控制軟件操作擴散爐帶機械手

1、DS-300A擴散爐控制軟件操作一、系統(tǒng)設(shè)置1. 畫面2. 各部分功能2.01 溫控方式設(shè)置2.01.01 根據(jù)溫控表類型，若是山武的溫控表，則選擇“SDC串級控制”；若是RKC HA900的溫控表，則選擇“HA900串級控制”。安裝機器時設(shè)定 2.01.02 若勾選【啟用工藝運行升降溫斜率跟蹤】，則在勾選此項之后的時間內(nèi)，可生成溫度隨時間向設(shè)定溫度變化的曲線2.01.03 因擴散爐正常使用時所使用的溫度在8001050 oC，則在“最大溫度設(shè)置”中設(shè)置1100。安裝機器時設(shè)定2.02 流量設(shè)置12.02.01 【大氮流量計初始化】 將大氮流量計信號初始化。在和流量計連接均正常的時候，點擊此按

2、鈕，則無論是哪個流量計，均將此流量計的通訊地址初始化為大氮流量計。流量計通訊紊亂時使用 【小氮流量計初始化】 參照上述【大氮流量計初始化】。流量計通訊紊亂時使用 【小氧流量計初始化】 參照上述【大氮流量計初始化】。流量計通訊紊亂時使用 注意事項 2.02.04.01 在N（N=3）個流量計的電源線和通訊線均未斷開的情況下，錯誤點擊某個流量計（M流量計）初始化按鈕，則將此N個流量計均初始化為M流量計.02 點擊工控機上的流量計初始化按鈕時只能有其對應(yīng)的流量計的通訊線接上。當(dāng)流量計通訊紊亂時，需要將流量計初始化時，先將所有的流量計斷電，并將通訊線斷開，然后將所有流量計上電，待流量計預(yù)熱完成（依次亮

3、燈：紅-黃-紅-黃），然后將某個流量計的通訊線接上，點擊工控機上對應(yīng)的流量計初始化，接著拆掉此流量計的通訊線，接另外一個流量計的通訊線，并點擊其對應(yīng)的流量計初始化按鈕，依次類推。當(dāng)各個流量計分別初始化通訊正常后再將所有流量計的通訊線接上。2.03 舟位置設(shè)置 2.03.01 【舟平移起點】 設(shè)置推舟的平移原點位置。當(dāng)推舟處于平移原點位置時，爐口傳感器不能檢測到有舟（即PLC的X31始終顯示有信號輸入）。設(shè)置“0”。調(diào)軟著陸時設(shè)定 2.03.02 【舟平移終點】 在漿上有石英舟的情況下，當(dāng)漿進入爐管，且電極頭能與石英舟的電極孔接觸良好（電極頭插入電極孔最長距離）時，推舟距離平移原點的位置。設(shè)置在

4、“2060”左右（當(dāng)漿的安裝位置和平移原點位置不同時有偏差）。調(diào)軟著陸時設(shè)定 2.03.03 【舟上升位置】 在漿上有石英舟，且漿能正常進入爐管時，此時推舟距離上下原點的位置。設(shè)置在“25”左右（在定位和安裝爐管時不能確保所有機器一致，因此會存在偏差）。調(diào)軟著陸時設(shè)定 2.03.04 【舟下降位置】 設(shè)置推舟的上下原點位置。設(shè)置“0”“0.2”。 調(diào)軟著陸時設(shè)定 【實際舟后位置判斷】 在所設(shè)置位置上下偏差30mm的范圍，如果爐口傳感器沒有檢測到漿上有舟，則認為漿上舟狀態(tài)有誤，禁止繼續(xù)運動（出片出漿和進片進漿時，認為有拖舟狀況） 2.03.06 【復(fù)位平移原點】 點擊此按鈕，則推舟以300的速度

5、從靠近爐口向工控機方向運行，當(dāng)?shù)竭_原點光電開關(guān)時，停止運動 2.03.07 【復(fù)位上下原點】 點擊此按鈕，則推舟以50的速度從上往下運行，當(dāng)?shù)竭_下限位光電開關(guān)時，停止運動 2.03.05 注意事項 2.03.05.01 調(diào)軟著陸時，可以將平移馬達和推舟斷開，手動將石英舟推入爐管，并同時調(diào)節(jié)平移行程。 2.03.05.02 【復(fù)位平移原點】和【復(fù)位上下原點】時，若原點光電開關(guān)損壞，則推舟會一直運行，因此，必須將機械限位的限位塊安裝好。禁止推舟撞到機械限位時電機繼續(xù)長時間運轉(zhuǎn)，因為長時間運行會導(dǎo)致?lián)p壞電機2.04 報警設(shè)置 2.04.01 【流量偏差報警】 設(shè)定百分比數(shù)值N，和流量延時報警配合起作

