MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用

1、成員：。MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用目 錄CONTENTSMEMS在手機(jī)中的運(yùn)用02MEMS的概念01p 概念p 優(yōu)點(diǎn)p MEMS加速計(jì)p MEMS陀螺儀p MEMS麥克風(fēng)PARTONEMEMS概念1 MEMS的概念1優(yōu)點(diǎn) MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-Electro Mechanical System），微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。 它是利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機(jī)械，并將其與對(duì)應(yīng)電路集成為一個(gè)整體的技術(shù)。 l 相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械，它們的尺寸更??；l 采

2、用以硅為主的材料，電氣性能優(yōu)良；l 采用與集成電路（IC）類似的生成技術(shù)，進(jìn)行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。MEMSPARTTWOMEMS在手機(jī)中的運(yùn)用2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用2 MEMS應(yīng)用廣泛，涉及航天航空，消費(fèi)類電子、汽車工業(yè)等多領(lǐng)域。 在智能手機(jī)上，MEMS傳感器提供在聲音性能、場(chǎng)景切換、手勢(shì)識(shí)別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應(yīng)用。 下面主要介紹三種運(yùn)用為加速計(jì)、陀螺儀與MEMS麥克風(fēng)。應(yīng)用2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用3分為三種：壓電式、容感式、熱感式。MEMS加速計(jì)1. 壓電式 運(yùn)用壓電效應(yīng)，在其內(nèi)部有一個(gè)剛體支撐的質(zhì)量快，有運(yùn)動(dòng)的

3、情況下質(zhì)量塊會(huì)產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應(yīng)變，把加速度轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸出。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用4MEMS加速計(jì)2. 容感式 標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動(dòng)活動(dòng)質(zhì)量塊的移動(dòng)從而改變平板電容兩極的間距和正對(duì)面積，通過測(cè)量電容變化量來計(jì)算加速度。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用5MEMS加速計(jì)3. 熱感式 內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，中央有一個(gè)加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時(shí)在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個(gè)熱氣團(tuán)，熱氣團(tuán)的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性，熱氣團(tuán)的移動(dòng)形成的熱場(chǎng)變化讓感應(yīng)器感性到加速度值。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用6MEMS加速計(jì) 根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS加速計(jì)可以把

4、圖像、視頻等進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。通過上下左右傾斜手機(jī)，可以查看手機(jī)菜單；還能檢測(cè)到用戶抖動(dòng)手機(jī)的動(dòng)作，可以用于跳轉(zhuǎn)播放歌曲等。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用7MEMS陀螺儀 MEMS陀螺儀是科里奧利力的最常見應(yīng)用。旋轉(zhuǎn)中的陀螺儀可對(duì)各種形式的直線運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生反應(yīng)，通過記錄陀螺儀部件受到的科里奧利力可以進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的測(cè)量與控制。一般的MEMS陀螺儀由梳子結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部分和電容板形狀的傳感部分組成，是補(bǔ)充MEMS加速計(jì)功能的理想技術(shù)。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用8MEMS陀螺儀 MEMS陀螺儀通常安裝有兩個(gè)方向的可移動(dòng)電容極。徑向的電容極加震蕩電壓迫使物體做徑向運(yùn)動(dòng)，橫向的電容極測(cè)量由于橫向科里奧利運(yùn)動(dòng)帶來電容變化。 因而

5、，MEMS陀螺儀內(nèi)“陀螺物體”在驅(qū)動(dòng)下不斷做徑向運(yùn)動(dòng)或震蕩，可以由電容的變化計(jì)算出MEMS陀螺儀的角速度。 原理2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用9 如果組合使用加速計(jì)和陀螺儀這兩種傳感器，系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運(yùn)動(dòng)，為用戶提供現(xiàn)場(chǎng)感更強(qiáng)的用戶使用體驗(yàn)、精確的導(dǎo)航系統(tǒng)以及其他功能。 使用加速度計(jì)和陀螺儀實(shí)現(xiàn)手勢(shì)識(shí)別，比如拍打、雙擊和搖動(dòng)，進(jìn)而激活某些功能和調(diào)節(jié)工作模式。2 MEMS在手機(jī)中的運(yùn)用10MEMS麥克風(fēng) MEMS麥克風(fēng)由兩個(gè)芯片、MEMS傳感 器單元和CMOS電路構(gòu)成。聲信號(hào)在MEMS中轉(zhuǎn)換為電容的變化。CMOC IC將電容變化轉(zhuǎn)換成數(shù)字或模擬輸出電壓，然后通過移動(dòng)設(shè)備中的其他元件進(jìn)行處理。優(yōu)點(diǎn)：尺寸小、靈敏度高、信噪比高、與數(shù)字信號(hào)處理具有適應(yīng)性，生產(chǎn)組裝簡(jiǎn)單，穩(wěn)定性好，在設(shè)備加工制造方面具有可擴(kuò)展性、耐熱性。2 MEMS在手機(jī)中的