EB 的 ACC 的范圍。Hi：上限值。Lo：下限值。Optorun Co., Date 200802.22Ver.1.0指定蒸鍍材料的密度。指定Z-Ratio 。向水晶膜厚計(jì)Control Loop Type。向水晶膜厚計(jì)Process Gain。向水晶膜厚計(jì)Primary Time Constant。向水晶膜厚d Time。向

23、水晶膜厚計(jì) Tooling。Optorun Co., Date 200802.23Ver.1.0設(shè)置水晶膜厚計(jì) Crystal Quality。設(shè)置水晶膜厚計(jì)的 Crystal Stability。Control Delay Time: 此秒數(shù)經(jīng)過后，放射電流的輸出為從水晶膜厚的輸出値。設(shè)置水晶膜厚計(jì)um Power。Minimum Power 為水晶膜厚計(jì)在中斷比率時(shí)的放射電流值。值（用 PROCESS 以FREQUANCY為水晶交換方法時(shí)。）為向水晶膜厚計(jì) Crystal Quality。為向水晶膜厚計(jì)的 Crystal Stability。Control Delay Time: 此秒數(shù)經(jīng)

24、過后，放射電流的輸出為從水晶膜厚的輸出値。為向水晶膜厚計(jì)um Power。Minimum Power 為水晶膜厚計(jì)在中斷比率時(shí)的放射電流值。值（用 PROCESS 以FREQUANCY為水晶交換方法時(shí)。）2.2.5.IBS2.3. 參照Log 文件時(shí)的操作材料預(yù)熔以及鍍膜可以參照使用 操作方法 在備忘錄等的文本編輯下來的各種Log 文件的內(nèi)容, 備忘錄等的程序。打開欲參照的文件。文件的內(nèi)容被顯示再者, 各Log 文件生成的路徑如下BatchlC:ACSLogBatchOptorun Co., Date 200802.24Ver.1.0Beam 電壓設(shè)定。Beam 電流設(shè)定。ACC 設(shè)定。中和器

25、的電流値和 Beam 電流的比值設(shè)定。GAS1 (O2), GAS2 (Ar) and GAS3 (Ar)的流量設(shè)定。l預(yù)熔C:ACSLogMeltingl成膜C:ACSLogProcessPrintout C:ACSLogProcessGraphl錯(cuò)誤C:ACSLogERR第3章材料預(yù)熔在主操作畫面選擇“預(yù)溶文件” 的狀態(tài)，點(diǎn)擊開始按鈕，開始進(jìn)行預(yù)溶。 上圖為預(yù)熔實(shí)行畫面。Optorun Co., Date 200802.25Ver.1.0預(yù)溶實(shí)行畫面由5 個(gè)領(lǐng)域。 參數(shù)：表示在溶文件中指定的參數(shù)。 裝置處理：表示現(xiàn)在的處理狀態(tài)。 圖表：用圖表表示真空度和EB 放射電流。 EB 微調(diào)整：表示

26、EB 的設(shè)定變更和現(xiàn)在值。 Cup 狀態(tài)：用Cup 號(hào)可確認(rèn)該Cup 的預(yù)溶實(shí)施狀態(tài)。3.1.參數(shù)3.2.處理狀態(tài)Optorun Co., Date 200802.26Ver.1.0預(yù)熔中點(diǎn)燈為綠色確認(rèn)真空度中點(diǎn)燈為綠色。超過現(xiàn)在真空度上限值是點(diǎn)燈為綠色。坩堝旋轉(zhuǎn)中點(diǎn)燈為綠色。表示預(yù)熔處理經(jīng)過時(shí)間現(xiàn)在的真空度表示表示預(yù)熔文件指定的真空度上限值。表示剩余的要熔藥的CUP 數(shù)表示預(yù)熔文件的名稱表示預(yù)熔文件指定的開始真空度。3.3.EB 微調(diào)整表示現(xiàn)在的EB 設(shè)定值。上下按鈕可以暫時(shí)變更設(shè)定，從處理階段進(jìn)入下一個(gè)階段時(shí)，Emi.和掃描（X-S,Y-S） 的設(shè)定為預(yù)溶文件的設(shè)定值。在此變更過X-P、Y