6、用。當(dāng)要求的流量和流量計檢測到的實際流量的差值超過設(shè)定的N，則會出現(xiàn)報警。設(shè)置“5”。 2.04.02 【源量使用次數(shù)報警】 設(shè)定數(shù)值N，自動累積的磷源使用次數(shù)達到設(shè)定值N時，在 的黃燈報警中出現(xiàn)【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】報警。每次工藝結(jié)束，則系統(tǒng)自動將石英管使用次數(shù)和磷源使用次數(shù)自動加“1” 2.04.03 【爐管使用次數(shù)報警】 參照【源量使用次數(shù)報警】 2.04.04 【平衡壓力偏差】 檢測到的爐管內(nèi)的壓力和所設(shè)定的壓力之間的偏差值不能超過設(shè)定的此數(shù)值 2.04.05 注意事項 2.04.05.01 當(dāng)流量偏差報警設(shè)置“0”時，默認為關(guān)閉“流量偏差報警”，此時，無論要求的流量和流量計檢測到

7、的實際流量偏差多大，均無流量偏差報警2.05 舟初始運動 2.05.01 【舟到平移起點】 使推舟運動到設(shè)定的平移原點數(shù)值位置處 2.05.02 【舟到平移終點】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.03 【舟到上下上位】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.04 【舟到上下下位】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.05 注意事項 2.05.05.01 使用“舟初始運動”中的操作時，當(dāng)編碼器計數(shù)值到達各個設(shè)定數(shù)值，無論推舟有沒有到光電開關(guān)檢測到的位置，推舟運行均結(jié)束2.06 流量設(shè)置 2.06.01 【大氮量程】 設(shè)置N2流量計的量程。檢查氣源柜處N2流量計上標(biāo)注的量程，設(shè)置的數(shù)值和標(biāo)注的數(shù)

8、值一致。安裝機器時設(shè)定 2.06.02 【小氮量程】 參照【大氮量程】 2.06.03 【大氧量程】 參照【大氮量程】 2.06.04 【小氧量程】 參照【大氮量程】2.06.05 【恢復(fù)流量計流速單位+設(shè)置軟啟動】 2.06.05 【小氮流量積累清零并重新開始累積】 注意事項 2.06.06.01 設(shè)置的各個流量計的量程和實際流量計上標(biāo)注的量程必須一致，否則會出現(xiàn)流量計流量計量不準確的情況 2.07 機械手選擇 當(dāng)勾選【允許脫離上下舟機械手】時，控制軟件可作為單獨系統(tǒng)運行（相當(dāng)于不帶機械手的擴散爐，此時需要槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到槳上有舟）。使用此功能的情況多為：當(dāng)機械手故障，需要做工藝時

9、，手動將石英舟放置于槳上 2.08按鈕2.08.01 【管理員登陸設(shè)置】 用于修改密碼2.08.02 【管理員鎖】 將屏幕鎖定，除運行工藝按鈕（Run Select），其余動作均禁止2.08.03 【舟狀態(tài)確認】 更改當(dāng)前石英舟在漿上和爐管內(nèi)的狀態(tài)2.08.04 【手動彈起按鈕】 當(dāng)某個按鈕按下后不彈起時可用2.08.06 【系統(tǒng)設(shè)置保存】 保存數(shù)據(jù)2.08.07 注意事項 2.08.07.01 更改當(dāng)前石英舟狀態(tài)（管內(nèi)是否有舟、漿上是否有舟）時，必須打開爐門確認爐管內(nèi)是否有舟 2.08.07.02 若一段時間不使用機器，禁止將石英舟放入爐管2.08.07.03 長時間未使用的爐管，在使用之前

10、，必須打開爐門，確認爐管內(nèi)是否有石英舟2.08.07.04 在 中更改了參數(shù)之后，必須點【系統(tǒng)設(shè)置保存】，否則，更改的參數(shù)不起作用二、手動控制1. 畫面2. 各部分功能 2.01 手動設(shè)置2.01.01 【溫度設(shè)置】 工控機上的5個溫度設(shè)定和5個溫控表以及爐體的5個溫區(qū)是一一對應(yīng)的（即左手機和右手機在工控機上的5個溫度是相反的）2.01.02 【閥門與流量設(shè)置】 控制各個氣動閥的打開與關(guān)閉，和 畫面中的【閥門設(shè)置】對應(yīng) 2.01.02.01 【大氮】 勾選此處，則打開【大氮】氣動閥。在其下方輸入流量，并點擊【單項輸出】，則可以打開大氮流量計 2.01.02.02 【擴散氮】 參照上述【大氮】

