版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、南昌大學(xué)本科生畢業(yè)設(shè)計(論文)書寫式樣一、頁面設(shè)置:上2.54cm,下2.54cm,左3.67cm,右2.67cm,行間距1.35倍。二、目錄:“目錄”兩字小三號宋體加粗,目錄內(nèi)容小四號宋體。三、摘要1 中文摘要:標(biāo)題小二號宋體加粗,“專業(yè)、學(xué)號、姓名、指導(dǎo)教師”五號宋體,“摘要”兩字四號宋體,摘要內(nèi)容小四號宋體,“關(guān)鍵詞”三字小四號宋體加粗,2 英文摘要:標(biāo)題小二號Times New Roman 體加粗,“Abstract” 四號Times New Roman 體;“Abstract” 內(nèi)容小四號Times New Roman 體,“Keyword”小四號Times New Roman 體加
2、粗。四、正文:標(biāo)題四號宋體,正文內(nèi)容小四號宋體。五、圖表:圖表內(nèi)容五號宋體。六、參考文獻(xiàn):參考文獻(xiàn)四字四號宋體,參考文獻(xiàn)內(nèi)容小四號宋體,其中英文用小四號Times New Roman 體。七、致謝:致謝兩字四號宋體,致謝內(nèi)容小四號宋體。具體書寫式樣如下:1、目錄式樣(內(nèi)容小四號宋體)目 錄(小三號宋體)摘要Abstract 第一章 GaN基半導(dǎo)體材料及器件進(jìn)展(多數(shù)文章為“緒論”) 11 .1 III族氮化物材料及其器件的進(jìn)展與應(yīng)用 1 1. 2 III族氮化物的基本結(jié)構(gòu)和性質(zhì) 41. 3 摻雜和雜質(zhì)特性 121. 4 氮化物材料的制備 131. 5 氮化物器件 191. 6 GaN基材料與其
3、它材料的比較 221. 7 本論文工作的內(nèi)容與安排 24第二章 氮化物MOCVD生長系統(tǒng)和生長工藝 31 2. 1 MOCVD材料生長機(jī)理 31 2. 2本論文氮化物生長所用的MOCVD設(shè)備 32結(jié)論 136參考文獻(xiàn)(References)138致謝 1502、摘要式樣(1)中文摘要式樣(內(nèi)容小四號宋體)III-族氮化物及其高亮度藍(lán)光 LED外延片的MOCVD生長和性質(zhì)研究(小二號宋體)專 業(yè): 學(xué) 號: 學(xué)生姓名: 指導(dǎo)教師:(五號宋體)摘 要(四號宋體)寬禁帶III族氮化物半導(dǎo)體材料在短波長高亮度發(fā)光器件、短波長激光器、光探測器以及高頻和大功率電子器件等方面有著廣泛的應(yīng)用前景。自1994年
4、日本日亞化學(xué)工業(yè)公司率先在國際上突破了GaN基藍(lán)光LED外延材料生長技術(shù)以來,美、日等國十余家公司相繼報導(dǎo)掌握了這項關(guān)鍵技術(shù),并分別實(shí)現(xiàn)了批量或小批量生產(chǎn)GaN基LED。盡管如此,這項高技術(shù)仍處于高度保密狀態(tài),材料生長的關(guān)鍵思想及核心技術(shù)仍未公開,還無法從參考文獻(xiàn)及專利公報中獲取最重要的材料生長信息。本論文就是在這種情況下立題的,旨在研究GaN基材料生長中的物理及化學(xué)問題,為生長可商品化的高亮度GaN基LED外延材料提供科學(xué)依據(jù)。本文在自制常壓MOCVD和英國進(jìn)口MOCVD系統(tǒng)上對III族氮化物的生長機(jī)理進(jìn)行了研究,對材料的性能進(jìn)行了表征。通過設(shè)計并優(yōu)化外延片多層結(jié)構(gòu),生長的藍(lán)光LED外延片質(zhì)
5、量達(dá)到了目前國際上商品化的中高檔水平。并獲得了如下有創(chuàng)新和有意義的研究結(jié)果:1首次提出了采用偏離化學(xué)計量比的緩沖層在大晶格失配的襯底上生長單晶膜的思想,并在GaN外延生長上得以實(shí)現(xiàn)。采用這種緩沖層,顯著改善了GaN外延膜的結(jié)晶性能,使GaN基藍(lán)光LED器件整體性能大幅度提高,大大降低了GaN基藍(lán)光LED的反向漏電流,降低了正向工作電壓,提高了光輸出功率。本文得到了國家863計劃、國家自然科學(xué)基金以及教育部發(fā)光材料與器件工程研究中心項目的資助。關(guān)鍵詞(小四號宋體加粗):氮化物; MOCVD; LED;盧瑟福背散射溝道;光致發(fā)光;光透射譜 (2)外文摘要式樣(內(nèi)容小四號Times New Roma
6、n 體) Study on MOCVD growth and properties of III-nitrides and high brightness blue LED wafers(小二號Times New Roman 體) Abstract (四號Times New Roman 體)GaN based - nitrides have potential applications on high brightness LEDs, short wavelength lasers, ultraviolet detectors, high temperature and high power
7、electronic devices. Study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor.More than ten companies in America and Japan reported to have developed the nitrides growth technology since Nichia company in Japan first realized the commercialization of GaN ba
8、sed blue LED in 1994.In this thesis,GaN and its ternary were grown by a home-made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) and Thomas Swan 6×2” MOCVD systems. High bright blue LED wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure. So