27、-P 的設(shè)定在預(yù)溶處理結(jié)束后，返回原來的設(shè)定值。3.4.Cup 狀態(tài)Cup 的預(yù)溶狀態(tài)或在預(yù)溶中的Cup 號(hào)。用顏色表示Cup 的狀態(tài)。黃：預(yù)溶結(jié)束的Cup。紅：等待預(yù)溶的Cup。藍(lán):不進(jìn)行預(yù)溶的Cup。第4章成膜在主操作畫面選擇“成膜文件” 的狀態(tài)，點(diǎn)擊開始按鈕，開始進(jìn)行成膜?！邦A(yù)熔文件” 也一起選擇時(shí)，先進(jìn)行預(yù)溶。4.1. 成膜處理流程以下為成膜處理順序。GP-IB 連接器的接續(xù)試驗(yàn)復(fù)原動(dòng)作的選擇確認(rèn)位置確認(rèn)TOGGLE SWITCHFilament anneal（省略可能） 確認(rèn)成膜開始條件離子槍暖機(jī)（使用離子槍時(shí)）單色儀，LOCK-IN 放大器的初期化（省略可能） 離子槍設(shè)定（使用離子

28、槍時(shí)）指定層分的成膜Optorun Co., Date 200802.27Ver.1.04.2.GP-IB 連接器的接續(xù)試驗(yàn)實(shí)行GP-IB 連接器的接續(xù)試驗(yàn)。ACS 系統(tǒng)用GP-IB 連接以下的。 HOM2-N（分光器） HOM2-D（Lock-In Amp）試驗(yàn)開始時(shí)出現(xiàn)以下的窗口。沒有問題進(jìn)入下一個(gè)處理階段。4.3.復(fù)原動(dòng)作的選擇從下面3 個(gè)機(jī)能中選擇需要機(jī)能。1.全新的蒸鍍成膜從層開始進(jìn)行時(shí)，選擇此機(jī)能。從指定層開始蒸鍍2.Optorun Co., Date 200802.28Ver.1.0接前次的成膜繼續(xù)對(duì)指定層從新進(jìn)行成膜時(shí)指定此處。3. 前次蒸鍍繼續(xù)接前次的成膜繼續(xù)對(duì)指定層進(jìn)行成膜

29、時(shí)指定此處。注：在多次停止層復(fù)原機(jī)能有可能不能正常動(dòng)作。此時(shí)有必要確認(rèn)此層是否正常成膜完了。4.4.確認(rèn)表示確認(rèn)片位置片位置的窗口。要檢查片時(shí)，設(shè)定開始號(hào)碼和結(jié)束號(hào)碼，請(qǐng)按按鈕。在相對(duì)位置指定處打勾，指定的片在相對(duì)位置進(jìn)行。確認(rèn)設(shè)定，按按鈕。4.5.確認(rèn)TOGGLE SWITCH確認(rèn)TOGGLE SWITCH 的窗口。沒有問題進(jìn)入下一個(gè)處理階段。Optorun Co., Date 200802.29Ver.1.0ContinueTest工件盤旋轉(zhuǎn)開關(guān)用PLC 的觸屏面的TOGGLE SWITCH 自動(dòng)進(jìn)行工件盤旋轉(zhuǎn)。電子槍的各個(gè)電子槍SWITCH 為EXT。INT-EXT4.6.Filamen

30、t anneal在主操作畫面的設(shè)定“EB Filament anneal”處打勾，F(xiàn)ilament anneal 實(shí)行（如下圖）。注意此處理真空度在 3.98E-2Pa 以下才可進(jìn)行。PLC 排氣動(dòng)作手動(dòng)時(shí)也不能進(jìn)行此處理。排氣選擇自動(dòng)模式。4.7.確認(rèn)成膜開始條件確認(rèn)在“成膜文件”處指定的成膜開始條件。Optorun Co., Date 200802.Ver.1.0只有在試驗(yàn)?zāi)Ｊ絼?dòng)作及復(fù)原時(shí)，顯示“Skip“按鈕。條件成立后，自動(dòng)進(jìn)入下一個(gè)處理階段。4.8.離子槍暖機(jī)實(shí)行離子槍暖機(jī)處理。此處理在主畫面上設(shè)定離子槍中離子槍使用項(xiàng)打，才有效。否則不能實(shí)行。離子源的暖機(jī)和的暖機(jī)結(jié)束后自動(dòng)進(jìn)入下一個(gè)

31、處理階段。處理過程中也可使用跳過按鈕進(jìn)入下一個(gè)處理階段。Optorun Co., Date 200802.31Ver.1.0強(qiáng)制跳過4.9. 單色儀的初期化實(shí)行單色儀的初期化處理。此處理在主操作畫面設(shè)定處“分光器 初期化省略”未打可實(shí)行。4.10. 設(shè)定離子數(shù)設(shè)定離子數(shù)。此處理在主畫面上設(shè)定離子槍中離子槍使用項(xiàng)打，才有效。否則不能實(shí)行。到達(dá)指定參數(shù)時(shí)進(jìn)入下一階段。Optorun Co., Date 200802.32Ver.1.04.11.指定層分的成膜 成膜畫面分為以下部分。表示層處理狀態(tài)光量值處理關(guān)聯(lián)各層的參數(shù)表示各圖表EB 等的設(shè)定變更部分接續(xù)的狀態(tài)表示部動(dòng)作按鈕部分Optorun Co