11、2.01.02.03 【清洗氮】 當(dāng)向爐管內(nèi)輸入【擴散氮】的同時有相同流量的【清洗氮】送入 2.01.02.04 【大氧】 參照上述【大氮】 2.01.02.05 【小氧】 參照上述【大氮】 2.01.02.06 【吹掃】 勾選此處，則向爐管內(nèi)送入N2，吹掃管道 2.01.02.07 【開爐門】 打開爐門。勾選此處，PLC的輸出端Y10有信號輸出到爐門平移開電磁閥，當(dāng)爐門平移開到位（即PLC的輸入端X11有信號輸入），PLC的輸出端Y12有信號輸出到爐門轉(zhuǎn)動開電磁閥 2.01.02.08 【關(guān)爐門】 參照上述【開爐門】 2.01.02.09 【平衡氮】 選擇是否打開“氮氣補氣閥”。勾選此處，當(dāng)

12、爐管內(nèi)壓力低于設(shè)置壓力時，打開“氮氣補氣閥”，向爐管內(nèi)送入氮氣，使?fàn)t管內(nèi)壓力達到設(shè)定壓力；當(dāng)爐管內(nèi)壓力高于設(shè)置壓力時，關(guān)閉“氮氣補氣閥”，使抽風(fēng)將檢測到的爐管內(nèi)的壓力抽至設(shè)定值2.01.03 上下電機設(shè)置 【速度】 設(shè)置推舟上下運行的速度，可設(shè)置50（即0.5mm/s） 2.01.03.02 【UD位置】 設(shè)置推舟上下運行的位置 2.01.03.03 【電機停止】 手動停止推舟上下運行的動作 2.01.03.04 【上下運行】 手動開始推舟上下運行的動作2.01.04 舟大架移動 2.01.04.01 【速度】 設(shè)置推舟平移運行的速度，可設(shè)置2800（即28mm/s），若推舟運行穩(wěn)定（無明顯抖

13、動），可以適量的將速度增加 2.01.04.02 【舟位置】 設(shè)置推舟平移運行的位置 2.01.04.03 【平移停止】 手動停止推舟平移運行的動作 2.01.04.04 【平移運行】 手動開始推舟平移運行的動作 2.02 手動檢測2.02.01 【管內(nèi)溫度檢測】 通過內(nèi)偶檢測石英管管內(nèi)5個溫區(qū)的溫度。2.02.02 【管壁溫度檢測】 通過爐體上的外偶檢測靠近石英管管壁的5個溫區(qū)的溫度。2.02.03 【溫度控制選擇】 【外控】：依靠外熱電偶控制溫度；【內(nèi)控】：依靠內(nèi)熱電偶控制溫度2.02.04 【大氮】 顯示從大氮流量計流過的氣體流量，通過大氮流量計檢測2.02.04 【擴散氮】 參照上述【

14、大氮】2.02.05 【清洗氮】 和【擴散氮】流量顯示同步，當(dāng)有擴散氮流量輸入時，也有相等流量的【清洗氮】輸入?！緮U散氮】和【清洗氮】通過同一個流量計輸出流量2.02.06 【大氧】 參照上述【大氮】2.02.07 【小氧】 參照上述【大氮】 【平衡壓力】 依靠“壓力傳感器”檢測到的爐管內(nèi)的壓力2.02.09 【凈化風(fēng)機】 同一臺機器，勾選任何爐管的“凈化風(fēng)機”，均可啟動凈化風(fēng)機2.02.10 【請求上舟】 送入“上舟”信號到機械手PLC，機械手自動將石英舟放置于槳上。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，2個槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有舟。機械手執(zhí)行從片臺取舟放到槳

15、上動作的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，2個槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有石英舟，片臺上有“待工藝舟”（系統(tǒng)自動邏輯識別的未做工藝的石英舟），機械手2軸和3軸均處于原點位置，機械手抓手上光電開關(guān)均未檢測到有舟2.02.11 【請求下舟】 送入“下舟”信號到機械手PLC，機械手自動將槳上的石英舟取下，放置于片臺。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”光電開關(guān)處，2個槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到槳上有舟。機械手執(zhí)行從槳上取舟放到片臺上動作的條件：推舟處于“后限位”光電開關(guān)處，2個槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到槳上有石英舟，片臺上“無舟”（片臺左右檢測開關(guān)均未檢測到有舟：機械手PLC的輸入

16、端X46和X47均無信號輸入），機械手2軸和3軸均處于原點位置，機械手抓手上光電開關(guān)均未檢測到有舟2.05 紅燈報警2.06.01 【平移驅(qū)動器數(shù)據(jù)錯誤】 2.06.02 【漿上舟狀態(tài)異?！?當(dāng)前舟狀態(tài)和推舟所處位置不合適。出現(xiàn)此報警時，三色燈上有紅燈和蜂鳴器，控制軟件上有“紅燈”和“”提示?？赡茉颍?、推舟處于上限位，但編碼器計數(shù)為“0”，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（為按下“急?！卑粹o所致：因按下“急停”按鈕后，上下編碼器和平移編碼器的計數(shù)值均清零），此時，可先在 畫面的【舟狀態(tài)確認】中更改當(dāng)前舟狀態(tài)，為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后點擊【復(fù)位上下原點】，再將推舟運行到上限位，最后重新確認石英舟

