材料研究方法 第2章 光學(xué)顯微鏡_第1頁
材料研究方法 第2章 光學(xué)顯微鏡_第2頁
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文檔簡介

1、一、發(fā)展歷史一、發(fā)展歷史羅伯特羅伯特虎克制造的顯虎克制造的顯微鏡(微鏡(1665)15世紀(jì)中葉:世紀(jì)中葉:放大鏡放大鏡(單式顯微鏡)(單式顯微鏡)1590年年 荷蘭荷蘭 Hans and Zacharias Janssen: 最早的復(fù)式顯微鏡最早的復(fù)式顯微鏡17世紀(jì)中葉世紀(jì)中葉 R. Hooke:設(shè)計第一臺性能較好:設(shè)計第一臺性能較好 的顯微鏡的顯微鏡 Christiaan Huygens:惠更斯目鏡惠更斯目鏡19世紀(jì)世紀(jì) 德國德國 Ernst Abbe:闡明:闡明光學(xué)顯微鏡成光學(xué)顯微鏡成 像原理像原理,油浸系物鏡油浸系物鏡,光學(xué)顯微鏡分,光學(xué)顯微鏡分 辨本領(lǐng)達(dá)辨本領(lǐng)達(dá)0.2微米微米理論極限理

2、論極限二、光學(xué)顯微鏡分類二、光學(xué)顯微鏡分類 按按成像原理成像原理可分為:可分為: 幾何光學(xué)顯微鏡:生物、幾何光學(xué)顯微鏡:生物、金相顯微鏡金相顯微鏡 物理光學(xué)顯微鏡:相差、物理光學(xué)顯微鏡:相差、偏光顯微鏡偏光顯微鏡 信息轉(zhuǎn)換顯微鏡:熒光、圖像分析顯微鏡信息轉(zhuǎn)換顯微鏡:熒光、圖像分析顯微鏡 特種光學(xué)顯微鏡特種光學(xué)顯微鏡 :高溫、近場光學(xué)顯微鏡:高溫、近場光學(xué)顯微鏡相位差顯微鏡相位差顯微鏡透射光顯微鏡透射光顯微鏡反射光顯微鏡反射光顯微鏡解剖顯微鏡解剖顯微鏡一、光的物理性質(zhì)一、光的物理性質(zhì)1.1.光的波動性光的波動性 光具有波粒二象性光具有波粒二象性 波動學(xué)說解釋晶體光學(xué)波動學(xué)說解釋晶體光學(xué)光是橫波光

3、是橫波 光波的振動方向垂直傳播方向光波的振動方向垂直傳播方向橫波電磁波譜電磁波譜 光學(xué)顯光學(xué)顯微鏡使微鏡使用可見用可見光光 390770nm2.2.自然光和偏振光自然光和偏振光 自然光自然光:在垂直于光的:在垂直于光的傳播方向的平面內(nèi)的傳播方向的平面內(nèi)的任意方向振動。任意方向振動。偏振光偏振光:只在垂直于光:只在垂直于光的傳播方向的平面內(nèi)的的傳播方向的平面內(nèi)的某一方向振動。某一方向振動。二、光與固體物質(zhì)的相互作用二、光與固體物質(zhì)的相互作用1.1.光的折射光的折射特點特點: : 介質(zhì)的折射率與光在介質(zhì)中的傳播速度成反介質(zhì)的折射率與光在介質(zhì)中的傳播速度成反比比 光在真空中的傳播速度最大,光在真空中

4、的傳播速度最大,N1 折射率色散折射率色散: :同一介質(zhì)的折射率因為所用波長同一介質(zhì)的折射率因為所用波長的不同而不同的不同而不同;對于同一介質(zhì),波長與折射率成反比;對于同一介質(zhì),波長與折射率成反比 晶體的折射率色散能力晶體的折射率色散能力 2.2.光的吸收光的吸收3.3.光的反射光的反射光的振幅隨透入深度增大而減小。光的振幅隨透入深度增大而減小。單向反射單向反射漫反射漫反射反射力:反射力:物質(zhì)對投射在它的表面或磨光面物質(zhì)對投射在它的表面或磨光面上光線的反射能力上光線的反射能力反射率:反射率: R=(Ir/Ii)100%三、光在物質(zhì)中的傳播三、光在物質(zhì)中的傳播 1.1.光性均質(zhì)體光性均質(zhì)體 各向

