工廠無(wú)塵車(chē)間管理規(guī)定

1、范文范例指導(dǎo)學(xué)習(xí)制/修訂/日期：校對(duì)/日期：審核/日期：核準(zhǔn)/日期：發(fā)文/日期：受控狀態(tài)（蓋章）：分發(fā)號(hào)：會(huì)簽部門(mén)會(huì)簽人員外延制造部芯片制造部人資行政部采購(gòu)部銷(xiāo)售管理部生管部廠務(wù)設(shè)備部客服部運(yùn)宮中心技術(shù)中心品管部版別日期撰寫(xiě)者變更要旨Rev.12018-8-5張屏躍新增1.0目的：為創(chuàng)建整潔安全生產(chǎn)環(huán)境及規(guī)范人員對(duì)無(wú)塵室的正確操作，確保無(wú)塵室環(huán)境符合生產(chǎn)條件之要求特制定本規(guī)定。2.0范圍：凡進(jìn)入無(wú)塵室內(nèi)所有人、機(jī)器、物品、原物料、產(chǎn)品等，均屬本規(guī)范管制范圍3.0權(quán)責(zé)：4.0定義：5.0作業(yè)程序：5.1 人員管理規(guī)定5.1.1 不定期對(duì)員工進(jìn)行無(wú)塵室的管理規(guī)定培訓(xùn)。5.1.2 進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)必須穿

2、戴自己的無(wú)塵衣帽和無(wú)塵鞋，不可隨意穿戴他人無(wú)塵衣帽和 無(wú)塵鞋5.1.3 外賓及廠商人員如需進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)，需要經(jīng)生產(chǎn)部門(mén)最高主管許可后并有本司人 員陪同下方可進(jìn)入5.2 更衣室管理規(guī)定更衣室分為換鞋處、男一更、男二更、女一更、女二更。以下簡(jiǎn)述各區(qū)域作用，及員工 進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間的流程及規(guī)范。5.2.1 各區(qū)域作用：5.2.1.1 換鞋處：為員工放置自己鞋子的區(qū)域。5.2.1.2 一更：為員工放置自己外套及個(gè)人物品的區(qū)域。5.2.1.3 二更：為員工更換無(wú)塵服、無(wú)塵鞋的區(qū)域。5.2.2 更衣室使用流程5.2.2.1 換鞋 員工從樓梯口進(jìn)入廠房，通過(guò)設(shè)備進(jìn)口通道，進(jìn)入換鞋區(qū)，在換鞋區(qū)門(mén)口先脫鞋，并將鞋子

3、拿起放至鞋柜，如圖1箭頭標(biāo)示步驟1所示。5.2.2.2 至一更放置外套等個(gè)人物品從換鞋區(qū)進(jìn)入一更，將外套及其他個(gè)人物品放置個(gè)人柜子，個(gè)人柜子不要放置貴重物品以免丟失，如圖 1步驟2。5.2.2.3 至二更穿戴無(wú)塵服及無(wú)塵鞋如圖1步驟3。圖15.3 無(wú)塵室內(nèi)著裝規(guī)定5.3.1 進(jìn)入無(wú)塵室的人員需穿著合適的無(wú)塵服、鞋子等，以免無(wú)塵衣服鞋子過(guò)小或者過(guò) 大而讓穿著者感到不適。5.3.2 進(jìn)入無(wú)塵室穿戴著裝要求：穿無(wú)塵服一穿無(wú)塵鞋一戴頭套一拉好拉鏈，要求頭發(fā) 無(wú)外露、頭套塞入衣帽內(nèi)，拉鏈要拉到頭并貼好魔術(shù)貼、無(wú)塵服袖貼要綁好、褲腳要塞入無(wú) 塵鞋筒內(nèi)，至風(fēng)淋門(mén)口戴口罩、手套，長(zhǎng)頭發(fā)的要帶發(fā)套，防止頭發(fā)露出