17、狀態(tài)“漿上有舟、管內(nèi)無舟”；2、推舟處于下限位，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（在漿上有舟的情況下手動操作推舟運行到下限位所致），此時，可先在 畫面的【舟狀態(tài)確認】中更改當(dāng)前舟狀態(tài)，為“管內(nèi)無舟、漿上無舟”，然后將推舟運行到上限位，再重新確認舟狀態(tài)“漿上有舟、管內(nèi)無舟”。更換PLC后，需要先將推舟復(fù)位上下原點！3 【溫控儀連接障礙】 溫控儀和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、溫控儀和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落）；2、溫控儀參數(shù)設(shè)置錯誤（可參照說明檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置）；3、溫控儀損壞（可另換一個溫控儀） 【平移馬達連接障礙】 平移馬達和工控機之間的通訊斷開。可能原因：1、平移馬達和工

18、控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落）；2、推舟遮光板擋住平移的極限開關(guān)導(dǎo)致平移馬達斷電；3、按下了“急?！卑粹o（此時會同時出現(xiàn)【急停報警】） 【超溫/斷偶】 檢測到的溫度超過設(shè)定的溫度（此時停止加熱）。熱偶和溫控表之間斷開（此時溫控表上顯示為數(shù)值“00000”閃爍） 【馬達缺相報警】 【PLC連接障礙】 PLC和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、PLC和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、檢查PLC是否已經(jīng)打開（即PLC的指撥開關(guān)是否指向“RUN”而不是“STOP”）；3、工控機上USB轉(zhuǎn)RS232所顯示的COM口是否正確（應(yīng)為COM5） 【上下馬達連接障礙】

19、 上下馬達和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、上下馬達和PLC之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、PLC和工控機之間的通訊斷開（此種情況會出現(xiàn)【PLC連接障礙】報警、【漿上舟狀態(tài)異?！繄缶?【急停報警】 按下了“急?！卑粹o。（此種情況會出現(xiàn)【平移馬達連接障礙】報警，平移編碼器計數(shù)值和上下編碼器計數(shù)值均清零） 【流量偏差報警】 流量計檢測到的從流量計流過的氣體流量和設(shè)置的氣體流量兩個之差超過 畫面中【流量偏差報警】所設(shè)置的百分比?？赡茉颍?、外圍送至機器的氣體總量減少；2、流量計（或者單向閥）堵塞2.06.11 【流量計連接障礙】 流量計和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?/p>

20、1、流量計和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、流量計通訊地址錯誤（不止一個流量計通訊線連接好的情況下錯誤點擊某個流量計初始化，或者流量計和所點擊的流量計初始化不一致） 【CDA低壓力報警】 CDA（壓縮空氣）壓力不夠?？赡茉颍?、外圍送至機器的壓縮空氣不夠；2、檢測壓縮空氣的“數(shù)字流量開關(guān)”參數(shù)設(shè)置錯誤；3、某處氣管脫落 數(shù)字流量開關(guān)參數(shù)設(shè)置：長按SET，設(shè)置PA，Sor，HyS，no，2.5，Man 按SET，設(shè)置P-1為330，H為004 【源量低報警】 2.06.17 【爐門異常報警】 當(dāng)前爐門狀態(tài)和石英舟狀態(tài)沖突。推舟未處于平移原點位置時，爐門需處于打開狀態(tài)

21、2.06 黃燈報警2.06.01 【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】 系統(tǒng)自加（每次做完工藝，磷源使用次數(shù)在原有基礎(chǔ)上增加“1”）的磷源使用次數(shù)超過 畫面中【源量使用次數(shù)報警】所設(shè)置的數(shù)值2.06.02 【石英管過次數(shù)（提示）】 參照上述【源瓶工藝過次數(shù)（提示）】 【進出片進漿-門未打開】 到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在規(guī)定時間內(nèi)，系統(tǒng)未檢測到爐門打開。可能原因：1、推舟位置不正確（不在平移原點、進舟時不在上下上位、出舟時不在上下下位），禁止打開爐門；2、爐口傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X31），禁止打開爐門；3、爐門打開到位檢測開關(guān)檢測有誤（X11或X13） 【進片出漿-起始位

22、置未到】 將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下下位）?？赡茉颍嚎赡茉颍?、進片步（一般為工藝第二步）的時間設(shè)置短（可設(shè)置300左右）；2、進片步（一般為工藝第二步）中平移速度設(shè)置?。稍O(shè)置2800+）；3、推舟導(dǎo)軌上有雜質(zhì)，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達程序錯誤；5、光電檢測開關(guān)損壞 【出片進漿-終點位置未到】 到爐管內(nèi)取出石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下下位）?？赡茉颍?、出片步（一般為工藝最后一步）的時間設(shè)置短（可設(shè)置300左右）；2、出片步（一般為工藝最后一步）中平移速度設(shè)置?。稍O(shè)置2800+）；3、推舟導(dǎo)

