測定儀氣相沉積清洗設(shè)備

1、設(shè)備名稱數(shù)量功能及技術(shù)參數(shù)測定儀11、主要功能：智能變頻走航測流儀，專為河流流量測驗而設(shè)計。借助于橋梁或纜道用繩子牽引測量規(guī)則的、無規(guī)則的水體的斷面流量2、功能特點：*1、具有窄帶、脈沖相干、寬帶三種工作模式，可以根據(jù)水深和流速自動選擇最佳的模式。2、操作簡便，測流程序?qū)崿F(xiàn)一鍵操作。 3、能直接測量水深，具有可直接測量水深的波束專傳感器，而不是通過計算間接獲得水深數(shù)據(jù)?？蓽y深度范圍不少于15米。 4、測流儀主機內(nèi)置微處理器和內(nèi)存。內(nèi)存要求不小于8G內(nèi)置流量計算功能，測流原始數(shù)據(jù)不依靠外部計算機軟件程序計算，確保數(shù)據(jù)也不會因無線通訊中斷而丟失。 5、采樣頻率高：最高采樣頻率不低于50Hz,確保船

2、速大于流速時不丟波。6、支持外置GPS盤。GPS羅盤的位置不受限制?？筛鶕?jù)需要增配DGP誠RTKGPS 7、具有兩種以上方法用于檢查河床是否有走底現(xiàn)象，并測量出河床的走底速度，并可附加其它技術(shù)措施來糾正由于走底而產(chǎn)生的流量偏小誤差。*8、具備使用外推法來延長特定ADCP勺流量測量水深范圍。9、具備增配差分GPS設(shè)備的條件，可使用WAAS,SBASS,或EGNOSS言號進行差分修正。3、主要技術(shù)指標：1）使用環(huán)境條件：工作溫度：-5C至45C,存儲溫度：-10C至70c2）技術(shù)要求：流速：流速測量范圍-流速：±20米/秒，流速測量范圍-距離：0.06-5米分辨率：0.001米/秒，準確

3、度：實測流速之土0.25%;±0.002米/秒，單元數(shù)量：128個單元尺寸：0.02米至0.5米。3）深度：測量范圍：0.2米至15米，分辨率：0.001米，準確度：1%4）換能器： 換能器個數(shù)：5個換能器測流換能器：4個傾角25°的3.0MHz對稱波束垂直波束換能器：1個1.0MHz垂直波束。 5）羅盤/傾斜傳感器：測量范圍：360°,航向準確度：土2,橫搖/縱搖準確度：土1°6）內(nèi)存： 主機自帶，容量至少8GB俳散失性）7）通訊：通訊方式：RS232通訊，串口GPS俞入 最大數(shù)據(jù)輸出頻率：2Hz,內(nèi)部采1頻率：70Hz8）工作電壓12至18伏直流，可

4、充電電池，可連續(xù)工作8小時。4、基本配置：一臺聲學多普勒五波束水流斷面流量測量儀主機1） 主機含控制器、數(shù)據(jù)處理器、內(nèi)存2） 主機包括供電單元3） 主機內(nèi)置羅盤、傾斜計4） 主機內(nèi)置溫度傳感器5） Windows平臺（XP,Vista）上RiverSurveyorLive!測量中文軟件,Stationary定點測流中文軟件。一條主機連接電纜（10m電纜線，RS232接口）質(zhì)保期1年售后服務(wù)及培訓要求1、保修期內(nèi)：保修期為自安裝調(diào)試結(jié)束之日起一年,保修期內(nèi)免費維修。2、保修期外：保修期后提供終牛維修。如需更換零部件，酌收零件費。3、培訓:安裝調(diào)試過程中，由安裝工程師在用戶指定地點現(xiàn)場免費培訓，直

5、到用戶掌握基本操作技能并能夠獨立操作后，方可結(jié)束安裝工作，同時提供所有操作，維修及培訓資料。交貨時間及地點收到信用證后2個月內(nèi)；溫州大學生命與環(huán)境科學學院標段二：本招標設(shè)備由兩組系統(tǒng)組成：一、等離子化學氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備主要由反應(yīng)室與真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等組成。1反應(yīng)室及襯底尺寸由真空淀積反應(yīng)室（包括雙層真空室、室蓋、法蘭1套）、室蓋升降系統(tǒng)、機架機柜、工件架系統(tǒng)、加熱器與電極系統(tǒng)、腔壁及腔蓋冷卻系統(tǒng)等組成。反應(yīng)室尺寸為350m訴220mm可放置襯底尺寸為150mm（6口寸）硅片或不銹鋼材料一片，或小于6口寸樣片若干片。腔室