9、me encouraging results are following as:1. We present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates. This idea was realized in nitrides growth in this thesis. The epilayer crystalline quality was improved and the dislocatio
10、n density was decreased by using GaN low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry. The RBS/channeling spectra exhibited that the minimum yield min of GaN layers was just only 1.5%. The leak electric current of GaN based LED was obviously decreased and lower than 1A at 5 vol
11、t reverse voltage by using this new buffer technology.This work was supported by 863 program in China.Keyword: (小四Times New Roman 體加粗)Nitrides;MOCVD;LED;Photoluminescence;RBS/channeling;Optical absorption3、正文式樣 (標(biāo)題四號宋體,正文內(nèi)容小四號宋體)第一章 GaN基半導(dǎo)體材料及器件進(jìn)展1 .1 III族氮化物材料及其器件的進(jìn)展與應(yīng)用 在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程中,材料永遠(yuǎn)扮演著重要角色。在與現(xiàn)代
12、科技成就息息相關(guān)的千萬種材料中,半導(dǎo)體材料的作用尤其如此。以Si為代表的第一代半導(dǎo)體誕生于20世紀(jì)40年代末,它們促成了晶體管、集成電路和計算機(jī)的發(fā)明。以GaAs為代表的第二代半導(dǎo)體誕生于20世紀(jì)60年代,它們成為制作光電子器件的基礎(chǔ)。III族氮化物半導(dǎo)體材料及器件研究歷時30余年,前20年進(jìn)展緩慢,后10年發(fā)展迅猛。由于III族氮化物特有的帶隙范圍,優(yōu)良的光、電性質(zhì),優(yōu)異的材料機(jī)械和化學(xué)性能,使得它在短波長光電子器件方面有著廣泛的應(yīng)用前景;并且非常適合制作抗輻射、高頻、大功率和高密度集成的電子器件。III族氮化物半導(dǎo)體材料已引起了國內(nèi)外眾多研究者的興趣。 12 III族氮化物的基本結(jié)構(gòu)和性質(zhì)
13、 4、圖表式樣(內(nèi)容五號宋體)(1)表式樣表1-1用不同技術(shù)得到的帶隙溫度系數(shù)、Eg0、ac和T0的值樣品類型實(shí)驗方法帶隙溫度系數(shù)dEg/dT(eV/K)T=300KEg0(eV)ac (eV/K)T0 (K)參考文獻(xiàn)GaN/Al2O3光致發(fā)光-5.32´10-43.5035.08´10-4-99661GaN/Al2O3光致發(fā)光¾3.4897.32´10-470059GaN/Al2O3光致發(fā)光-4.0´10-4¾-7.2´10-460062GaN/Al2O3光吸收-4.5´10-43.471-9.3´10
14、-477263(2)圖式樣加熱電阻氣流測溫元件測溫元件圖熱風(fēng)速計原理轉(zhuǎn)換控制頻率信 號 源頻率控 制 器地址發(fā)生 器波形存儲 器轉(zhuǎn)換器濾波器頻率設(shè)置波形數(shù)據(jù)設(shè)置 圖2 DDS方式AWG的工作流程5、參考文獻(xiàn)式樣(內(nèi)容小四號宋體)參考文獻(xiàn)(References)(四號宋體)1 WellMultiple-modulator fraction-n dividerPUS Patent,50381171986-02-022 Brian MillerA multiple modulator fractionl dividerJIEEE Transaction on instrumentation and Measurement,1991,40(2):578-5833 萬心平,張厥盛集成鎖相環(huán)路原理、特性、應(yīng)用M北京:人民郵電出版社,1990302-3074 MilerFrequency synthesizersPUS Patent,46098811991-08-065 Candy J CA use
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 2025年全球及中國隱形滲透性密封劑行業(yè)頭部企業(yè)市場占有率及排名調(diào)研報告
- 山東省日照市高三上學(xué)期期末考試語文試卷(含答案)
- 2025會議 展覽合同
- 2025機(jī)動車買賣合同模板
- 運(yùn)輸類合同范本
- 南寧房屋租賃服務(wù)合同模板
- 2025建筑施工物資租賃合同示范文本無擔(dān)保方
- 雞蛋供貨采購合同
- 借款用于投資合同
- 技能培訓(xùn)中的表達(dá)技巧訓(xùn)練
- 2024年資格考試-對外漢語教師資格證筆試參考題庫含答案
- 2024年4月自考02382管理信息系統(tǒng)答案及評分參考
- (蘇版)初三化學(xué)上冊:第2單元課題1空氣
- 2023年12月廣東珠海市軌道交通局公開招聘工作人員1人筆試近6年高頻考題難、易錯點(diǎn)薈萃答案帶詳解附后
- 腹腔鏡腎上腺腫瘤切除術(shù)查房護(hù)理課件
- 燃?xì)庹质綘t應(yīng)急預(yù)案
- 專題23平拋運(yùn)動臨界問題相遇問題類平拋運(yùn)和斜拋運(yùn)動
- 超聲科醫(yī)德醫(yī)風(fēng)制度內(nèi)容
- 高三開學(xué)收心班會課件
- 蒸汽換算計算表
- 四年級計算題大全(列豎式計算,可打印)
評論
0/150
提交評論