23、軌上有雜質(zhì)，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達程序錯誤；5、光電檢測開關(guān)損壞；6、在推舟到達平移終點前，導(dǎo)軌上的限位塊卡死推舟 【進片進漿-起始位置未到】 到爐管內(nèi)放石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未在原點檢測到推舟（處于上下上位）。 可能原因：1、將石英舟放到漿上時，放置位置不準確，對推舟有一個輕微的推力，將推舟推離原點；2、光電開關(guān)損壞 【進出片出漿-門未關(guān)閉】 到爐管內(nèi)放舟（或到爐管內(nèi)取舟），在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到爐門關(guān)閉到位?？赡茉颍?、推舟位置不正確（不在平移原點、進舟時不在上下下位、出舟時不在上下上位），禁止關(guān)閉爐門；2、爐口傳感光電開關(guān)檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X3

24、1），禁止關(guān)閉爐門；3、爐門關(guān)閉到位檢測開關(guān)檢測有誤（X12或X14） 【出片出漿-起始位置未到】 到管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡具M片出漿-起始位置未到】 【進片進漿-終點位置未到】 將石英舟放到爐管內(nèi)，在規(guī)定時間內(nèi)，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡境銎M漿-終點位置未到】 【出片進漿-起始位置未到】 到爐管內(nèi)取石英舟，在規(guī)定時間內(nèi)，未在原點檢測到推舟（處于上下下位）。 可能原因：參照【進片進漿-起始位置未到】 【時間到-動作未完成等待】 在規(guī)定時間內(nèi)，系統(tǒng)檢測到未完成某個動作時出現(xiàn)（伴隨需要檢測動作執(zhí)行的黃燈

25、報警出現(xiàn)）。3爐管壓力整定 3.01 設(shè)置質(zhì)量流量計參數(shù)（見附錄B） 3.02 打開爐門，調(diào)節(jié)Pb值到顯示為500 3.02 關(guān)閉爐門，根據(jù)工藝壓力要求設(shè)置壓力（例如520） 3.03 觀察爐管內(nèi)壓力變化，調(diào)節(jié)排廢手動閥門，到檢測到的爐管內(nèi)的壓力值和設(shè)定值相同4機械手調(diào)試5軟著陸調(diào)試 4.01 輸入步進驅(qū)動器（上下）程序（見附錄D） 4.02 斷開推舟和平移電機之間的連接，將平移和上下運行的機械限位的限位塊松開 4.03 依靠機械手，將同一臺機器的數(shù)根槳處于同一條直線上（其偏差不超過2mm）。使推舟處于下限位時，手動將槳推入爐管，需要槳和爐管處于平行位置。如下圖所示：5mm石英管SiC槳 4.

26、04 將推舟升至“上限位”（當(dāng)槳上有石英舟時可以如下圖所示情況進入爐管，定此時為“上限位”光電開關(guān)的位置，此時 畫面的【上下動作檢測】中的【位置】所顯示數(shù)值為 畫面中【舟上升位置】的數(shù)值），手動將石英舟放到槳上，將石英舟推入爐管。 10mm石英管石英擋板石英舟托SiC槳4.05 將推舟推至“前限位”光電開關(guān)處，使推舟運行至上述（4.04）“下限位”光電開關(guān)處 4.06 觀察石英舟是否平穩(wěn)的放置，且石英舟在爐管內(nèi)處于水平位置。若石英舟傾斜放置于爐管內(nèi)，或未平穩(wěn)將石英舟放置，則需要再次進行調(diào)節(jié) 4.07 手動將槳退出爐管，觀察是否有擦腳（槳和石英舟的腳有摩擦）或刮舟（槳和石英舟底部有摩擦）現(xiàn)象 4

27、.08 將推舟和平移點擊連接，在“工控機”的 畫面中操作槳進入爐管內(nèi)取舟：在 畫面的【舟大架移動】中的【速度】設(shè)置600，在 畫面中設(shè)置【舟平移終點】為2100，然后在 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設(shè)置2100（對于已運行的機器，若 畫面中已設(shè)置【舟平移終點】為 M ，則 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】也設(shè)置為 M ） 4.09 點擊 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當(dāng)推舟運動到上述（4.06）“前限位”光電開關(guān)處時，推舟會停止運動，觀察此時 畫面的【舟大架動作檢測】中的【位置】顯示數(shù)值N，將此時的N值“+ 2”作為 畫面的【舟平移終點】的數(shù)值 4.10 在 畫面的【上下電機設(shè)