5、同性介質(zhì)各向同性介質(zhì) 光的傳播速度不因振動方光的傳播速度不因振動方向而發(fā)生改變向而發(fā)生改變 只有只有一個折射率一個折射率單折射現(xiàn)象單折射現(xiàn)象:光波的振動:光波的振動特點和振動方向不變特點和振動方向不變 等軸晶系(立方)、非等軸晶系(立方)、非晶物質(zhì)晶物質(zhì)2.2.光性非均質(zhì)體光性非均質(zhì)體 各向異性介質(zhì)各向異性介質(zhì) 光在非均質(zhì)體中傳播時,傳播速度和折射率值隨光在非均質(zhì)體中傳播時,傳播速度和折射率值隨振動方向的不同而發(fā)生改變振動方向的不同而發(fā)生改變。 光波入射非均質(zhì)體,光波入射非均質(zhì)體,除特殊方向除特殊方向( (光軸光軸) )外,分解外,分解成為振動方向互相垂直、傳播速度不同、折射率不等成為振動方向

6、互相垂直、傳播速度不同、折射率不等的的兩種偏振光兩種偏振光,這種現(xiàn)象就稱為,這種現(xiàn)象就稱為雙折射雙折射。 一軸晶:中級晶族(如四方)一軸晶:中級晶族(如四方) 二軸晶:低級晶族(如斜方)二軸晶:低級晶族(如斜方)冰洲石的雙折射現(xiàn)象冰洲石的雙折射現(xiàn)象oe冰洲石冰洲石 一束自然光穿過各向異性的晶體時分成兩一束自然光穿過各向異性的晶體時分成兩束偏振光的現(xiàn)象。束偏振光的現(xiàn)象。 例如:白紙上涂一個黑點,將方解石放例如:白紙上涂一個黑點,將方解石放在紙上,可觀察到兩個黑點,旋轉(zhuǎn)方解石,在紙上,可觀察到兩個黑點,旋轉(zhuǎn)方解石,一個黑點不動,另一個黑點旋轉(zhuǎn)。一個黑點不動,另一個黑點旋轉(zhuǎn)。 雙折射現(xiàn)象雙折射現(xiàn)象四

7、、光率體四、光率體 含義:含義:是表示光波在晶體中傳播時,是表示光波在晶體中傳播時,光光波振動方向波振動方向與相應(yīng)與相應(yīng)折射率折射率值之間關(guān)系的一種值之間關(guān)系的一種光學(xué)立體圖形(光學(xué)立體圖形(光性指示體光性指示體)。)。1.1.均質(zhì)體光率體均質(zhì)體光率體是一個是一個圓球體圓球體。切面為切面為圓切面圓切面,半徑代,半徑代表折射率表折射率2.2.一軸晶光率體一軸晶光率體常光常光:振動方向垂直光軸,且各方向折射率相等,:振動方向垂直光軸,且各方向折射率相等, No非常光非常光:振動方向平行于光軸和傳播方向構(gòu)成的平面,:振動方向平行于光軸和傳播方向構(gòu)成的平面,且折射率隨振動方向而變化,且折射率隨振動方向

8、而變化, Ne(1 1)一軸晶光率體的構(gòu)成)一軸晶光率體的構(gòu)成(2 2)主要特征)主要特征一軸正晶光率體一軸正晶光率體:以:以c軸為旋轉(zhuǎn)軸的軸為旋轉(zhuǎn)軸的長形旋轉(zhuǎn)橢球長形旋轉(zhuǎn)橢球體體,光波平行光軸振動時的折射率總是比垂直光軸,光波平行光軸振動時的折射率總是比垂直光軸振動時的折射率大,振動時的折射率大,NeNo。一軸負(fù)晶光率體一軸負(fù)晶光率體:以:以c軸為旋轉(zhuǎn)軸的軸為旋轉(zhuǎn)軸的扁形旋轉(zhuǎn)橢球扁形旋轉(zhuǎn)橢球體體,光波平行光軸振動時的折射率總是比垂直光軸,光波平行光軸振動時的折射率總是比垂直光軸振動時的折射率小,振動時的折射率小,NeNo。Ne與與No為一軸晶礦物折射率的最大值與最小值,為一軸晶礦物折射率的最