32、., Date 200802.33Ver.1.04.9.1.表示層處理狀態(tài)4.9.2.光量處理關(guān)聯(lián)Optorun Co., Date 200802.34Ver.1.0表示此層預(yù)定的極值數(shù)表示此層檢測(cè)出極值數(shù)。雙擊此位置可表示在此層檢測(cè)出的極值一覽表。方式選擇“比例”時(shí)， 表示比例值。表示預(yù)定停止的光量值表示現(xiàn)在的光量值表示 EB 擋板打開后的時(shí)間?，F(xiàn)在處理層開始的時(shí)間。表示 EB 擋板距離打開的時(shí)間。表示最終層的號(hào)碼。表示處理中的層號(hào)。表示開始層的號(hào)碼。4.9.3.各層參數(shù)Optorun Co., Date 200802.35Ver.1.0表示膜厚的上限值和下限值。表示設(shè)定比率。表示成膜速度。

33、表示現(xiàn)在的膜厚。表示水晶膜厚時(shí)的膜厚。表示成膜最大時(shí)間。表示波長(zhǎng)表示初期光量值表示初期光量變化方向表示此層的方式，雙擊此處可以暫時(shí)切換到“Manual Stop”表示material 的名稱。4.9.4.表示各圖表Optorun Co., Date 200802.36Ver.1.0表示此次成膜全層的光量變化。表示現(xiàn)在成膜中的層。表示需要的層號(hào)，按Enter 表示。使圖左右移動(dòng)表示 1 層的光量變化?？v軸開始光量指定。按下Off Set 更改設(shè)定縱軸比例指定。按下Gain Set 更改設(shè)定縱軸光量變化顯示自動(dòng)變更。層終了預(yù)定時(shí)間真空度，EB 放射電流，成膜比率用圖表表示各層開始真空度和放射電流，

34、Rate 為擋板開后的圖表。4.9.5.成膜等的設(shè)定變更部分成膜點(diǎn)擊“蒸鍍”處，出現(xiàn)下圖。頻率表示現(xiàn)在的頻率。點(diǎn)擊按鈕，交換下一片水晶。“排氣鎖定”打勾后，成膜結(jié)束后保持排氣狀態(tài)。未打，成膜結(jié)束后進(jìn)行破真空處理。在此頁也可進(jìn)行APC/MFC 設(shè)定變更。Optorun Co., Date 200802.37Ver.1.0水晶換下一片電子槍點(diǎn)擊“電子槍”處，出現(xiàn)下圖。EMI:變更放射電流值。XP：變更X 位置。XS：變更X 掃描值。YP：表更Y 位置。YS：變更Y 掃描值。離子槍點(diǎn)擊“離子槍”，出現(xiàn)下圖。圖中 Setting之下的值為各離子數(shù)的設(shè)定值。與此相鄰的 Min 和 Max之下的值為ACS

35、 所設(shè)定的相關(guān)值的最大最小范圍。ACS 會(huì)監(jiān)視相關(guān)的參數(shù)，如果超過此處表示的范圍， 則意味著IBS 工作狀態(tài)不正常，會(huì)由ACS 給出警報(bào)。被監(jiān)視的參數(shù)有Beam Current, Beam Voltage 和Emission Current。成膜速度點(diǎn)擊“成膜速度”，出現(xiàn)下圖。Optorun Co., Date 200802.38Ver.1.0可變更成膜的設(shè)定比率。點(diǎn)擊監(jiān)視開始設(shè)定按鈕，從EB 擋板開開始在指定的秒數(shù)后監(jiān)視開始。比率變化量監(jiān)視機(jī)能使用時(shí)在此可指定其動(dòng)作。光學(xué)點(diǎn)擊光學(xué)，表示下圖。ACS 系統(tǒng)，從光學(xué)膜厚計(jì)輸出得光量值數(shù)據(jù)處理進(jìn)行“Optical”和 “LightRatioPeak