28、置】中的【速度】設(shè)置50，【UD位置】設(shè)置為上述（4.05）所定數(shù)值，點擊 畫面的【上下電機設(shè)置】中的【上下運行】，推舟運行到“上限位”光電開關(guān)處時推舟會停止運動 4.11 將 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設(shè)置“0”，點擊 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當(dāng)推舟運行到平移原點（“后限位”光電開關(guān)處）時，停止平移運動。至此，手動取舟完成（手動放舟為4.09 4.10 4.11 4.12的逆動作） 4.12 注意事項4.12.01 當(dāng)推舟運行到“前限位”光電開關(guān)處時，在 畫面的【舟大架檢測】中的【位置】顯示數(shù)值為 X ，在 畫面中的【舟平移位置】數(shù)值為 Y ，若Y X 5時，系統(tǒng)不會自

29、動從“平移運行”狀態(tài)轉(zhuǎn)為“平移停止”狀態(tài)，若在工藝進舟/出舟時，系統(tǒng)不會繼續(xù)下一步動作4.12.02 上下運行參照上述（），其中Y X 0.5時，系統(tǒng)不會自動從“上下運行”狀態(tài)轉(zhuǎn)換為“電機停止”狀態(tài)5爐管升溫 5.01 檢查熱偶是否放好且熱偶線接好 5.02 檢查溫控儀參數(shù)設(shè)置是否正確（具體參數(shù)見附錄A） 5.03 在工控機上設(shè)置溫度，檢查設(shè)置的五個溫度和五塊溫控表上顯示的溫度是否一一對應(yīng)5.04 檢查爐體上L型鋁塊上的螺絲是否擰緊 5.05 檢查接觸器是否完好：在“工控機”旁邊的“加熱關(guān)”燈亮?xí)r，測量接觸器輸出端是否有電壓，無電壓為正常5.06 在斷開爐體加熱熔斷器（100A熔斷器）的情況下

30、，按下“加熱開”，觀察是否無誤（即無跳閘等異常情況），并檢查接觸器輸出的3相電無缺相現(xiàn)象且電壓穩(wěn)定（兩兩之間電壓均為交流380V，同時可檢查是否有某相線和零線接錯）。因此時處于強電狀態(tài)作業(yè)，因此，必須注意安全、小心操作！ 5.07 按下“加熱關(guān)”，將爐體加熱熔斷器接好 5.08 在“工控機”上設(shè)置五塊溫控表的溫度（200oC），按下“加熱開”，用鉗流表測量加熱導(dǎo)線上的電流，調(diào)節(jié)觸發(fā)板上的電容，當(dāng)電流達到5060A時即可 5.09 將5塊溫控表自整定（操作見附錄A） 5.10 檢查5個溫區(qū)和5塊溫控儀是否一一對應(yīng)。檢驗方法：觀察溫控表上用于指示電流的發(fā)光二極管亮燈情況（常亮則表示此通道的加熱導(dǎo)線

31、中一直有電流，閃爍則表示此通道的加熱導(dǎo)線中有斷斷續(xù)續(xù)的電流），在“工控機”上將某塊溫控表溫度 + 100，觀察與其對應(yīng)的觸發(fā)板通道的電流指示燈是否顯示常亮 5.11 在“工控機”上將5塊溫控儀的溫度均設(shè)置為450oC（因正常做工藝時溫度為450oC左右） 5.12 再次將5塊溫控表自整定 5.13 自整定完成后，爐管升溫則完畢三、工藝編輯1. 畫面2. 各部分功能 2.01 【使用倍行距】 改變工藝編輯畫面中顯示的工藝各步的行距大小。第一次打開控制軟件，默認行距為“01”，可更改為“02”或“03” 2.02 【選擇工藝曲線】 選擇當(dāng)前顯示的工藝曲線數(shù)據(jù)2.02.01 【操作人員代號】 工藝曲

32、線數(shù)據(jù)所在位置。輸入為“007*”，其中，前3位必須為“007”，后3位可以為任何字母和數(shù)字的組合2.02.02 【工藝號】 同一個工藝曲線名稱中，可以有25條不同的工藝曲線數(shù)據(jù) 2.03 【插入步】 在當(dāng)前工藝曲線數(shù)據(jù)中，增加某一步 2.04 【刪除步】 在當(dāng)前工藝曲線數(shù)據(jù)中，刪除某一步 2.05 【工藝復(fù)制】 將某一條工藝曲線數(shù)據(jù)復(fù)制到另一條工藝曲線數(shù)據(jù) 2.06 【不保存返回】 若工藝曲線數(shù)據(jù)中更改的數(shù)據(jù)錯誤，在未點擊【數(shù)據(jù)保存】前，點【不保存返回】，可使工藝曲線數(shù)據(jù)還原到更改前的狀態(tài) 2.07 【數(shù)據(jù)保存】 將當(dāng)前工藝數(shù)據(jù)保存 2.08 注意事項：對于正在運行的工藝，參數(shù)只可更改當(dāng)前步

