MSE微粒噴漿沖蝕法

1、MSE微粒噴漿沖蝕法 基本原理MSE微粒噴漿沖蝕法是指壓縮空氣與漿料（水和固體粒子的混合物）在噴嘴中混合后，最終高速噴射到樣品表面，產(chǎn)生相應(yīng)的沖蝕痕跡。可快速評估各種涂層/材料表面性能，特別適合于目前難以測量的涂層。恒定的壓縮空氣與漿料對材料表面進(jìn)行沖蝕，材料磨損量隨表面強(qiáng)度而變化。再將磨損量的變化轉(zhuǎn)換成磨損率，以此來評估和對比各種材料表面強(qiáng)度，是世界最新的材料評估方法，特別適用于超硬、超軟、透明、超軟、復(fù)合涂層等。涂層/材料綜合性能評價試驗(yàn)機(jī)（MSE微粒噴漿沖蝕法）發(fā)展背景現(xiàn)今測量物體表面涂層、鍍層、鍍膜的膜強(qiáng)度或膜厚度的主要測量方法有：壓痕試驗(yàn)、拉伸試驗(yàn)、彎曲試驗(yàn)、摩擦磨損試驗(yàn)。這些測量涂

2、層、鍍層、鍍膜的方法均存在局限性，不能很好地評價納米級涂層及超硬、超薄、透明、超軟、復(fù)合涂層等材料。MSE微粒噴漿沖蝕法是世界最先進(jìn)的材料/涂層測量的評估方法，恒定的壓縮空氣與漿料持續(xù)對材料表面進(jìn)行沖蝕，材料磨損量隨表面強(qiáng)度而變化。再通過試驗(yàn)機(jī)將磨損量的變化轉(zhuǎn)換成磨損率，以此來評估和對比各種材料表面強(qiáng)度。適用于所有涂層、鍍層、鍍膜，可很好地評估超硬、超軟、透明、超薄、復(fù)合涂層等，填補(bǔ)了現(xiàn)在各種試驗(yàn)機(jī)不能評估硬質(zhì)涂層的空白。領(lǐng)先技術(shù)l 摩擦表面的鍍膜技術(shù)和品質(zhì)管理（如切削工具、滑動表面鍍膜的評價）l 超硬鍍膜的技術(shù)和品質(zhì)管理（如DLC、CVD鉆石的評價）l 透明薄膜的技術(shù)和品質(zhì)管理（如液晶膜的評

3、價）、l 光學(xué)功能膜的評價l 塑料上的硬質(zhì)薄膜的技術(shù)和品質(zhì)管理（如觸摸屏、眼鏡鏡片的評價）l 切削和研磨工具研發(fā)領(lǐng)域/液晶LED研發(fā)領(lǐng)域/半導(dǎo)體研發(fā)領(lǐng)域/燃料、太陽電池的研發(fā)/汽車、飛機(jī)、火箭等堅硬材料和耐高溫材料的研發(fā)試驗(yàn)儀器日本涂層/材料綜合性能評價試驗(yàn)機(jī)（MSE微粒噴漿沖蝕法）超硬、超薄、透明、超軟、復(fù)合涂層的最新評估方法，適用所有涂層、鍍層、鍍膜。可用于評估光學(xué)涂層、DLC、汽車零部件、滑動表面、液晶膜、CVD/金剛石、切削工具等?？捎糜谠u價：涂層強(qiáng)度數(shù)值話、表面至基體的強(qiáng)度變化、涂層與涂層/涂層與基體的結(jié)合力、評價鍍膜工藝、評價涂層的均勻度。性能特點(diǎn)涂層/材料綜合性能評價試驗(yàn)機(jī)（MS

4、E微粒噴漿沖蝕法）儀器特點(diǎn)：1、 MSE是市場上唯一的可以評估堅硬涂層的試驗(yàn)機(jī)，對堅硬涂層具有高分辨能力，可對多種堅硬涂層進(jìn)行評估，如TiN，DLC（類金剛石鍍膜），CBN（立方氮化硼）和金剛石等，填補(bǔ)了現(xiàn)在各種試驗(yàn)機(jī)不能評估堅硬涂層的空白。 2、MSE也是唯一的可對多涂層進(jìn)行精確評估的試驗(yàn)機(jī)。3、MSE微粒碰撞產(chǎn)生的磨損是納米級的，可在不破壞基體材料的情況下，對薄膜涂層進(jìn)行評估。結(jié)合對碰撞微粒的精確控制，具有很好的重復(fù)性。 4、MSE評估分析時間短。漿體的高速噴射使得產(chǎn)生1m的磨損深度只需幾秒時間，Si晶片約3s，藍(lán)寶石約75s，TiN薄膜約350s，DLC約8000s。測量步驟評估事例用MSE微粒噴漿沖蝕法對市場上銷售的六種不同的DLC涂層的銑刀進(jìn)行測量。通過觀察A到F六個試樣圖標(biāo)，可看出其各自表面強(qiáng)度分布不同。即使具有同樣DLC表面涂層，由于磨損率高或低，膜的薄厚會多少有些不同。六種DLC膜的不同加工工藝，導(dǎo)致磨損率最多相差約9倍。膜厚度最小為0.9µm，最大3.4µm。測量應(yīng)用l 涂層和硬質(zhì)涂層材料的研發(fā)l 切削工具和研磨工具的壽命預(yù)測，可與元素分析，劃痕測試等設(shè)備聯(lián)用。l 硬質(zhì)涂層薄膜材料的研發(fā)。l 堅硬新材料的研發(fā)領(lǐng)域，用于尖端技術(shù)（飛機(jī)或火箭）的堅硬材料和耐高溫材料等。l 薄膜制造工藝研發(fā)領(lǐng)域，不同的