飛納臺式電鏡新高度讓桌面型掃描電鏡分辨率突破

1、飛納臺式電鏡新高度，讓桌面型電鏡分辨率突破 10 nm慶祝飛納臺式掃描電鏡再創(chuàng)新高度，分辨率突破 10 納米，將桌面型電鏡的分辨率從真正意義上提高到個(gè)位數(shù)。飛納電鏡現(xiàn)已成為桌面式掃描電鏡市場領(lǐng)導(dǎo)者，是主流掃描電鏡廠家中，唯一只專注桌面式電鏡研發(fā)的廠商。研發(fā)的投入取得了顯著的成果，飛納電鏡成為首個(gè)采用高亮度，1500 小時(shí)壽命 CeB6 燈絲的廠家，一舉成為主流臺式掃描電鏡中分辨率最高的；同時(shí)，將掃描電鏡抽真空的時(shí)間縮短為 15s，速度驚人；首次在掃描電鏡中集成光學(xué)顯微鏡，方便用戶獲得樣品臺的全貌，有了它，就像有了谷歌地圖，用戶對樣品的位置可以有清晰準(zhǔn)確的定位，結(jié)合全自動馬達(dá)樣品臺，查找樣品某個(gè)

2、位置快速簡單。 回顧飛納臺式掃描電鏡的歷史：1997 年，F(xiàn)EI 和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其全球業(yè)務(wù)，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手，代表了全世界最先進(jìn)的電鏡技術(shù)；2006 年，F(xiàn)EI 成立 Phenom World 公司，發(fā)布全球第一臺臺式掃描電子顯微鏡飛納（Phenom），是一款桌面型掃描電鏡，放大倍數(shù) 10,000 倍；2012 年 3 月，Karel.Mast 教授帶領(lǐng)原飛利浦電鏡部門精英研發(fā)出世界首臺電鏡能譜一體機(jī)，能譜探頭從此可以安全地待在電鏡外殼內(nèi)部；同時(shí)推出 3D 粗糙度測量等軟件；2013 年 4 月，Phenom World 優(yōu)化 CeB6 燈絲和內(nèi)部防震設(shè)計(jì)，將分辨率優(yōu)化到 17 nm, 正式

3、推出第三代產(chǎn)品，放大倍數(shù) 100,000 倍，與大型鎢燈絲電鏡分辨率接近，同年 11 月推出顆粒測量統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)；其后不久，Phenom World 推出了新產(chǎn)品 Phenom XL, 樣品尺寸 100*100 mm,可選配二次電子，拓展功能媲美大型鎢燈絲電鏡；同時(shí)推出了孔徑測量統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)；2015 年，PW 推出第 4 代產(chǎn)品，分辨率達(dá)到 14 納米，放大倍數(shù) 13 萬倍；同年，PW 推出了世界首臺熒光電鏡一體機(jī) Delphi,首將關(guān)聯(lián)電鏡技術(shù)發(fā)展成為臺式設(shè)計(jì)；飛納，不僅僅代表著掃描電鏡，更代表著一種創(chuàng)新精神，一種追求卓越的精神，飛納電鏡用實(shí)際成果帶給人們不斷的驚喜。2016 年，飛納電鏡第 5 代產(chǎn)品，分辨率突破 10 nm。第 4 代 Phenom Pro 飛納電鏡專業(yè)版是 14 nm 的高分辨率桌面式掃描電鏡，放大倍數(shù) 13 萬倍；第五代的 Phenom Pro 檢測結(jié)果，分辨率優(yōu)于 10 nm.飛納電鏡性能穩(wěn)定可靠，經(jīng)得起客戶的實(shí)地考察，經(jīng)得起市場的檢驗(yàn)，飛納，會成為您工作最佳的搭檔！2015年，第四代高分辨率專業(yè)版 Phe