33、之后各步的參數(shù)四、事件記錄1 畫面用于觀察對于系統(tǒng)各部分執(zhí)行了哪些操作和系統(tǒng)中哪個部分出現(xiàn)問題2【斷點信息記錄】 工藝運行中途停止時，自動記憶此時狀態(tài)3【機械手狀態(tài)信息】3.01 【放片完成】 機械手執(zhí)行將小車或暫存區(qū)上的“待工藝舟”（即系統(tǒng)自動邏輯識別的未做過工藝的石英舟）自動放置于槳上的動作（需要機械手完整的執(zhí)行：從小車或暫存區(qū)取“待工藝舟”，放置于槳上，其間無手動依靠觸摸屏操作機械手運行），動作完成后，自動勾選【放片完成】。機械手未自動將石英舟放置于槳上，則無【放片完成】信號，此時，若未勾選 畫面中的【允許脫離自動上下舟機械手】，則無法運行工藝3.02 【取片完成】 機械手執(zhí)行將石英舟自

34、動從槳上放置于小車或暫存區(qū)上的動作（需要機械手完整的執(zhí)行：從槳上將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，其間無手動依靠觸摸屏操作機械手運行），動作完成后，自動勾選【取片完成】。機械手未自動將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，則無【取片完成】信號，此時，若為工藝結(jié)束后的機械手自動取舟，則工藝不會自動結(jié)束（即工控機上的“Stop Recipe”狀態(tài)不會自動切換至“Select Run”狀態(tài)）3.03 【通信正?！?機械手PLC和管體PLC通訊狀況3.04 【石英舟前檢測】 依靠槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的槳上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X31）3.05 【石英舟后檢測】 依靠槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的槳

35、上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X32）3.06 【槳上有舟正?！?推舟所處位置和槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的石英舟狀態(tài)一致：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，槳上舟檢測光電開關(guān)均檢測到有石英舟或均未檢測到槳上有石英舟；推舟處于“后限位”和“下限位”光電開關(guān)處，槳上舟檢測光電開關(guān)均未檢測到槳上有石英舟3.07 【槳上有舟異常】 推舟所處位置和槳上舟檢測光電開關(guān)檢測到的石英舟狀態(tài)存在邏輯錯誤：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關(guān)處，槳上舟檢測光電開關(guān)只有一個檢測到有舟；推舟處于“后限位”和距離“下限位”光電開關(guān)18mm以內(nèi)處，槳上舟檢測至少有一個檢測到槳上有石英舟五、系統(tǒng)圖況1

36、、 畫面 用于觀察整個系統(tǒng)狀態(tài)。2、 畫面介紹2120191817161514131211109876 54321【1】 顯示溫度狀況。溫度檢測值（通過熱偶檢測）顯示在第一行，溫度設(shè)置值顯示在第二行，溫度目標(biāo)值（在做工藝時顯示）顯示在第三行【2】 冷卻水的進出手動閥【3】 推舟平移運行設(shè)定值（紅色）和推舟平移運行檢測值（白色）【4】 推舟上下運行設(shè)定值（紅色）和推舟上下運行檢測值（白色）【5】 管體。中間的數(shù)值是系統(tǒng)自動累加的石英管使用次數(shù)（每次工藝結(jié)束，則數(shù)值在原有基礎(chǔ)上自動增加“1”），其后的“重置”按鈕，則在將石英管清洗安裝好后點擊【7】 擴散氮氣動閥（左邊）和清洗氮氣動閥（右邊）?！?

37、】 大氮氣動閥。【9】 氮氣補氣閥?！?0】 小氧氣動閥?！?1】 爐管壓力?！?2】 小氮流量計【13】 大氮流量計【14】 小氧流量計【15】 爐門開氣動閥（左邊）和爐門關(guān)氣動閥（右邊）【16】 小氮手動閥【17】 大氮手動閥【18】 小氧手動閥【19】 壓縮空氣手動閥【20】 保護氮。當(dāng)系統(tǒng)斷電時，自動打開，向爐管內(nèi)輸入N2【21】 系統(tǒng)計時?！静降褂嫊r】：當(dāng)前運行工藝的當(dāng)前步的剩余運行時間，不可更改；【步設(shè)定時】：當(dāng)前運行工藝的當(dāng)前步的總時間，不可更改；【總倒計時】：當(dāng)前運行工藝總剩余運行時間，通過更改 畫面中“步時間”更改；【總設(shè)定時】：當(dāng)前運行工藝總時間，通過更改 畫面中“步時間”

