微模組圖像制作

1、1微模組圖像製作微模組圖像製作 Advisor : 王聖璋 教授碩研能源一甲 黃俊嘉 南臺科技大學(xué) Jyun-Jia HuangSouthern Taiwan University Institute of Energy Engineering2010/04/292實驗?zāi)康膶嶒災(zāi)康膎將進(jìn)行製作新光罩商標(biāo)圖案，進(jìn)行三色圖樣之電著與熱壓轉(zhuǎn)印實驗(塗佈光阻層到去除光阻層製程將循環(huán)兩次最後在電著第三個顏色) 。n在固化鍍膜方面，在不影響矽油及鍍膜情況下，將進(jìn)行高溫點烘烤，藉使鍍膜之穩(wěn)定性提升。n進(jìn)行新配方電泳漆之電著轉(zhuǎn)印(不塗佈矽油層，直接電著)，並以光學(xué)顯微鏡觀察其實驗結(jié)果。 3Stainless

2、steel塗佈塗佈primer塗佈矽油層塗佈矽油層塗佈光阻層塗佈光阻層放光罩放光罩I曝光顯影曝光顯影EPD-鍍漆鍍漆(紅紅)去除光阻層去除光阻層塗佈黏著層塗佈黏著層熱壓轉(zhuǎn)印熱壓轉(zhuǎn)印塗佈光阻層塗佈光阻層放光罩放光罩II曝光顯影曝光顯影EPD-鍍漆鍍漆(藍(lán)藍(lán))去除光阻層去除光阻層EPD-鍍漆鍍漆(黃黃)微模組圖像轉(zhuǎn)印製程微模組圖像轉(zhuǎn)印製程4三色鍍層電著與熱壓轉(zhuǎn)印三色鍍層電著與熱壓轉(zhuǎn)印(色料色料)n矽油旋轉(zhuǎn)塗佈: 800rpm 10s 、5000rpm 20s 固化參數(shù): 170 40min 矽油比例: 1:10n光阻旋轉(zhuǎn)塗佈: 1000rpm 10s 、2000rpm 20s 固化參數(shù): 110

3、3minn光阻曝光參數(shù): 2s 固化參數(shù): 110 1minn圖樣顯影參數(shù): NaOH(1g)+DI water(99g) 顯影時間:10sn電著參數(shù): DC-100V 30s 固化參數(shù):150oC、20min 電泳液比例: 5:95n清除光阻參數(shù): KOH(20g)+DI water(80g) 浸泡時間: 3minn熱壓轉(zhuǎn)印參數(shù): 50、 30s、 0.5噸 由實驗結(jié)果得知由實驗結(jié)果得知:由OM圖可觀察出，無論在單色、雙色與三色鍍層電著、光阻清除與熱壓轉(zhuǎn)印皆可獲得良好之實驗結(jié)果。雙色光阻去除雙色鍍層三色鍍層三色轉(zhuǎn)印鍍層5鍍層穩(wěn)定度測試鍍層穩(wěn)定度測試n矽油旋轉(zhuǎn)塗佈: 800rpm 10s 、5

4、000rpm 20s 固化參數(shù): 170 40min 矽油比例: 1:10n光阻旋轉(zhuǎn)塗佈: 1000rpm 10s 、2000rpm 20s 固化參數(shù): 110 3minn光阻曝光參數(shù): 2s 固化參數(shù): 110 1minn圖樣顯影參數(shù): NaOH(1g)+DI water(99g) 顯影時間: 10sn電著參數(shù): DC-100V 30s 固化參數(shù): 200oC、20min 電泳液比例: 5:95n清除光阻參數(shù): KOH(20g)+DI water(80g) 浸泡時間: 3minn清除矽油參數(shù): KOH(5g)+DI water(5g)+IPA(50g) 震盪液比例:NaOH(1g)+DI w

5、ater(99g)由實驗結(jié)果得知由實驗結(jié)果得知:隨著鍍層固化溫度、浸泡時間與震盪之提升時間，由圖片可觀察出，當(dāng)浸泡與震盪時間超過3分鐘鍍層變的易剝落，矽油去除90%，將於後續(xù)實驗再提高固化溫度進(jìn)行改善。鍍層固化 200C浸泡時間: 3min震盪時間: 3min鍍層固化 200C浸泡時間: 3min震盪時間: 4min鍍層固化 200C浸泡時間: 4min震盪時間: 3min6微模組圖樣尺寸微模組圖樣尺寸光罩尺寸15-35 m曝光完尺寸10-25 m電著完尺寸13-33 m由結(jié)果得知由結(jié)果得知:曝光完尺寸有縮小，但不影響電著圖案，電著完圖案有略小原尺寸，轉(zhuǎn)印後尺寸沒變，整體比光罩原尺寸有變小。1

6、0 m10 m10 m電著完尺寸13-33 m10 m量測距離7三色鍍層電著三色鍍層電著(商標(biāo)商標(biāo))由實驗結(jié)果得知由實驗結(jié)果得知:由圖可觀察出，三色可成功電著上，但電著圖案品質(zhì)不好，可能是曝光太長所導(dǎo)致的。三色鍍層塗佈矽油矽油比例: 1:16塗佈光阻曝光顯影EPD(紅)去除光阻重覆一次(藍(lán))EPD(黃)8鍍層穩(wěn)定度測試鍍層穩(wěn)定度測試由實驗結(jié)果得知由實驗結(jié)果得知:隨著鍍層固化溫度的提升有助於鍍層的穩(wěn)定，但超過200oC的固化溫度相對的會破壞鍍層，當(dāng)浸泡越久矽油層變的易剝落，矽油去除95%，成功鍍上鎳。清除矽油鍍鎳OM圖清除矽油鍍鎳圖塗佈矽油矽油比例: 1:16塗佈光阻曝光顯影EPD(紅)去除光阻

7、去除矽油浸泡時間:6 min鍍層固化鍍層固化220C、20minEPD(Ni)9新電泳漆實驗新電泳漆實驗由實驗結(jié)果得知由實驗結(jié)果得知:隨著電泳漆比例之調(diào)整及電壓下降，試片表面氣孔也隨之減少，可成功轉(zhuǎn)印。DC電泳漆:水80V40V30V20V5 : 9 57 : 9 3OM圖 20V 5:95OM圖 20V 7:93n電鍍參數(shù)：DC：120V 、時間:30S n熱壓轉(zhuǎn)印參數(shù):溫度50oC 、時間30s 、壓力0.5噸成功轉(zhuǎn)印鍍層10結(jié)論結(jié)論n在三色鍍層電著與熱壓轉(zhuǎn)印(色料)，由OM圖可觀察出，無論在單色、雙色與三色鍍層電著、光阻清除與熱壓轉(zhuǎn)印皆可獲得良好之實驗結(jié)果。n隨著鍍層固化溫度、浸泡時間與震盪之提升時間，由圖片可觀察出，當(dāng)浸泡與震盪時間超過3分鐘鍍層變的易剝落，尤其是震盪對鍍層傷壞最大。n由圖可觀察出，三色可成功電著上，但去除光阻不可浸泡太久，會傷害到矽油，影響轉(zhuǎn)印品質(zhì)(失去光澤