9、大值與最小值,稱為稱為主折射率主折射率。 Ne與與No 之差值(之差值(Ne-No)為一軸晶)為一軸晶礦物礦物最大雙折率最大雙折率(3 3)主要切面主要切面垂直光軸切面垂直光軸切面 圓切面圓切面,半徑等于,半徑等于No,光波垂直這種切面,光波垂直這種切面入射時,入射時,不發(fā)生雙折射不發(fā)生雙折射。折射率為。折射率為No。平行光軸切面平行光軸切面 橢圓切面橢圓切面,長短半徑分別等于,長短半徑分別等于No與與Ne,光,光波垂直這種切面入射時,波垂直這種切面入射時,發(fā)生雙折射發(fā)生雙折射,兩條偏,兩條偏光的振動方向分別平行橢圓切面長、短半徑,光的振動方向分別平行橢圓切面長、短半徑,折射率分別等于橢圓切面

10、的長、短半徑。雙折折射率分別等于橢圓切面的長、短半徑。雙折射率為射率為No和和Ne之差之差斜交光軸切面斜交光軸切面 橢圓切面橢圓切面,長短半徑分別等于,長短半徑分別等于No與與Ne,光波垂直這種切面入射時,光波垂直這種切面入射時,發(fā)生雙折射發(fā)生雙折射,兩條,兩條偏光的振動方向分別平行橢圓切面長、短半徑,偏光的振動方向分別平行橢圓切面長、短半徑,折射率分別等于橢圓切面的長、短半徑折射率分別等于橢圓切面的長、短半徑No與與Ne, 。雙折射率為。雙折射率為No和和Ne之差。之差。光波垂直入射圓切面,不發(fā)生雙折射。垂直光波垂直入射圓切面,不發(fā)生雙折射。垂直入射橢圓切面,發(fā)生雙折射。入射橢圓切面,發(fā)生雙

11、折射。五、光性方位五、光性方位 含義:含義:光率體主軸與晶體晶面、結(jié)晶軸光率體主軸與晶體晶面、結(jié)晶軸以及晶棱以及晶棱之間的關(guān)系。之間的關(guān)系。 不同晶體的光性方位不同,而同一晶體不同晶體的光性方位不同,而同一晶體的光性方位基本固定,故確定光性方位可以的光性方位基本固定,故確定光性方位可以幫助鑒定晶體。幫助鑒定晶體。一、偏光顯微鏡一、偏光顯微鏡觀察透明晶體觀察透明晶體1.1.偏光顯微鏡的構(gòu)造偏光顯微鏡的構(gòu)造1 1、目鏡,、目鏡,2 2、鏡筒,、鏡筒,3 3、勃氏鏡,、勃氏鏡,4 4、粗、粗動手輪,動手輪,5 5、微調(diào)手輪,、微調(diào)手輪,6 6、鏡臂,、鏡臂,7 7、鏡、鏡座,座,8 8、上偏光鏡,、

12、上偏光鏡,9 9、試板孔,、試板孔,1010、物、物鏡,鏡,1111、載物臺,、載物臺,1212、聚光鏡,、聚光鏡,1313、鎖、鎖光圈,光圈,1414、下偏光鏡,、下偏光鏡,1515、反光鏡、反光鏡鏡臂鏡臂鏡座鏡座下偏光鏡下偏光鏡:用:用PPPP代表振動方向代表振動方向鎖光圈鎖光圈聚光鏡:凸透鏡,聚光鏡:凸透鏡,形成錐形偏光形成錐形偏光反光鏡:平、凹兩面反光鏡:平、凹兩面載物臺載物臺 游標(biāo)尺、彈簧夾游標(biāo)尺、彈簧夾鏡筒鏡筒 粗動螺絲、微動螺絲粗動螺絲、微動螺絲試板孔試板孔物鏡物鏡復(fù)式透鏡復(fù)式透鏡 放大倍數(shù)放大倍數(shù) 4040數(shù)值孔徑數(shù)值孔徑 0.650.65機械筒長機械筒長 /0/0數(shù)值孔徑數(shù)值