4、。5.3.3 戴口罩、手套步驟要求：先戴口罩，口罩需遮住口鼻，再戴手套，選擇合適自己 的手套型號(hào)（M S、L）,從手套開(kāi)口處拿起手套穿戴，過(guò)程中手不要碰到手套的指套部分。PVC手套防靜電腫圖2進(jìn)入無(wú)塵室穿戴標(biāo)準(zhǔn)5.4 進(jìn)入風(fēng)淋室規(guī)定5.4.1 風(fēng)淋室入口和出口的門(mén)不可同時(shí)打開(kāi)5.4.2 空氣吹除未停止時(shí)，禁止將風(fēng)淋室的門(mén)打開(kāi)5.4.3 進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)，每次進(jìn)入風(fēng)淋室的人數(shù)不得超過(guò)4人，出來(lái)時(shí)限制10人以下5.4.4 在風(fēng)淋室內(nèi)，須按照規(guī)定位置站立，不可移動(dòng)風(fēng)口的出風(fēng)角度5.4.5 空氣沐浴時(shí)，須雙手舉高，轉(zhuǎn)動(dòng)身體并輕拍打無(wú)塵服，以利灰塵吹除，無(wú)塵服不 可接觸墻壁和地板5.4.6 進(jìn)出風(fēng)淋室時(shí)，雙

5、腳須多次踩踏粘塵墊，以利清除鞋底灰塵和異物5.4.7 空氣沐浴的吹除時(shí)間為20秒/次，吹除結(jié)束3秒后才可開(kāi)門(mén)進(jìn)入無(wú)塵室5.5 無(wú)塵室內(nèi)紀(jì)律規(guī)定5.5.1 嚴(yán)禁攜帶食品、飲料、零食及私人物品進(jìn)入無(wú)塵室5.5.2 進(jìn)入無(wú)塵室的人員不可化濃妝、圖指甲油、留長(zhǎng)指甲5.5.3 無(wú)塵室內(nèi)嚴(yán)禁嬉戲打鬧、奔跑、聚眾聊天、大聲喧鬧，聽(tīng)音樂(lè)、打瞌睡、看報(bào)刊 雜志等與工作無(wú)關(guān)的事項(xiàng)。5.5.4 剛做完劇烈運(yùn)動(dòng)，應(yīng)靜止10分鐘后方可進(jìn)入無(wú)塵室，飲酒者嚴(yán)禁進(jìn)入無(wú)塵室5.5.5 戴上手套后嚴(yán)禁觸膜臉部或人體任何其他裸露的皮膚，防止油脂污染，如不小心 觸摸到須立即更換新手套；5.6 無(wú)塵室內(nèi)使用物品規(guī)定5.6.1 進(jìn)入無(wú)塵

6、室的任何物品必須經(jīng)過(guò)清潔處理后方可進(jìn)入5.6.2 原物料進(jìn)入車(chē)間前，必須將外包裝拆除（特殊原因無(wú)法拆除外包裝的要將外包裝 擦拭干凈），并將外表面擦拭干凈后通過(guò)貨淋進(jìn)入無(wú)塵室，避免將污染源帶進(jìn)無(wú)塵室。5.6.3 設(shè)備、儀器、備件等大件物品無(wú)法通過(guò)貨淋的，需要在進(jìn)入車(chē)間前進(jìn)行外表面清 潔，確保干凈后方可進(jìn)入。5.6.4 未經(jīng)允許嚴(yán)禁在車(chē)間內(nèi)使用個(gè)人電腦、手機(jī)、 U盤(pán)、移動(dòng)硬盤(pán)等可存儲(chǔ)設(shè)備，嚴(yán) 禁在車(chē)間內(nèi)使用相機(jī)或者手機(jī)拍照和攝像。 必須使用U盤(pán)等存儲(chǔ)設(shè)備時(shí)需要經(jīng)過(guò)我司IT認(rèn)證 后方可使用。5.6.5 車(chē)間內(nèi)所有的USBg口禁止使用，更不允許用 USB口進(jìn)行充電。5.6.6 未經(jīng)許可嚴(yán)禁將車(chē)間內(nèi)的物