38、更改；【已運行時】：從工藝運行起，當(dāng)前工藝已運行總時間，不可更改六、溫控圖況 用于觀察溫控表和工控機之間的通訊狀態(tài)和溫控表檢測到的溫度變化七、曲線圖況 用于觀察溫度變化曲線狀況八、歷史曲線用于查找已運行工藝所記錄的數(shù)據(jù)九、附錄附錄A：溫控儀參數(shù)設(shè)置 A-1 RKC FB400溫控表 A-1-1 按R/S，從“RUN”改為“STOP”（新溫控表的出廠設(shè)置為“STOP”） A-1-2 按“SET”和“”，進入“F00”，到F21的Inp設(shè)置3（熱電偶種類），PGSH設(shè)置1500，PGSL設(shè)置0；到F33的AO設(shè)置1，AHS設(shè)置1500，ASL設(shè)置0；到F41的ESI改為5 A-1-3 將“STOP

39、”改為“RUN” A-1-4 按“SET”+“MODE”，按“SET”，到Pb（當(dāng)拉恒溫有溫度偏差時修改），到Add1修改為“1 /（2）/（3）/（4）/（5）”，到bpsi設(shè)置9.6，到biti設(shè)置8E1（山武），到int1設(shè)置5。注意：若bpsi設(shè)置19.2，則biti需要設(shè)置8O1（brooks） A-1-5 按“SET”2s以上，設(shè)置報警溫度 A-1-6 按“SET”，可設(shè)置溫度 A-1-7 按“SET”2s，再按“SET”，將“ATU”設(shè)置1（自整定，可自動生成一組PID值） A-2 RKC CH402溫控表 A-2-1 同時按“SET”和“”3s以上，進入“Cod”，按“SET”

40、，到SL1設(shè)置0001（J型熱偶）或設(shè)置1000（S型熱偶），SL2設(shè)置0（單位為oC），SL3設(shè)置000（通道1選擇），SL6設(shè)置0101（逆動作輸出） A-2-2 按“SET”+“R/S”，Add設(shè)置1 /（2）/（3）/（4）/（5），bps設(shè)置3，biT設(shè)置1，InT設(shè)置5 A-2-3 按“SET”2s，設(shè)置報警溫度 A-2-4 按“SET”，可設(shè)置溫度 A-2-5 按“SET”2s，再按“SET”，將“ATU”設(shè)置1（自整定，可自動生成一組PID值） A-3 RKC HA900溫控表 A-3-1 A/M：自動/手動切換；R/L：遠程/本地切換；R/S：運行/停止切換；CH1：內(nèi)熱電偶

41、；CH2：外熱電偶 A-3-2 按“SET”3s以上，設(shè)置報警溫度EV3 A-3-3 人工設(shè)置CH1通道的PID參數(shù)，參數(shù)設(shè)置見下表：RKC廠商自整定的PID參數(shù)表1（爐尾）表2表3表4表5（爐口）P10.30.50.50.50.411210201011表1（爐尾）表2表3表4表5（爐口）P132125I170240240240240D11560606060 A-3-4 按“SET”+“MODE”， 到Pb（當(dāng)拉恒溫時有溫度偏差時修改），Add1設(shè)置1 /（2）/（3）/（4）/（5），LCK（密碼設(shè)置），bps1設(shè)置19.2，biT1設(shè)置8O1，inT1設(shè)置5，1d

42、F設(shè)置5，2dF設(shè)置5 A-3-5 按“R/S”，將“RUN”改為“STOP” A-3-6 同時按“SET”+“MODE”3s以上，到F10的Spch設(shè)置0，dE設(shè)置6，dEuT設(shè)置100；F11的Fn1設(shè)置3，F(xiàn)n2設(shè)置1，F(xiàn)n3設(shè)置1；F21的inp設(shè)置3（S型熱電偶），UnIT設(shè)置0（溫度單位oC），PGdP設(shè)置1（小數(shù)點以下1位），PGSL設(shè)置0（輸入刻度下限值），PGSH設(shè)置1500（輸入刻度上限值）；F22設(shè)置參照上述F21；F30的LoGC設(shè)置5（輸出邏輯），OUT4對應(yīng)EV3（報警溫度），ALC1設(shè)置01111，RLC2設(shè)置00011；F43的ES3設(shè)置5（EV3的最大報警值，外熱電偶斷偶/超溫報警），EVA3設(shè)置1（輸入1事件報警，內(nèi)熱電偶斷偶/超溫報警OUT1）；F50的Pd設(shè)置0（熱啟動），CAM設(shè)置2（輸入2的用途），級聯(lián)控制CAr設(shè)置1（級聯(lián)比率），CAb設(shè)置000（通道CH2附加偏置）F51的OS設(shè)置1（逆動作）F60的CmpS1設(shè)置0（RKC通訊協(xié)議），CmpS2設(shè)置0 A-3-7 按“SET”，設(shè)置SV1和SV2的溫度 A-3-8 切換本地控制，升溫時即將CH2自整定 A-3-9 CH2自整定完成后，切換遠程控