13、孔徑表示物鏡的聚光能力,放大倍數(shù)越表示物鏡的聚光能力,放大倍數(shù)越高,數(shù)值孔徑越大;高,數(shù)值孔徑越大; 對于同一放大倍數(shù)的物鏡,其數(shù)值孔徑越大,對于同一放大倍數(shù)的物鏡,其數(shù)值孔徑越大,分辨率越高。分辨率越高。 目鏡目鏡 上偏光鏡上偏光鏡振動方向振動方向AAAA與與PPPP垂直垂直勃氏鏡勃氏鏡顯微鏡總放大倍數(shù)顯微鏡總放大倍數(shù)= =目鏡放大倍數(shù)目鏡放大倍數(shù)物鏡放大倍數(shù)物鏡放大倍數(shù)2.2.顯微鏡的工作原理顯微鏡的工作原理光學(xué)顯微鏡具有光學(xué)顯微鏡具有二級放大的功能二級放大的功能3.3.偏光顯微鏡的調(diào)節(jié)和校正偏光顯微鏡的調(diào)節(jié)和校正(1)(1)裝卸鏡頭裝卸鏡頭a. 裝卸目鏡裝卸目鏡 單目鏡筒,將目鏡插入鏡筒

14、單目鏡筒,將目鏡插入鏡筒 雙目鏡筒,還需調(diào)節(jié)兩個目鏡之間的距雙目鏡筒,還需調(diào)節(jié)兩個目鏡之間的距離,使眼睛間距與雙筒視域一致。離,使眼睛間距與雙筒視域一致。b. 裝卸物鏡裝卸物鏡 彈簧夾型彈簧夾型 轉(zhuǎn)盤型轉(zhuǎn)盤型 螺絲扣型螺絲扣型(2)(2)調(diào)節(jié)照明(對光)調(diào)節(jié)照明(對光) 用自然光照明,需要調(diào)節(jié)反光鏡,反光鏡用自然光照明,需要調(diào)節(jié)反光鏡,反光鏡有平面鏡和凹面鏡兩種。有平面鏡和凹面鏡兩種。用人工光源照明,需要調(diào)節(jié)電壓旋鈕,電用人工光源照明,需要調(diào)節(jié)電壓旋鈕,電壓越高,亮度越大。壓越高,亮度越大。(3)(3)調(diào)整偏光鏡位置調(diào)整偏光鏡位置 目鏡中全黑時,則上、下偏光鏡的偏振方目鏡中全黑時,則上、下偏光

15、鏡的偏振方向正交;而光線最強時,則相互平行。向正交;而光線最強時,則相互平行。(4)(4)調(diào)節(jié)焦距調(diào)節(jié)焦距( (對焦對焦) ) 從側(cè)面看著鏡頭,先旋轉(zhuǎn)微調(diào)手輪,使從側(cè)面看著鏡頭,先旋轉(zhuǎn)微調(diào)手輪,使它處于中間位置,再轉(zhuǎn)動粗調(diào)手輪將鏡筒下它處于中間位置,再轉(zhuǎn)動粗調(diào)手輪將鏡筒下降使物鏡靠近試樣玻片。然后在觀察試樣的降使物鏡靠近試樣玻片。然后在觀察試樣的同時慢慢上升鏡筒,直至看清物體的像,再同時慢慢上升鏡筒,直至看清物體的像,再左右旋動微調(diào)手輪使物體的像最清晰。左右旋動微調(diào)手輪使物體的像最清晰。 切勿在觀察時用粗調(diào)手輪調(diào)節(jié)下降切勿在觀察時用粗調(diào)手輪調(diào)節(jié)下降,否,否則物鏡有可能碰到玻片硬物而損壞鏡頭。則

16、物鏡有可能碰到玻片硬物而損壞鏡頭。(5)(5)調(diào)整載物臺機械中心調(diào)整載物臺機械中心 載物臺通常作載物臺通常作360360轉(zhuǎn)動,為了防止觀轉(zhuǎn)動,為了防止觀察目標(biāo)移出視域,必須將載物臺的機械中心察目標(biāo)移出視域,必須將載物臺的機械中心和物鏡的主軸相重合。和物鏡的主軸相重合。4.4.偏光顯微鏡的試樣偏光顯微鏡的試樣5.5.偏光顯微鏡的使用偏光顯微鏡的使用 (1)(1)單偏光鏡單偏光鏡 僅使用下偏光鏡僅使用下偏光鏡 可觀察內(nèi)容:晶體形態(tài)、晶粒大小、含可觀察內(nèi)容:晶體形態(tài)、晶粒大小、含量、解理、突起、顏色等。量、解理、突起、顏色等。針狀、針狀、 棒狀鱗石英棒狀鱗石英 雪花狀鱗石英雪花狀鱗石英 管柱狀鱗石英

