數(shù)字半導(dǎo)體測試基礎(chǔ)2

1、精品文檔驗(yàn)證直流參數(shù)(VerifyingDCParameters)YDDOuiput1.IDDGrossCurrentTest對(duì)象:VDDpin目的：粗略檢測流入VDDpin的電源電流是否過大.（在wafertest中很有用，判斷是否有必要繼續(xù)測試.方法：因?yàn)椴灰缶_預(yù)置（而只是簡單預(yù)置，為了使DUT在一個(gè)穩(wěn)定的狀態(tài)，所以IDD標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)該放寬，一般是2-3倍.所有input用驅(qū)動(dòng)接地或電源，outputs不加負(fù)載.用PMU在VDDpin上加VDDmax（最壞情況，測電流，觀察結(jié)果是否符合限制值.錯(cuò)誤分析：有除DUT之外的其它的系統(tǒng)耗電導(dǎo)致電流過大電阻:在VDD和地之間的最小總電阻.可以用一個(gè)等

2、效電阻代替DUT來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性2.IDDStaticCurrentTest對(duì)象:VDDpin目的：檢測當(dāng)DUT預(yù)置在最低電流消耗邏輯狀態(tài)下（靜態(tài)）,消耗的電流是否過大.（是檢測CMOS器件中制程問題的有效方法）方法：執(zhí)彳ftestvectorpattern,將DUT精確預(yù)置在特定邏輯狀態(tài)下.其它的同IDDGrossCurrentTest.錯(cuò)誤分析：有除DUT之外的其它的系統(tǒng)耗電導(dǎo)致電流過大電阻:在VDD和地之間的最小總電阻.可以用一個(gè)等效電阻代替DUT來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性3.IDDDynamicCurrentTest對(duì)象:VDDpin目的：檢測當(dāng)DUT啟動(dòng)運(yùn)行其功能時(shí)，消耗的電流是否

3、過大方法:在最高工彳頻率下，運(yùn)行testvectorpattern,將DUT預(yù)置在啟動(dòng)邏輯狀態(tài)下在測試過程中pattern持續(xù)執(zhí)行.其它的同IDDGrossCurrentTest.錯(cuò)誤分析：有除DUT之外的其它的系統(tǒng)耗電導(dǎo)致電流過大電阻:在VDD和地之間的最小總電阻.可以用一個(gè)等效電阻代替DUT來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性4.VOL/IOL;VOH/IOHa. VOL/IOL（定流測壓）對(duì)象:outputpin目的：測13toutput在邏輯0狀態(tài)的時(shí)候，輸出電阻是否過大.方法（串行/靜態(tài)）:VDD力口VDDmin預(yù)置outputs邏輯0.用PMU向outputpin灌入一個(gè)固定IOL,測電壓，與標(biāo)

4、準(zhǔn)做比較.重復(fù)步驟直到所有outputpin都測完.錯(cuò)誤分析：1）VOL過大但是output邏輯狀態(tài)正確，表明預(yù)置成功，可能器件本身有缺陷.2）VOL過大而且outputpin邏輯狀態(tài)不正確，表明預(yù)置不成功，重新預(yù)置電阻:output在0邏輯狀態(tài)下的最大輸出電阻（outputpin與地之間）用一個(gè)等效電阻代替失敗的DUTpin可以用來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性b. VOH/IOH（定流測壓）對(duì)象:outputpin目的：測13toutput在邏輯1狀態(tài)的時(shí)候，輸出電阻是否過大.方法（串行/靜態(tài)）:VDD力口VDDmin預(yù)置outputs邏輯1.用PMU向outputpin拉出一個(gè)固定IOH,測電壓，