7、品私自帶出。5.6.7 車(chē)間內(nèi)嚴(yán)禁明火5.7 無(wú)塵室內(nèi)施工規(guī)定5.7.1 進(jìn)入無(wú)塵室施工前要向部門(mén)主管提出施工申請(qǐng)，取得同意并發(fā)放施工證（外來(lái)人員用訪客證換取施工證，施工結(jié)束后將施工證換回訪客證）后方可進(jìn)行施工5.7.2 施工人員進(jìn)入無(wú)塵室要按照著裝規(guī)定穿好無(wú)塵服，并進(jìn)行必要的安全防護(hù)5.7.3 施工必要的工具和材料須按照無(wú)塵室內(nèi)使用物品規(guī)定進(jìn)行必要的清潔處理后方 可進(jìn)入無(wú)塵室5.7.4 施工房間的設(shè)備、地面和墻壁等要做必要的防護(hù)措施，確保房間內(nèi)的設(shè)施不會(huì)損 壞。施工期間需要我司人員現(xiàn)場(chǎng)全程陪同。5.7.5 施工結(jié)束后，施工人員要將現(xiàn)場(chǎng)清理干凈，并將施工留下的垃圾一并帶出無(wú)塵室。5.7.6 車(chē)

8、間內(nèi)施工如需用到明火，必須要廠務(wù)安全部門(mén)的人員在場(chǎng)監(jiān)督。5.8 無(wú)塵衣、帽、鞋清洗規(guī)定5.8.1 無(wú)塵衣帽必須按照要求懸掛在衣架上，無(wú)塵鞋按照編號(hào)放置在鞋架上，不得隨意放置5.8.2 無(wú)塵衣帽和無(wú)塵鞋每周清洗一次， 發(fā)現(xiàn)無(wú)塵服臟污必須第一時(shí)間更換，絕對(duì)禁止穿著臟污的無(wú)塵服作業(yè)。車(chē)間只允許穿著同一種標(biāo)識(shí)顏色的無(wú)塵服。5.8.3 品保要定期對(duì)無(wú)塵服進(jìn)行檢測(cè)，包括清洗后的潔凈度是否合格，無(wú)塵服的防靜電word版本整理分享范文范例指導(dǎo)學(xué)習(xí)功能是否達(dá)標(biāo)。5.9 無(wú)塵室潔凈度規(guī)定5.9.1 溫濕度監(jiān)測(cè)程序5.9.1.1 測(cè)頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.1.2 監(jiān)測(cè)地點(diǎn)：車(chē)間正中間位置（勿在排風(fēng)口附

9、近、人員聚集地）5.9.1.3 記錄員：品保人員5.9.1.4 填寫(xiě)無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)表無(wú)塵室溫濕度監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)：溫度：22 c 2C 濕度：55%RHt 10%5.9.2 塵埃粒子監(jiān)測(cè)程序5.9.2.1 量測(cè)頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.2.2 量測(cè)地點(diǎn)：車(chē)間正中間位置（勿在排風(fēng)口附近、人員聚集地）5.9.2.3 測(cè)量高度：離地1.2米5.9.2.4 測(cè)量員及記錄員：品保人員5.9.2.5 測(cè)量步驟：見(jiàn)xxxxx文件5.9.2.6 填寫(xiě)無(wú)塵室環(huán)境監(jiān)測(cè)表5.9.3 如廠務(wù)系統(tǒng)發(fā)生變化，廠務(wù)要負(fù)責(zé)通知品保，品保立即對(duì)環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，確保無(wú) 異常。5.9.4 無(wú)塵室潔凈度定義及監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)無(wú)塵室塵埃粒子監(jiān)控點(diǎn)及參考標(biāo)準(zhǔn)粒徑廠區(qū)監(jiān)控點(diǎn)潔凈等級(jí)規(guī)格上限0.5um (單位：pcs/m3)光刻T級(jí)_ _ _3、35,200 (1000pcs/ft3)化學(xué)清洗T級(jí)_ 3352,000(1000pcs/ft )蒸鍍T級(jí)_ _ _3、352,000(1000pcs/ft3)晶圓測(cè)試T級(jí)352,000(1000pcs/ft3)DBRT級(jí)352,000(1000pcs