36、”。為了監(jiān)視這些方法是否正確進(jìn)行光量逆行，在這頁上表示以下監(jiān)視項(xiàng)目。光量值的變化方向?yàn)锳CS 所指方向時(shí)呈綠色，反之呈紅色。光量變化過大光量值的變化量比指定值多時(shí)呈紅色。光量變化小光量值變化極少時(shí)呈紅色。極值數(shù)極值的數(shù)比設(shè)定值多時(shí)呈紅色。過載光量太紅色。最終光量未到達(dá)此錯(cuò)誤為以“LightRatioPeak”方式此錯(cuò)誤發(fā)生時(shí)，ACS 自動(dòng)進(jìn)入下一層。時(shí)，在到達(dá)指定的光量值前就檢出極值時(shí)發(fā)生。發(fā)生以上的時(shí)，有2 個(gè)方法可指定ACS 的動(dòng)作。蜂鳴器響出現(xiàn)錯(cuò)誤蒸鍍停止警器蜂鳴。（成膜部中斷）指定此處時(shí)，中斷成膜。Optorun Co., Date 200802.39Ver.1.0連接器的狀態(tài)表示部R

37、C,UZ 是在“蒸鍍工藝文件”中指定的不感帶和逆反的設(shè)定值。之下表示為HOM2-D 的感度及HOM2-N 的前置擴(kuò)大器的設(shè)定值。“薄膜指數(shù)” 表示現(xiàn)在膜的薄膜指數(shù)。連續(xù)器的狀態(tài)表示動(dòng)作按鈕部Optorun Co., Date 200802.40Ver.1.0分光器的濾波器位置坩堝的 CUP 位置APC 的流量值片的設(shè)置APC 的設(shè)定值片的實(shí)際位置現(xiàn)在的真空度水晶位置電子槍預(yù)備加熱時(shí)點(diǎn)燈電子槍的設(shè)定值坩堝設(shè)定結(jié)束時(shí)點(diǎn)燈電子槍準(zhǔn)備結(jié)束后點(diǎn)燈工件盤旋轉(zhuǎn)設(shè)定結(jié)束后點(diǎn)燈與XTC2 通信中點(diǎn)燈片設(shè)定結(jié)束后點(diǎn)燈。分光器設(shè)定結(jié)束時(shí)點(diǎn)燈。與PLC 通信中點(diǎn)燈擋板閉 點(diǎn)擊按鈕結(jié)束現(xiàn)在的層，進(jìn)入下一層。點(diǎn)擊停止按鈕

38、，成膜暫時(shí)停止，表示畫面。操作者選擇繼續(xù)進(jìn)行此層成膜或進(jìn)入下一層。第 5 章片測(cè)試表示以下畫面。點(diǎn)擊主操作畫面上進(jìn)行分光器的初期化。按鈕開始測(cè)試。測(cè)試結(jié)束后，未使用部分呈白色，使用部分呈黃色。Optorun Co., Date 200802.41Ver.1.0Check進(jìn)行分光器的波長(zhǎng)設(shè)定。片現(xiàn)在值的移動(dòng)到切換透過和反射。表示現(xiàn)在的 HOM-2D 的數(shù)值。指定片的測(cè)試范圍。片測(cè)試為了使測(cè)試正確進(jìn)行，有必要事先設(shè)定作為基礎(chǔ)的片號(hào)碼及進(jìn)試波長(zhǎng)。設(shè)定測(cè)試條件可在主畫面上一起按下Ctrl、Alt、Shift3 個(gè)鍵同時(shí)點(diǎn)擊按鈕，表示Dialog box。在此可設(shè)定參數(shù)。第 6 章水晶傳感器檢測(cè)按鈕，表

39、示以下畫面。點(diǎn)擊主操作畫面點(diǎn)擊按鈕測(cè)試開始。測(cè)試結(jié)束后，好部分呈白色，不好部分呈黃色。另外，測(cè)試前的未測(cè)試部分呈灰色。Optorun Co., Date 200802.42Ver.1.0檢測(cè)開始表示水晶設(shè)定水晶測(cè)試范圍如各層開始時(shí)頻率低于設(shè)定頻率時(shí)，自動(dòng)交換下一片水晶。在此打勾，監(jiān)視器一直監(jiān)視設(shè)定號(hào)碼的頻率和。水晶傳感器Check第 7 章 維護(hù)維護(hù)的范圍包括設(shè)備的部件及設(shè)備的管理。7.1.維護(hù)參數(shù)的種類維護(hù)的范圍包括lllllllll7.2.維護(hù)時(shí)期的管理旋轉(zhuǎn)泵機(jī)械泵油擴(kuò)散泵工件盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)電子槍及電子槍的燈絲燈泡中和器離子束Penning Gauge前項(xiàng)各部品及設(shè)備的維護(hù)時(shí)期,顯示在主操作畫面的右下部分?？梢詤⒖荚撎?。該區(qū)域的進(jìn)展條隨著各部件及設(shè)備的使用時(shí)間的增加而延伸。又、進(jìn)展條表示的各部