5、與標(biāo)準(zhǔn)做比較.重復(fù)步驟直到所有outputpin都測完.錯(cuò)誤分析：1）VOH過小，但是output邏輯狀態(tài)正確，表明預(yù)置成功，可能器件本身有缺陷.2）VOH過小，約為-0.7v（保護(hù)二極管起了保護(hù)作用）.而且outputpin邏輯狀態(tài)不正確表明預(yù)置不成功，重新預(yù)置電阻:output在1邏輯狀態(tài)下的最大輸出電阻（outputpin與VDD之間）用一個(gè)等效電阻代替失敗的DUTpin可以用來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性5.IIL/IIH/Ia. IIL對(duì)象：allinputpins目的：測tinputpin到VDD電阻是否足夠大方法（串行/靜態(tài)）:VDD為VDDmax（最壞情況）用Drive固定所有的inp

6、utpin為邏輯1.撤除被測試的pin的Drive,在用PMU使這個(gè)pin接VSS（logic0）,測電流.，比較是否超過標(biāo)準(zhǔn)范圍.重復(fù)操作直到所有pin都測完.錯(cuò)誤分析：有除DUT之外的其它的系統(tǒng)耗電導(dǎo)致電流過大器件有缺陷.電阻:input到VDD之間的最小電阻用一個(gè)等效電阻代替可以用來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性b. IIH對(duì)象：allinputpins目的：測13tinputpin到地電阻是否足夠大方法（串行/靜態(tài)）:VDD為VDDmax（最壞情況）用Drive固定所有的inputpin為邏輯0.撤除被測試的pin的Drive,在用PMU使這個(gè)pin接VDD（logic1）,測電流.，比較是否超

7、過標(biāo)準(zhǔn)范圍.重復(fù)操作直到所有pin都測完.錯(cuò)誤分析：有除DUT之外的其它的系統(tǒng)耗電導(dǎo)致電流過大器件有缺陷.電阻:input到地之間的最小電阻用一個(gè)等效電阻代替可以用來驗(yàn)證測試系統(tǒng)的精確性IIL/IIH并行測試法（parallelmethod）InputLeakageTestIIL/IIH)ParallelMethodDUTPMU per pinPMU TestLimitsGTIT-1 Q.OpA精品文檔ApplyVDDmax.UsingPMUporpin,forceeachpintoVDDmax(HHlestj.Wait1to5ms&c(SetPMUdelay).Measureresultan

8、tcurentFails/measuredcurrent(perpin)isoutsidelimits.RepeattestforcingeachpintoVSS(IIL姆時(shí)).每個(gè)inputpin都連接一個(gè)PMU,同時(shí)開始測試，所以速度快，并且能夠直到每個(gè)pin的測試情況IIL/IIHGanged測試法所有inputpin連再一起測一個(gè)總電流，這個(gè)方法之適合用于輸入阻抗較大的電路，如CMOS電路.6.IOZL/IOZHa. IOZL對(duì)象:I/Opin和有高阻態(tài)的outputpin.目的：檢測在高阻態(tài)下outputpin和VDD之間的電阻是否足夠大.方法:outputpin失去驅(qū)動(dòng)能力，由PM

9、U提供電壓電流預(yù)置在高阻態(tài)PMU在outputpin上加VSS,測拉出的電流，是否超過標(biāo)準(zhǔn)范圍錯(cuò)誤分析：1）電流略超標(biāo)，可能是DUT之外系統(tǒng)有其它耗電流，或DUT有缺陷2）電流很大,DUT有嚴(yán)重缺陷，或者DUT未被正確預(yù)置電阻：高阻態(tài)下pin到VDD之間的最小電阻b.c. IOZH對(duì)象:I/Opin和有高阻態(tài)的outputpin.目的：檢測在高阻態(tài)下outputpin和地之間的電阻是否足夠大.方法:outputpin失去驅(qū)動(dòng)能力，由PMU提供電壓電流預(yù)置在高阻態(tài)PMU在outputpin上加VDD,測灌入的電流，是否超過標(biāo)準(zhǔn)范圍錯(cuò)誤分析：1）電流略超標(biāo)，可能是DUT之外系統(tǒng)有其它耗電流，或DUT有缺陷2）電流很大,DUT有嚴(yán)重缺陷，或者DUT未被正確預(yù)置電阻：高阻態(tài)下pin到地的最小電阻7.OutputShortCircuitCurrent(IOS)(定壓0v測流)目的：檢測outpu