6、內(nèi)部光潔，焊接處平滑，無虛焊漏焊點，腔室加工過程中無油及其它雜質(zhì)對腔室的污染，加工完成后對真空腔室進行拋光清洗，除去油及其它雜質(zhì)。樣品加熱及溫度。加熱方式：石英燈輻照，石墨加熱臺。加熱溫度：室溫900oC,控溫精度w土1%淀積不均勻性：w±5%（4口寸范圍內(nèi)）。2真空系統(tǒng)及真空度真空獲得：包括600升/秒分子泵、8升/秒機械真空泵、150mmH徑超高真空氣動插板閥及泵口閥、壓差閥、隔膜閥等。設(shè)備通過分子泵及機械真空泵組成抽氣系統(tǒng),分子泵與真空室之間裝有氣動插板閥。機械真空泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼硬管及波紋管連接,并裝有電磁氣動隔斷閥。系統(tǒng)破壞真空在短時暴露大氣情況下，

7、從大氣抽至2.0x10-4Pa時間w40min。真空測量：復合真空計一套，包括電阻規(guī)與電離規(guī)。在室溫條件下，反應(yīng)室真空度優(yōu)于6.67X10-5Pa（環(huán)境濕度w55%；在襯底溫度200°C條件下優(yōu)于9X10-5Pa;系統(tǒng)破壞真空在短時暴露大氣情況下從大氣抽至2.0x10-4Pa時間w40min。3 壓力控制系統(tǒng)包括薄膜規(guī)一個（進口）、電動恒壓調(diào)節(jié)閥一套及恒壓控制軟件。系統(tǒng)在達到高真空狀態(tài)后，關(guān)閉氣動插板閥，改為旁路管道由機械泵抽氣，經(jīng)薄膜規(guī)測量、電動蝶閥調(diào)節(jié)，以達到恒壓狀態(tài)，恒壓范圍1010000Pa。4 氣體管路配置氣路系統(tǒng)采用3臺進口防腐質(zhì)量流量控制器控制3路氣體進氣，管路為不銹鋼

8、硬管，管路接頭連接形式采用雙卡套形式連接，不銹鋼管道及部件均為進口。5 射頻電源配置包括射頻電源及自動匹配器一套。設(shè)備配備連續(xù)可調(diào)放電模式工作，13.56MHzl寸頻功率源。6 系統(tǒng)自動化控制包括工控機一臺、觸摸顯示屏一套、PLC（西門子）、數(shù)據(jù)通訊卡、控制軟件等。設(shè)備采用工控機、觸摸屏控制，實現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程全自動化。還可選擇全自動及非全自動模式。設(shè)備采用全自動控制方式，也即：從用戶將樣片送入真空室后的真空獲得、薄膜沉積生長、過程監(jiān)控與閉環(huán)控制完整工藝過程，均由工控機、可編程通訊控制器及上位機控制軟件自動控制，無需任何的人工干預。自動化系統(tǒng)支持多工藝步驟編程。系統(tǒng)具有儲存用戶工藝數(shù)據(jù)的功

9、能。設(shè)備配備互鎖、異常斷電自動記憶、自動工藝編程校驗等安全保護措施，使非惡意的人為操作失誤不會導致系統(tǒng)硬、軟件的損壞。系統(tǒng)支持諸如缺水故障、分子泵故障、通訊故障等故障情況下的自動報警。系統(tǒng)提供操作日志及故障記錄。二、三溫區(qū)高溫管式爐及質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)1,管式爐為OTF-1200X-m三溫區(qū)高溫管式爐，主要參數(shù)要求：石英爐管尺寸：100X1400mm加熱元件：電阻絲；工作溫度：最高1200（溫區(qū)1、溫區(qū)2、溫區(qū)3），精度±1；控溫方式：智能化30段可編程控制；真空測量：數(shù)字真空計；爐門結(jié)構(gòu)：開啟式；工作電源：AC220V/50HZ/60HZ，額定功率7KW；外型尺寸：1030X430x580mm2，質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器(包括三套質(zhì)量流量計)、機械壓力表、針閥、管道配件等組成：質(zhì)量流量控制器：供電電源185245V/50Hz,最大功耗18皿量程范圍：通道1:199.9SCCM,通道2:1199SC