17、管柱狀鱗石英 (2)(2)正交偏光鏡正交偏光鏡 使用使用上、下偏光鏡上、下偏光鏡,且振動面且振動面相互垂直相互垂直 正交偏光鏡不放試樣時,正交偏光鏡不放試樣時,視域是黑暗的;若放置試樣,視域是黑暗的;若放置試樣,由于晶體性質(zhì)和切片方向不由于晶體性質(zhì)和切片方向不同,將出現(xiàn)同,將出現(xiàn)消光消光和和干涉干涉等光等光學(xué)現(xiàn)象。學(xué)現(xiàn)象。 晶體在正交偏光鏡下呈現(xiàn)黑暗的現(xiàn)象。晶體在正交偏光鏡下呈現(xiàn)黑暗的現(xiàn)象。消光現(xiàn)象消光現(xiàn)象全消光全消光:轉(zhuǎn)動物臺:轉(zhuǎn)動物臺360,消光現(xiàn)象不改變。消光現(xiàn)象不改變。 均質(zhì)體或非均質(zhì)體垂直光軸的切片均質(zhì)體或非均質(zhì)體垂直光軸的切片四次消光四次消光:轉(zhuǎn)動物臺:轉(zhuǎn)動物臺360,出現(xiàn)四次消光

18、。出現(xiàn)四次消光。 非均質(zhì)體除垂直光軸以外的切片為橢圓,非均質(zhì)體除垂直光軸以外的切片為橢圓,長、短半徑與上、下偏光振動方向長、短半徑與上、下偏光振動方向AA、PP有四次平行的機會。有四次平行的機會。四次消光是非均質(zhì)體的特征四次消光是非均質(zhì)體的特征 干涉條件干涉條件:兩束光振動頻率相同,在同:兩束光振動頻率相同,在同一平面內(nèi)振動,且存在光程差一平面內(nèi)振動,且存在光程差。干涉現(xiàn)象干涉現(xiàn)象單色光干涉:明暗相間的條帶單色光干涉:明暗相間的條帶白光干涉:干涉色白光干涉:干涉色(3)(3)錐光鏡錐光鏡 正交鏡基礎(chǔ)上,正交鏡基礎(chǔ)上,加聚光鏡加聚光鏡,換高倍物鏡,換高倍物鏡 觀察內(nèi)容:不同方向的入射光通過晶體觀

19、察內(nèi)容:不同方向的入射光通過晶體后,所產(chǎn)生的消光和干涉現(xiàn)象的總和,稱為后,所產(chǎn)生的消光和干涉現(xiàn)象的總和,稱為干干涉圖涉圖(黑十字)。(黑十字)。球晶的黑十字消光現(xiàn)象球晶的黑十字消光現(xiàn)象二、金相顯微鏡二、金相顯微鏡 研究不透明物體研究不透明物體(薄片厚度在(薄片厚度在0.03mm以上)的光學(xué)性質(zhì)。以上)的光學(xué)性質(zhì)。1.1.金相顯微鏡的構(gòu)造和工作原理金相顯微鏡的構(gòu)造和工作原理1-1-燈泡;燈泡;2-2-聚光鏡組聚光鏡組1 1;3-3-聚光鏡組聚光鏡組2 2;4-4-半反射鏡;半反射鏡;5-5-輔助透鏡輔助透鏡1 1;6-6-物鏡組;物鏡組;7-7-反光鏡;反光鏡;8-8-孔徑光闌;孔徑光闌;9-9

20、-視域光闌;視域光闌;10-10-輔助透鏡輔助透鏡2 2;11,12-11,12-棱鏡;棱鏡;13-13-場鏡;場鏡;14-14-接目鏡接目鏡 (1)(1)光源光源:低壓白熾燈:低壓白熾燈, ,位于鏡筒側(cè)面位于鏡筒側(cè)面 (2)(2)孔徑光闌孔徑光闌:控制入射:控制入射光束的直徑光束的直徑,影響分,影響分 辨率和反差辨率和反差 視域光闌視域光闌:控制:控制觀察區(qū)域范圍觀察區(qū)域范圍(3)(3)垂直照明器垂直照明器: :光路行程換向光路行程換向 主要由光學(xué)系統(tǒng)主要由光學(xué)系統(tǒng)( (包括目鏡、物鏡等包括目鏡、物鏡等) )、機、機械系統(tǒng)械系統(tǒng)( (包括座架、調(diào)焦裝置、樣品臺等包括座架、調(diào)焦裝置、樣品臺等)

21、 )、照、照明系統(tǒng)明系統(tǒng)( (包括光源、光闌、垂直照明器包括光源、光闌、垂直照明器) ) 組成。組成。玻片玻片:光強損失大,視域亮度較弱,有害反:光強損失大,視域亮度較弱,有害反 射較多;亮度均勻、分辨率較高射較多;亮度均勻、分辨率較高 棱鏡棱鏡:光線損失較少,視域明亮,有害的干:光線損失較少,視域明亮,有害的干 擾反射光少;明暗不均、分辨率下降擾反射光少;明暗不均、分辨率下降垂直照明器的種類:垂直照明器的種類:(4)(4)照明方式照明方式a.a.明場照明術(shù)明場照明術(shù) 金相顯微鏡中常用的照明方式金相顯微鏡中常用的照明方式 。 光線均勻照到光片表面,平坦表面將大光線均勻照到光片表面,平坦表面將大

22、部分光反射回物鏡,凹陷部分則將光散射到部分光反射回物鏡,凹陷部分則將光散射到物鏡外面,造成明暗反差和顏色反差。物鏡外面,造成明暗反差和顏色反差。b.b.暗場照明術(shù)暗場照明術(shù) 環(huán)形光束經(jīng)拋物面反環(huán)形光束經(jīng)拋物面反射鏡以射鏡以大傾斜角投射大傾斜角投射到樣到樣品表面。品表面。 平坦表面的反射不能平坦表面的反射不能進(jìn)入物鏡,呈黑暗色;物進(jìn)入物鏡,呈黑暗色;物相的裂紋、凹陷、界面等相的裂紋、凹陷、界面等的部分散射光線有可能射的部分散射光線有可能射入物鏡而呈現(xiàn)明亮色,從入物鏡而呈現(xiàn)明亮色,從而造成了極明顯的明暗反而造成了極明顯的明暗反差或顏色反差。差或顏色反差。 明場相明場相 暗場相暗場相2.2.金相顯微

23、鏡的調(diào)節(jié)和使用金相顯微鏡的調(diào)節(jié)和使用 主要包括光源、照明器、鏡筒、孔徑主要包括光源、照明器、鏡筒、孔徑光闌和視場光闌的調(diào)節(jié)。光闌和視場光闌的調(diào)節(jié)。 可觀察內(nèi)容:試樣表面相的形貌、尺可觀察內(nèi)容:試樣表面相的形貌、尺寸、分布、顏色等。寸、分布、顏色等。取樣取樣鑲嵌鑲嵌磨光磨光浸蝕浸蝕拋光拋光代表性,鋸、車、刨、代表性,鋸、車、刨、切,避免過熱和變形,切,避免過熱和變形,規(guī)則外形,合適大小。規(guī)則外形,合適大小。機械夾持法、塑機械夾持法、塑料鑲嵌法(熱料鑲嵌法(熱- -酚酚醛,冷醛,冷- -環(huán)氧)環(huán)氧)去除表面損傷,獲得平整去除表面損傷,獲得平整光滑表面。粗磨(砂輪光滑表面。粗磨(砂輪機)、細(xì)磨(砂紙

24、),磨機)、細(xì)磨(砂紙),磨去上去上 一道的磨痕和變形層一道的磨痕和變形層去除細(xì)磨痕,獲得平整無疵去除細(xì)磨痕,獲得平整無疵鏡面。機械拋光(拋光機)、鏡面。機械拋光(拋光機)、電解拋光、化學(xué)拋光電解拋光、化學(xué)拋光使不同組織、晶粒、晶界受到使不同組織、晶粒、晶界受到不同程度的浸蝕,形成差別,不同程度的浸蝕,形成差別,清晰顯示內(nèi)部組織。化學(xué)浸蝕、清晰顯示內(nèi)部組織。化學(xué)浸蝕、電解浸蝕、物理蝕刻電解浸蝕、物理蝕刻一、光學(xué)顯微鏡的分辨能力一、光學(xué)顯微鏡的分辨能力 分辨率分辨率:儀器分辨兩個物點的本領(lǐng),常:儀器分辨兩個物點的本領(lǐng),常用可以辨別物體上兩點間的最小距離表示。用可以辨別物體上兩點間的最小距離表示。 兩個物點的距離越小,則分辨率越大。兩個物點的距離越小,則分辨率越大。 顯微鏡的分辨能力由物鏡決定。顯微鏡的分辨能力

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